技術(shù)編號(hào):9932009
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。在超聲換能器領(lǐng)域中并且尤其在超聲成像系統(tǒng)領(lǐng)域中,使用微機(jī)械超聲換能器元件(CMUT)通常是已知的。由于能夠通過(guò)半導(dǎo)體處理技術(shù)制造電容性微機(jī)械換能器元件的事實(shí),因而換能器的尺寸可以收縮到非常小的特征尺寸。而且,借助于專用集成電路來(lái)驅(qū)動(dòng)包括微機(jī)械超聲換能器陣列的超聲換能器通常是已知的,所述專用集成電路充當(dāng)針對(duì)換能器元件中的每個(gè)的電接口。為了集成整體換能器組件,還已知,將換能器陣列直接制造在專用集成電路的頂部表面上或?qū)Q能器陣列和專用集成電路附接到彼此以便減小換...
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