技術(shù)編號：9673146
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在短弧型放電燈中，將高亮度的光照射到基板等曝光對象物。由于曝光對象物的大型化，還為了提高生產(chǎn)量，要求放電燈的高輸出化，伴隨于此，要求額定消耗功率的增加。當(dāng)實現(xiàn)大功率化時，在現(xiàn)有的基于單一金屬的電極構(gòu)造中，電子放射、熱釋放、耐久性等受到影響。另外，由于電極的重量變重，電極支承棒等的負(fù)荷大。因此，提出了將多個金屬接合來構(gòu)成電極的方案。例如，將由含有釷的釷鎢等構(gòu)成的電極前端部與由純鎢等構(gòu)成的后方主體部固相接合來構(gòu)成電極(參照專利文獻(xiàn)1、2)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)...
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