技術(shù)編號：9699287
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利說明一種裸芯片離心試驗固定夾具本發(fā)明涉及離心試驗領(lǐng)域，具體涉及一種裸芯片離心試驗固定裝置。背景技術(shù)MEMS器件采用微加工工藝，具有體積小、質(zhì)量輕、功耗低、批量化生成、價格低廉等優(yōu)點，可廣泛的應(yīng)用于消費類電子產(chǎn)品、工業(yè)現(xiàn)場、車輛檢測等諸多領(lǐng)域。隨著MEMS器件在軍事和民用領(lǐng)域越來越廣泛的應(yīng)用，部分MEMS器件的應(yīng)用環(huán)境越來越惡劣，對MEMS器件的可靠性要求越來越高。由于MEMS器件內(nèi)含有可動機(jī)械結(jié)構(gòu)，因此MEMS器件不同于傳統(tǒng)半導(dǎo)體芯片，其在較惡劣力學(xué)環(huán)...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。