技術(shù)編號：9726279
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。單晶硅缺陷，是對于晶體的周期性對稱的破壞，使得實際的晶體偏離了理想晶體的晶體結(jié)構(gòu)。種類有點、直徑、線、面和體缺陷，表現(xiàn)為包裹體、氣泡、空洞等，這是由于制備過程中，溫度、振動等一些偶然因素的影響造成的。缺陷對切片工序產(chǎn)生著重要的影響，常見為破壞生產(chǎn)設(shè)備，降低生產(chǎn)效率，產(chǎn)品質(zhì)量參差不齊。其檢測方法任然停留在傳統(tǒng)檢測工藝上。近幾年來，超聲波在混凝土、陶瓷等一些非金屬材料無損檢測方面有了較大的發(fā)展。雖然對非金屬的研究歷史已有幾十年，但是針對單晶硅材料進行無損檢測的...
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