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技術(shù)編號：9713078

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專利說明用于生產(chǎn)烷基銦化合物的方法及其用途 本發(fā)明提供了一種用于以高產(chǎn)率并且以高選擇性和純度制備由通式R3In2Cl 3表征 的烷基銦倍半氯化物（以下又稱為化合物(A))的方法。 根據(jù)本發(fā)明制備的烷基銦倍半氯化物也因其高純度和產(chǎn)率而特別適合于根據(jù)需 要制備含銦前體，優(yōu)選地具有通式R3In(以下又稱為化合物(B))SR 2InR'（以下又稱為化合 物(C))的那些。由化合物(A)以高產(chǎn)率并且以高純度可獲得的這些含銦前體特別適合于金 屬-有機化學(xué)氣相沉積法(M...
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