技術(shù)編號(hào)：9925423
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種等離子體源，其結(jié)合了以電感方式耦合以及以電容方式耦合的等離子體的優(yōu)點(diǎn)。背景技術(shù)以電感方式耦合的等離子體(ICP)在很低的等離子體電勢(shì)的情況下達(dá)到了很高的離子密度。此外，也可以提供大面積的等離子體。結(jié)合特別簡單的等離子體產(chǎn)生，這就能夠?qū)崿F(xiàn)等離子體源的經(jīng)濟(jì)的運(yùn)行方式。以電容方式耦合的等離子體(CCP)由于較低的激勵(lì)溫度和旋轉(zhuǎn)溫度而具有較低的點(diǎn)火溫度?；谝撞僮餍院头€(wěn)定性，以電容方式耦合的等離子體可以在大量的應(yīng)用中使用，尤其是在氣溶膠或濕氣中使用，...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。