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      硅基光調(diào)制器的制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):9864256

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      硅基光調(diào)制器是片上光邏輯、光互聯(lián)和光處理器的核心器件之一,用于將射頻電信號(hào)轉(zhuǎn)化為高速光信號(hào)。它可以與激光器、探測(cè)器和其他波分復(fù)用器件構(gòu)成一個(gè)完整的功能性網(wǎng)絡(luò)。近年來,通過大量的技術(shù)手段,硅基調(diào)制器已經(jīng)在多種硅基、混合硅基、兼容硅基材料上面實(shí)現(xiàn),包括絕緣體上硅(SOI)材料、SOI與三五族化合物混合材料、應(yīng)變硅材料等。其中,由于在SOI材料上制作的基于等離子體色散效應(yīng)的硅基調(diào)制器其制造工藝與現(xiàn)有電子工業(yè)中使用的CMOS工藝可完全兼容,為低成本,大批量的生產(chǎn)提...
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