技術編號：9932586
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 光刻設備是一種將所需圖案應用到襯底的目標部分上的機器。例如，可W將光刻 設備用在集成電路（IC)的制造中。在運種情況下，可W將可選地稱為掩模或掩模版的圖案 形成裝置用于生成與所述IC的單層相對應的電路圖案，并且可W將該圖案成像到襯底(例 如，娃晶片)上的目標部分(例如，包括一部分管忍、一個或多個管忍)上，其中所述襯底具有 福射敏感材料(抗蝕劑)層。通常，單個襯底將包含被連續(xù)曝光的相鄰目標部分的網(wǎng)絡。公知 的光刻設備包括所謂的步進機，在所述步進機中，通過將...
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