技術(shù)編號：9845359
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。微機(jī)電系統(tǒng)或MEMS是一種將微型機(jī)械和機(jī)電元件集成到集成芯片上的技術(shù)。通常使用微制造技術(shù)來制造MEMS器件。近年來，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)了 MEMS器件的廣泛的應(yīng)用。例如，在手機(jī)(例如，加速計、陀螺儀、數(shù)字羅盤)、壓力傳感器、微流體元件(例如，閥門、栗)、光學(xué)開關(guān)(例如，鏡子)等中發(fā)現(xiàn)了 MEMS器件。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供一種形成集成芯片的方法，包括在載體襯底的第一側(cè)內(nèi)形成一個或多個腔體；將所述載體襯底的第一側(cè)接合至設(shè)置在微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)襯底上的介電層；選擇性地圖...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。