技術(shù)編號：9818502
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及用于處理基板的基板處理方法和基板處理裝置。特別是涉及電路基板 的清洗處理、化學(xué)處理或者浸漬處理所采用的基板處理方法和基板處理裝置。作為處理對 象的基板例如包含半導(dǎo)體晶圓、液晶顯示裝置用基板、等離子體顯示器用基板、場發(fā)射顯示 器用基板、光盤用基板、磁盤用基板、磁光盤用基板、光掩模用基板、陶瓷基板等。背景技術(shù) 半導(dǎo)體集成電路元件的高集成化和高速化是市場的需要。為了響應(yīng)該需要，使用 更低電阻的銅布線而替代以往使用的鋁布線。只要將銅布線與低介電常數(shù)絕緣...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。