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技術(shù)編號：9932011

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專利說明優(yōu)先權(quán) 本非臨時專利申請要求2013年11月13日提交的題為"IMPROVED CHAMBER CLEANING WHEN USING ACID CHEMISTRIES TO FABRICATE MICROELECTRONIC DEVICES AND PRE⑶RSORS THEREO(當(dāng)利用酸化學(xué)物質(zhì)制造微電子器件及前體時改進的室清洗)"的美國 臨時專利申請第61/903693號的優(yōu)先權(quán)，所述臨時專利申請的全部內(nèi)容通過引入并入本文 用于所有目的。 ...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。

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• 張老師：1.廢水處理、污泥脫水 2.造紙固廢高值化利用
• 曾老師：新型污水脫氮技術(shù)以及微生物包埋技術(shù)的開發(fā)與應(yīng)用
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• 賈老師：1.環(huán)境污染控制：環(huán)境污染物的高級氧化去除及轉(zhuǎn)化機制 2.環(huán)境計算化學(xué)：典型污染物的環(huán)境相關(guān)物性參數(shù)預(yù)測及構(gòu)效關(guān)系研究
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• 李老師：水污染控制工程，固體廢物資源化
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