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      搭載有除振裝置以及機(jī)器人的定位裝置的制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):9783373

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      本發(fā)明涉及定位裝置,尤其涉及搭載有除振裝置以及機(jī)器人的定位裝置。背景技術(shù)在機(jī)床、測(cè)定裝置之類的定位裝置中,設(shè)置場(chǎng)所的地板振動(dòng)的影響會(huì)影響加工、測(cè)定結(jié)果。尤其在需要精密的位置控制的機(jī)床、測(cè)定裝置中,一般是搭載除振裝置而不傳遞地板振動(dòng)的構(gòu)造。在利用了防振橡膠的簡(jiǎn)單的除振裝置中,由于難以進(jìn)行低頻率(50Hz以下)的除振,所以在高精度的裝置中,使用了利用空氣壓力而浮起的空氣減振器、利用磁力而浮起的磁鐵減振器。日本特開2007-155038號(hào)公報(bào)中公開了使空氣促動(dòng)器...
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