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      蒸發(fā)鍍膜工藝中的圓片固定裝置的制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):9682587

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      蒸發(fā)鍍膜是將熔點(diǎn)較低的金屬進(jìn)行加熱,使得金屬蒸發(fā)并附著于待加工的圓片之上以形成鍍膜的工藝。現(xiàn)有的蒸發(fā)鍍膜工藝中,圓片往往采用夾持固定方式,然而,由于圓片多用于半導(dǎo)體生產(chǎn),其厚度較薄,在長(zhǎng)時(shí)間的夾持狀態(tài)下圓片極易發(fā)生損壞。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種蒸發(fā)鍍膜工藝中的圓片固定裝置,其可避免圓片在固定與工作過(guò)程中受到損傷。為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明涉及一種蒸發(fā)鍍膜工藝中的圓片固定裝置,其包括有工作腔室,工作腔室的下端面設(shè)置有用于放置金屬物料的放置臺(tái),...
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