技術編號：9827890
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發(fā)明涉及RF等離子體系統(tǒng)領域，尤其涉及一種自動頻率調(diào)諧阻抗匹配的匹配 頻率的獲取方法和裝置。背景技術 在典型的RF等離子體發(fā)生器中，一個RF射頻源產(chǎn)生固定頻率（例如13. 56MHz) 的RF波，該RF波通過一個輸能管道被送到等離子體腔。RF射頻源通常以一個固定的已知 阻抗（例如50 Ω )提供RF功率。由于在RF射頻源與等離子體腔之間存在阻抗不匹配，必 須采取一些方法進行調(diào)節(jié)以使等離子體腔的阻抗與RF射頻源的阻抗匹配。 為了使得等離子體腔阻抗與RF射...
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