超聲波設(shè)備、探測器、電子設(shè)備及超聲波圖像裝置的制造方法
【專利說明】超聲波設(shè)備、探測器、電子設(shè)備及超聲波圖像裝置
[0001]在2014年7月31日提交的日本專利申請N0.2014-155713的全部公開內(nèi)容結(jié)合于此作為參考。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明涉及超聲波設(shè)備、使用其的探測器、電子設(shè)備及超聲波圖像裝置等。
【背景技術(shù)】
[0003]例如專利文獻1所記載，提出了在所謂的整體型(bulk)超聲波換能器器件中貼緊于整體的壓電體的表面的聲音整合層。聲音整合層對應(yīng)各個壓電體被切斷。在相鄰的聲音整合片的相互之間塞有填縫料。填縫料的聲阻抗比聲音整合體的聲阻抗小。填縫料在鄰接的聲音整合片相互之間發(fā)揮防止串?dāng)_的作用。
[0004]【現(xiàn)有技術(shù)文獻】
[0005]【專利文獻】
[0006]專利文獻1:日本特開2007-235795號公報
[0007]在專利文獻1中，在填縫料中使用含有填料的硅橡膠。硅橡膠具有透濕性。因此，濕氣透過硅橡膠而到達電極。電極暴露于濕氣中。當(dāng)電極長時間暴露于濕氣時，擔(dān)心電極的腐蝕、電阻的增加。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]根據(jù)本發(fā)明的至少一個方式，能夠提供超聲波設(shè)備，其在防止串?dāng)_中能夠保護導(dǎo)電體免受濕氣的侵?jǐn)_。
[0009]本發(fā)明一方式涉及一種超聲波設(shè)備，其特征在于，具備:基體；超聲波換能器器件，陣列狀地配置于所述基體，分別具有振動膜；聲音整合層，形成于各個所述超聲波換能器器件上；導(dǎo)電體，在從所述基體的厚度方向俯視觀察時，配置于相鄰的所述超聲波換能器器件之間，與所述超聲波換能器器件的電極連接；保護膜，配置于所述導(dǎo)電體上，具有比所述聲音整合層小的透濕性；以及壁部，配置于所述保護膜上，在有關(guān)自所述基體的高度方向在至少一部分的高度范圍內(nèi)，將所述相鄰的所述超聲波換能器器件上的所述聲音整合層相互分隔，所述壁部具有區(qū)別于所述聲音整合層的聲阻抗的聲阻抗。
[0010]在超聲波發(fā)送時，超聲波換能器器件的振動膜產(chǎn)生超聲波振動。超聲波振動在聲音整合層內(nèi)傳遞，從聲音整合層的界面發(fā)出。此時，在相鄰的超聲波換能器器件之間，配置具有區(qū)別于聲音整合層的聲阻抗的聲阻抗的壁部。這樣，與聲阻抗的差相對應(yīng)，在超聲波換能器器件之間，在聲音整合層形成界面。界面防止超聲波振動的傳播。其結(jié)果是，從超聲波振動的一個振動膜向鄰接的超聲波換能器器件的振動膜的超聲波振動的傳遞得以防止。在一個振動膜的超聲波振動時，超聲波的串?dāng)_得以防止。保護膜的透濕性比聲音整合層的透濕性小，因此，與被聲音整合層覆蓋的情況相比，能夠更為保護導(dǎo)電體免受濕氣的侵?jǐn)_。
[0011](2)在超聲波設(shè)備中，可以為從所述基體的厚度方向俯視時，所述保護膜配置于所述導(dǎo)電體上、夾持所述導(dǎo)電體的表面的一部分的位置。此時，所述超聲波設(shè)備還可以具備配線體，所述配線體被配置為被所述導(dǎo)電體的表面的所述一部分、配置于夾持所述導(dǎo)電體的表面的一部分的位置的所述保護膜及所述壁部包圍。配線體能夠?qū)⒗缈臻g上被隔開的導(dǎo)電體彼此相互連接。此時，配線體在全長上被密封。這樣，配線體得到保護。
[0012](3)在所述壁部內(nèi)可以形成有空洞。壁部的材料的聲阻抗和空洞內(nèi)的空間的聲阻抗不同。從而，超聲波振動在壁部內(nèi)傳播，在空洞的界面反射。界面防止超聲波振動的傳播。其結(jié)果是，從進行超聲波振動的一個振動膜朝向鄰接的超聲波換能器器件的振動膜的超聲波振動的傳遞被進一步可靠地防止。
[0013](4)所述空洞可以在所述壁部中，在所述高度方向上在最遠離所述基體的頂上表面開口，其底部在所述高度方向上位于距離所述保護膜規(guī)定的高度位置。在壁部中，由于連續(xù)性在與保護膜、配線體的界面得以維持，因此，能夠足夠地確保壁部和保護膜或配線體的接合強度。
[0014](5)所述保護膜可以為無機材料的氧化膜或者氮化膜。無機材料的氧化膜、氮化膜能夠可靠地提供比聲音整合層小的透濕性。從而，保護膜能夠可靠地保護導(dǎo)電體免受濕氣侵?jǐn)_。
[0015](6)所述保護膜可以由A1203形成。A1 203能夠可靠地提供比聲音整合層小的透濕性。從而，保護膜能夠確實地保護導(dǎo)電體免受濕氣侵?jǐn)_。
[0016](7)所述壁部可以由具有比所述聲音整合層小的透濕性的材料形成?？煽康乇Ｗo配線體免受濕氣侵?jǐn)_。其結(jié)果是，可以將具有高導(dǎo)電性的材料用于配線體。
[0017](8)所述壁部可以由永久抗蝕膜形成。永久抗蝕膜通過將抗蝕材料燒結(jié)而形成。從而，能夠以高精度形成壁部，并且，能夠比較簡單地實現(xiàn)。制造工序的增加也被最小限度地抑制。
[0018](9)所述壁部可以對應(yīng)共通連接于一根信號線的每個所述超聲波換能器器件組，分隔所述聲音整合層。屬于共通連接于一根信號線的超聲波換能器器件組的振動膜與驅(qū)動信號的供給相對應(yīng)而同時振動。從上述振動膜向?qū)儆谄渌某暡〒Q能器器件組的振動膜的超聲波振動的傳遞得以防止。
[0019](10)所述壁部可以在共通連接于所述信號線的所述超聲波換能器器件組中，將所述相鄰的所述超聲波換能器器件上的所述聲音整合層相互分隔。防止在同時振動的振動膜之間產(chǎn)生超聲波振動的傳遞。防止在同時振動的振動膜相互之間產(chǎn)生超聲波的串?dāng)_。
[0020](11)以上的超聲波設(shè)備可以組裝于探測器使用。此時，探測器可以具備超聲波設(shè)備、以及支撐所述超聲波設(shè)備的框體。
[0021](12)超聲波設(shè)備可以組裝于電子設(shè)備使用。此時，電子設(shè)備可以具備超聲波設(shè)備；以及連接于所述超聲波設(shè)備、處理所述超聲波設(shè)備的輸出的處理裝置。
[0022](13)超聲波設(shè)備可以組裝于超聲波圖像裝置使用。此時，超聲波圖像裝置可以具備超聲波設(shè)備；以及顯示根據(jù)所述超聲波設(shè)備的輸出生成的圖像的顯示裝置。
【附圖說明】
[0023]圖1為概略示出一實施方式涉及的電子設(shè)備的一具體例即超聲波診斷裝置。
[0024]圖2為第一實施方式涉及的超聲波設(shè)備的放大俯視圖。
[0025]圖3為沿圖1的A-A線的截面圖。
[0026]圖4為沿圖2的B-B線的放大截面圖。
[0027]圖5相當(dāng)于圖3的放大部分截面圖，其為概略示出第二實施方式涉及的超聲波設(shè)備的構(gòu)造的截面圖。
[0028]圖6為第三實施方式涉及的超聲波設(shè)備的放大部分俯視圖。
[0029]圖7為沿圖6的C-C線的部分截面圖。
[0030]符號說明
[0031]11作為電子設(shè)備的超聲波圖像裝置(超聲波診斷裝置)
[0032]12處理部(裝置終端)13探測器(超聲波探測器)
[0033]15顯示裝置(顯示面板) 16框體
[0034]17超聲波設(shè)備17a超聲波設(shè)備
[0035]17b超聲波設(shè)備17c超聲波設(shè)備
[0036]21基體23超聲波換能器器件
[0037]24振動膜42電極(上電極)
[0038]43電極(下電極)45導(dǎo)電體(第一導(dǎo)電體)
[0039]46導(dǎo)電體(第二導(dǎo)電體) 47保護膜(第一保護膜)
[0040]48保護膜(第二保護膜) 51壁部(壁)
[0041]73聲音整合層76空洞
[0042]77配線體(配線圖案)78空間。
【具體實施方式】
[0043]以下，參照【附圖說明】本發(fā)明的一實施方式。此外，以下說明的本實施方式，并非不當(dāng)?shù)叵薅ū景l(fā)明的保護范圍所記載的本發(fā)明的內(nèi)容，本實施方式所說明的結(jié)構(gòu)的全部作為本發(fā)明的技術(shù)方案也不是必須的。
[0044](1)超聲波診斷裝置的整體結(jié)構(gòu)
[0045]圖1為概略示出本發(fā)明一實施方式涉及的電子設(shè)備的一具體例即超聲波診斷裝置(超聲