技術(shù)編號：9689483
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。透明導(dǎo)電氧化物薄膜由于其良好的電學(xué)和光學(xué)性能，被廣泛用于半導(dǎo)體和光伏行業(yè)，如液晶顯示器、發(fā)光二極管、太陽能電池等。在太陽電池中，包括硅基薄膜電池、a_S1H/c-Si異質(zhì)結(jié)太陽電池和CIGS薄膜電池等，透明導(dǎo)電氧化物(TCO)作為太陽電池的前后電極，需要具備高的電子迀移率、低的載流子濃度和電池響應(yīng)波段范圍內(nèi)(300?1200nm)高的透過率，從而提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。常見的TCO薄膜材料的制備方法有化學(xué)氣相沉積法、磁控濺射法、離子束沉積等。這些方法...
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