技術編號：9707344
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。隨著高精度精密光學儀器的快速發(fā)展和應用，對光學系統(tǒng)成像質量要求也越來越高，尤其極紫外光刻技術應用，工作波長為13?14nm的波段，光學元件加工和檢測技術比傳統(tǒng)的光學系統(tǒng)要求更高。為了保證光學系統(tǒng)成像質量，準確檢測光學元件表面面形精度和光學系統(tǒng)波像差已成為非常重要的環(huán)節(jié)。為了實現(xiàn)一定精度的面形檢測，一種傳統(tǒng)方案是采用光學元件最終應用的實際支撐結構作為面形檢測過程的檢測支撐結構，其優(yōu)點是光學元件檢測狀態(tài)和最終使用狀態(tài)相一致，檢測加工后實現(xiàn)的面形即最終使用的面形...
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