技術(shù)編號(hào):9698806
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及激光加工,具體涉及一種基于擺角壓縮的精密激光加工裝 置。背景技術(shù) 激光微加工日新月異,激光光源、外光路、視覺(jué)定位、振鏡、線性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等配套資 源越來(lái)越完善。在微加工光束空間控制方面,線性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可以高精度運(yùn)動(dòng),但是由于慣性 很大,運(yùn)動(dòng)范圍很小,運(yùn)動(dòng)速度與加速度上不去,振鏡有很快的光束掃描能力,但是,振鏡在 進(jìn)行精細(xì)掃描的時(shí)候,例如進(jìn)行50微米以下的掃描運(yùn)動(dòng)的時(shí)候,為了保障掃描的精度,掃描 頻率就上不去,目前最高掃描速度CPS不超過(guò)125,即采用...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。