技術(shù)編號：9829826
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。隨著對具有不斷變小的裝置特征的集成電路的需求持續(xù)增加，對用于這些不斷縮小的裝置的檢驗(yàn)的改進(jìn)照明源的需求也持續(xù)增長。一種此類照明源包含激光維持等離子體源。激光維持等離子體光源能夠產(chǎn)生高功率寬帶光。激光維持光源通過將激光輻射聚焦到一定體積的氣體中以便激發(fā)氣體(例如氬氣或氙氣)進(jìn)入能夠發(fā)射光的等離子體狀態(tài)而操作。此效應(yīng)通常稱為“栗浦(pumping)”等離子體。深紫外(DUV)檢驗(yàn)器目前利用連續(xù)波(CW)等離子體源，而真空紫外(VUV)檢驗(yàn)器目前利用脈沖等離子體...
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