技術(shù)編號(hào)：9909144
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 目前，場(chǎng)效應(yīng)晶體管(FET)式氣體傳感器由于具有電阻式器件所不具備的一些優(yōu) 勢(shì)，作為另一種半導(dǎo)體技術(shù)而得以迅速發(fā)展。FET特點(diǎn)在于除了可用源漏電極調(diào)控電流之 外，還可以由獨(dú)立的第三端柵極控制。在柵極偏壓的作用下，材料體內(nèi)的載流子都被吸引到 半導(dǎo)體與絕緣層之間的界面，形成僅有幾個(gè)原子/分子層厚度的導(dǎo)電溝道，半導(dǎo)體中的載流 子主要通過(guò)此導(dǎo)電溝道來(lái)實(shí)現(xiàn)源漏電極間的迀移，因而和導(dǎo)電溝道相臨的表面相對(duì)于半導(dǎo) 體的其他表面對(duì)器件性能有更大的影響。因此，F(xiàn)ET式氣體傳...
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