技術(shù)編號：9793846
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 在文獻(xiàn)DE 10 2007 057 500 A1中描述氣體傳感器元件。氣體傳感器元件之一是 微機(jī)械制造的金屬氧化物氣體傳感器，其具有貼靠在框架上并且承載鉑加熱裝置的膜片。 該框架借助于各向異性刻蝕工藝由硅晶片制造。發(fā)明內(nèi)容 本發(fā)明實(shí)現(xiàn)一種具有權(quán)利要求1的特征的微加熱板裝置以及具有權(quán)利要求11的特 征的具有微加熱板裝置的傳感器。 發(fā)明的優(yōu)點(diǎn) 本發(fā)明實(shí)現(xiàn)一種微加熱板裝置或者配備有所述微加熱板裝置的傳感器，其具有到 微加熱板裝置/傳感器的外部環(huán)境中的減小的熱輸...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。