技術(shù)編號(hào)：9726626
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。壓印技術(shù)是能夠轉(zhuǎn)印具有納米級(jí)尺寸的微細(xì)圖案的技術(shù)。該技術(shù)實(shí)際上用作用于磁存儲(chǔ)介質(zhì)或半導(dǎo)體設(shè)備的批量生產(chǎn)的光刻技術(shù)。在壓印技術(shù)中，通過使用模具在諸如硅晶片、玻璃板等的基板上形成微細(xì)圖案，在所述模具中，通過使用諸如電子束描繪裝置等的裝置形成微細(xì)圖案。通過利用樹脂涂覆基板的上面來形成微細(xì)圖案，然后，在使樹脂與模具的圖案接觸的狀態(tài)下固化樹脂。針對(duì)涂覆到基板上的樹脂，為了增強(qiáng)使樹脂與圖案接觸時(shí)的填充性，以數(shù)皮升(picolitre)的液滴來將樹脂涂覆(供給)到基板上...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。