技術編號：9921536
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 光刻設備是一種將所需圖案應用到襯底上，通常是襯底的目標部分上的機器。光 刻設備可用于例如集成電路（1C)制造過程中。在這種情況下，可以將可選地稱為掩?；蜓?模版的圖案形成裝置用于生成待形成在所述1C的單層上的電路圖案?？梢詫⒃搱D案轉移到 襯底(例如，硅晶片)上的目標部分(例如，包括一部分管芯、一個或更多個管芯)上。通常，通 過將圖案成像到設置在襯底上的輻射敏感材料(抗蝕劑)層上而實現圖案的轉移。通常，單 一襯底將包括相鄰目標部分的網絡，所述相鄰目標部分被...
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