技術(shù)編號(hào)：9859566
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體制作過程中的薄膜沉積制作例如化學(xué)氣相沉積過程是在具有噴灑頭(showerhead)的反應(yīng)室進(jìn)行。半導(dǎo)體晶圓是置于一具有加熱功能的可旋轉(zhuǎn)晶圓載臺(tái)，而噴灑頭則是在噴淋過程中使所需的反應(yīng)氣體進(jìn)入反應(yīng)室內(nèi)以及晶圓載臺(tái)上的半導(dǎo)體晶圓之上使用。當(dāng)例如含有欲沉積材料的前驅(qū)物氣體的反應(yīng)氣體通過噴灑頭噴淋至半導(dǎo)體晶圓上，在反應(yīng)室內(nèi)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，因此形成薄膜在半導(dǎo)體晶圓上。在化學(xué)反應(yīng)過程中，反應(yīng)室內(nèi)必須維持高溫以進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)。以有機(jī)化學(xué)氣相制作為例，噴灑頭結(jié)合晶圓承載臺(tái)...
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