技術(shù)編號(hào)：9848358
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。對(duì)于過去的幾十年而言，集成電路中縮放的特征已經(jīng)成為了不斷增長(zhǎng)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的推動(dòng)力。縮放至越來(lái)越小的特征實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體芯片的有限基板面(real estate)上的功能單元的密度增大。例如，縮小晶體管的尺寸允許在芯片上并入的存儲(chǔ)器或邏輯器件的數(shù)量增大，從而向產(chǎn)品的制造提供增大的容量。然而，對(duì)不斷增大的容量的驅(qū)動(dòng)并非不存在問題。優(yōu)化每個(gè)器件的性能的必要性變得越來(lái)越重要。在集成電路器件的制作中，隨著器件尺寸的持續(xù)縮小，諸如鰭式場(chǎng)效應(yīng)晶體管(fin-FET)的多柵極...
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