技術(shù)編號：9812280
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。晶圓是指??圭半導(dǎo)體集成電路制作所用的娃晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅，地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅。但是，傳統(tǒng)晶圓生產(chǎn)工藝良莠不齊，總體都存在過程繁瑣，成本高，良率低的不足。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于通過一種晶圓生產(chǎn)工藝，來解決以上背景技術(shù)部分提到的問題。為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案一...
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