技術(shù)編號：9856216
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。為了減少污染及提高產(chǎn)量，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)常利用搭載機(jī)械手臂的取物裝置來搬運(yùn)工作件，例如硅晶圓或其它電子芯片等，藉此以便進(jìn)行后續(xù)的加工或是電性測試。—般而言，取物裝置的機(jī)械手臂固定于一底座上，并且通過馬達(dá)傳動直線導(dǎo)軌以控制機(jī)械手臂沿垂直方向的行程大小。當(dāng)使用者要調(diào)整機(jī)械手臂沿垂直方向的位置時，需同時移動機(jī)械手臂整體以改變機(jī)械手臂的位置。然而，習(xí)知機(jī)械手臂通過搭載大量外部構(gòu)件以連接于馬達(dá)，使得機(jī)械手臂整體重量過大。此外，馬達(dá)驅(qū)動直線導(dǎo)軌重量較大的機(jī)械手臂整體時，容易...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。