技術(shù)編號：9658846
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。術(shù)語“微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)”或“微機(jī)械系統(tǒng)”常常用于指代組合電子和機(jī)械組件的小型集成器件或系統(tǒng)。當(dāng)關(guān)注于微機(jī)械部分時，術(shù)語“微機(jī)械系統(tǒng)”可以用于描述包括一個或多個微機(jī)械元件以及可能但并非必需的電氣組件和/或電子組件的小型集成器件或系統(tǒng)。微機(jī)械系統(tǒng)可以用作例如致動器、換能器或傳感器，例如壓力傳感器。壓力傳感器是現(xiàn)在汽車電子和消費(fèi)者商品電子的大批量產(chǎn)品。對于這些應(yīng)用中的許多而言，使用在特定應(yīng)用集成電路(ASIC)中集成傳感器的系統(tǒng)。例如，Infineon T...
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