技術編號：9709757
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。在離子注入中，由于空間電荷效應的影響，會使得大尺寸的帶狀離子束失去均勻性，從而影響后續(xù)的注入環(huán)節(jié)。為了盡可能消除空間電荷效應的影響，業(yè)內(nèi)引入了電子中和的方式，即在離子束的傳輸過程中，采用電子對其進行中和，以此來緩解空間電荷效應對離子束形態(tài)的影響?，F(xiàn)有的中和系統(tǒng)中，采用了 PEFG(plasma electron flood gun,等離子電子流槍)來向離子束提供電子以中和離子束中的正電荷。然而，隨著加工晶圓的尺寸越來越大，越來越需要大尺寸的帶狀離子束，例如...
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