技術編號：9765085
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種原子力顯微鏡掃描探針，尤其涉及一種可高速讀出的射頻原子力顯微鏡掃描探針及其制備方法，屬于微觀形貌成像領域。背景技術原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope，AFM)是利用微懸臂感受和放大懸臂上尖細探針與受測樣品原子之間的作用力，通過檢測原子間的作用力，從而達到檢測的目的，獲得樣品表面的微觀形貌?？蓪w、半導體和絕緣體等表面形貌進行微納米尺度的高精度成像，是一種用來研究固體材料表面結構的分析儀器。由于AFM具有原子級的高空...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。