技術(shù)編號：9741806
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。石墨具有優(yōu)良的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能，高溫強度好，在特種工業(yè)爐中常用石墨作為發(fā)熱體。隨著半導(dǎo)體工業(yè)的全面發(fā)展，提煉單晶硅，單晶鍺，砷化鎵、磷化銦等材料的加熱爐選擇。特種石墨作發(fā)熱體，一些特殊的工業(yè)爐和實驗爐用炭布或石墨布作發(fā)熱體。除了石墨發(fā)熱體以外，石墨坩禍，炭素保溫材料等碳素材料在特種工業(yè)爐中大量使用，尤其是在半導(dǎo)體工業(yè)中的晶圓生長爐中，其使用溫度往往高于1500°C。石墨材料的缺點是碳原子在高溫下持續(xù)揮發(fā)，帶來兩個負面影響一是碳原子擴散進晶圓，造成晶圓品質(zhì)下降...
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