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      鋁靶材的制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):9859513

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      薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管液晶顯示器(TFT-1XD)面板廠在6代線以上所用的配線通常為鋁配線。鋁配線通常利用物理氣相沉積技術(shù)形成,即通常通過鋁靶材濺射的方式形成膜層,然后采用刻蝕工藝刻蝕膜層形成鋁配線。鋁靶材通常由純鋁制作?,F(xiàn)有鋁靶材的制作過程通常包括提供鋁錠,并對(duì)鋁錠進(jìn)行第一熱處理,然后對(duì)第一熱處理后的鋁錠進(jìn)行鍛打,以形成第一鋁靶材坯料,再對(duì)第一鋁靶材坯料進(jìn)行第二熱處理,在第二熱處理后,對(duì)第一鋁靶材坯料進(jìn)行軋制,形成第二鋁靶材坯料,最后對(duì)第二鋁靶材坯料進(jìn)行第三次...
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