技術(shù)編號：9784393
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及位移傳感器件，尤其是涉及。背景技術(shù)位移傳感器，即通過傳感得到的電量或其他參量的變化來反映待測物體的位移量。傳統(tǒng)的位移傳感器有應(yīng)變式位移傳感器、電渦流位移傳感器、電容傳感器、化學(xué)傳感器等。隨著納米領(lǐng)域的工程技術(shù)和學(xué)術(shù)研究的發(fā)展，對納米量級的位移傳感器的需求越來越大。目前，用于獲得納米位移的傳感器主要有—種基于隧道效應(yīng)的接觸式納米位移傳感器，應(yīng)用隧道效應(yīng)原理，通過測量壓電陶瓷上驅(qū)動電壓值得出物體的微小位移量，其可用于測量相互接觸零件之間納米級的位移變...
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