技術(shù)編號：9757094
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。對于過去的幾十年，集成電路中特征的縮放已經(jīng)成為不斷增長的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)背后的驅(qū)動力?？s放到越來越小的特征實現(xiàn)了功能單元在半導(dǎo)體芯片的有限基板面上的密度增大。例如，縮小的晶體管尺寸允許在芯片上并入的存儲器器件數(shù)量增大，從而導(dǎo)致產(chǎn)品的制造具有的容量增大。然而，對不斷增大的容量的驅(qū)動并非沒有問題。優(yōu)化每個器件的性能的必要性變得越來越重要。經(jīng)典的晶體管縮放使得設(shè)計具有較高驅(qū)動電流和/或較低泄漏電流的晶體管越來越困難。平面晶體管遭受難以構(gòu)建非對稱晶體管的缺點，在所述非對...
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