技術(shù)編號：9802006
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。公知的工廠內(nèi)搬運(yùn)設(shè)備的運(yùn)輸裝置包括行車、叉車以及人力搬運(yùn)小車等。這些現(xiàn)有常規(guī)運(yùn)輸裝置往往存在運(yùn)輸不平穩(wěn)、定位精度較差及易產(chǎn)生運(yùn)輸過程中的震動問題。并且，使用叉車以及人力搬運(yùn)小車等在平整光滑和不能承受重壓的環(huán)氧地坪上搬運(yùn)設(shè)備，還很容易造成對地面的損壞。此外，如果在無塵室內(nèi)使用前述常規(guī)的運(yùn)輸裝置搬運(yùn)設(shè)備，還會帶來灰塵，造成污染。對于精密半導(dǎo)體集成電路設(shè)備來說，由于其對運(yùn)輸過程中的平穩(wěn)性和防震要求很高，上述通常的運(yùn)輸裝置難以適用于較好地安全運(yùn)輸這些精密且昂貴的半...
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