技術(shù)編號(hào)：9740827
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。圖形化是微納加工中最為重要的技術(shù)之一，其中，金屬圖形化對(duì)于制備電極、實(shí)現(xiàn)光互聯(lián)以及形成刻蝕掩模都極為重要?，F(xiàn)有技術(shù)的金屬圖形化技術(shù)一般采用光學(xué)曝光和顯影的技術(shù)來(lái)定義圖形，并通過刻蝕來(lái)形成圖形。這種技術(shù)大量用到有機(jī)試劑，對(duì)于有機(jī)電子器件而言難以應(yīng)用。此外，這種液相的工藝技術(shù)也無(wú)法適應(yīng)真空環(huán)境下對(duì)圖形化技術(shù)的需求?？紤]到納米結(jié)構(gòu)的高效率制備，普通光學(xué)曝光技術(shù)還受到精確度的制約。微接觸圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)是一類通過物理接觸來(lái)實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)圖形從一個(gè)樣品表面向另一個(gè)樣品表面轉(zhuǎn)...
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