技術(shù)編號：9816033
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 近來，諸如液晶顯示裝置、等離子體顯示裝置、電泳顯示裝置和有機發(fā)光顯示裝置 的顯示裝置被廣泛使用。 顯示裝置可以包括基底和在基底上包括的多個像素。每個像素可以包括設(shè)置在基 底上的柵極線和連接到數(shù)據(jù)線的薄膜晶體管。柵極導通電壓通過柵極線輸入到薄膜晶體 管，圖像信號通過數(shù)據(jù)線輸入。 柵極線和數(shù)據(jù)線可以由金屬形成并可以通過光刻工藝圖案化。發(fā)明內(nèi)容 技術(shù)問題 本公開提供了具有相對于金屬的高蝕刻速率和改善的老化性能的蝕刻劑組合物。 本公開還提供了形成具有減少的布線故...
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