本發(fā)明涉及劃片機(jī)設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種阻擋水霧裝置及劃片機(jī)。
背景技術(shù):
信息化高速發(fā)展的背景下,半導(dǎo)體制品需求量增大,從而使自動劃片機(jī)的需求量日益增多。但產(chǎn)品的老化及損壞,增加著售后維修成本。其中水霧對Z向溜板及光柵尺的腐蝕,加速了自動劃片機(jī)設(shè)備的老化及損壞。Z向溜板的材料為灰口鑄鐵,極易被腐蝕;光柵尺精度微米級,附著污漬會改變光的反射角度,影響側(cè)值增加誤差。
目前,多數(shù)自動劃片機(jī)采用通過塑料卷簾阻擋水霧,但在高速劃切過程中產(chǎn)生的大量水霧會從各個方向滲出,顯微鏡觀測口尤甚,現(xiàn)有裝置阻擋水霧效果不佳,水霧通過顯微鏡觀測口附著在Z向溜板及光柵尺上產(chǎn)生腐蝕和污漬。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
有鑒于此,本發(fā)明提供一種阻擋水霧裝置及劃片機(jī),解決阻擋水霧效果不佳的問題。
為解決上述問題,本發(fā)明提供一種阻擋水霧裝置,包括:底板和與底板連接的相對設(shè)立的側(cè)壁,底板表面沿底板的厚度方向設(shè)置有第一氣孔和第二氣孔,第一氣孔和第二氣孔的孔壁上沿著徑向方向分別設(shè)置有具有導(dǎo)向作用的第一氣槽和第二氣槽,底板的側(cè)面設(shè)置有第一進(jìn)氣口和第二進(jìn)氣口,底板的內(nèi)部設(shè)置有第一氣體流通通道和第二氣體流通通道,第一氣體流通通道的一端與第一氣槽連通,第一氣體流通通道的另一端連接第一進(jìn)氣口,第二氣體流通通道的一端與第二氣槽連通,第二氣體流通通道的另一端連接第二進(jìn)氣口,第一進(jìn)氣口與第二進(jìn)氣口連接輸送壓力氣體的氣管。
壓力氣體依次通過氣管、第一進(jìn)氣口、第一氣體流通通道以及第一氣槽,在第一氣孔中形成阻擋水霧的氣旋,壓力氣體同時還依次通過氣管、第二進(jìn)氣口、第二氣體流通通道以及第二氣槽,在第二氣孔中形成阻擋水霧的氣旋。
可選地,底板與側(cè)壁上設(shè)置有用于將阻擋水霧裝置與鏡頭連接的第一連接部。
可選地,第一連接部為固定孔。
可選地,底板上遠(yuǎn)離第一進(jìn)氣口與第二進(jìn)氣口的一側(cè)設(shè)置有用于連接鏡頭除水吹氣管的第二連接部。
可選地,底板上靠近第一進(jìn)氣口與第二進(jìn)氣口一側(cè)設(shè)置有用于固定阻擋水霧裝置的第三連接部。
可選地,第一氣孔與第二氣孔均為圓形通孔。
可選地,第一氣槽與第一氣體流通通道相切連接,第二氣槽與第二氣體流通通道相切連接。
可選地,第一氣槽與第二氣槽、第一氣體流通通道與第二氣體流通通道、第一進(jìn)氣口與第二進(jìn)氣口均軸對稱設(shè)置,第一氣孔與第二氣孔內(nèi)形成的氣旋方向相反。
可選地,第一氣孔中形成的氣旋方向與第二氣孔中形成的氣旋方向相同,均為逆時針方向。
本發(fā)明還提供一種劃片機(jī),包括上述阻擋水霧裝置。
綜上所述,阻擋水霧裝置包括設(shè)置在第一氣孔和第二氣孔的孔壁上具有導(dǎo)向作用的第一氣槽、第二氣槽和分別與第一氣槽、第二氣槽連通的第一氣體流通通道、第二氣體流通通道以及第一進(jìn)氣口、第二進(jìn)氣口,壓力氣體依次通過氣管、第一進(jìn)氣口、第一氣體流通通道以及第一氣槽,壓力氣體同時還依次通過氣管、第二進(jìn)氣口、第二氣體流通通道以及第二氣槽,分別在第一氣孔和第二氣孔中形成氣旋,水霧接觸到旋渦狀氣旋被彈開,從而改變水霧流動方向,防止水霧腐蝕設(shè)備零部件,延緩設(shè)備老化,保證設(shè)備精度,具有結(jié)構(gòu)簡單,安裝方便,便于維修的優(yōu)點,同時水霧阻擋裝置與顯微鏡鏡頭連接形成顯微固定裝置,空間利用率高,成本低,實用性強(qiáng)。
附圖說明
圖1為本發(fā)明具體實施例的阻擋水霧裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為本發(fā)明具體實施例的阻擋水霧裝置的原理示意圖;
圖3為本發(fā)明具體實施例的劃片機(jī)的結(jié)構(gòu)簡圖。
附圖標(biāo)記說明
1、底板;2、側(cè)壁;3、第一進(jìn)氣口;4、第一氣流流通通道;5、第一氣槽;6、第一氣孔;7、第二氣孔;8、第二氣槽;9、第二氣流流通通道;10、第二進(jìn)氣口;11、阻擋水霧裝置;12、鏡頭除水吹氣管;13、顯微鏡觀測口;14、顯微鏡外罩;15、空氣主軸;16、Z向溜板;17、Z向光柵尺;A、旋轉(zhuǎn)氣旋運(yùn)動方向;B、水霧運(yùn)動方向。
具體實施方式
為使本發(fā)明要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚,下面將結(jié)合附圖及具體實施例進(jìn)行詳細(xì)描述。
參見圖1~圖3,本實施例中,阻擋水霧裝置11包括:底板1和與底板1連接的一對相對設(shè)立的側(cè)壁2,底板1表面上沿厚度方向設(shè)置有第一氣孔6和第二氣孔7,第一氣孔6和第二氣孔7為圓形通孔,第一氣孔6和第二氣孔7的孔壁上均開有具有導(dǎo)向作用的第一氣槽5和第二氣槽8。
本實施例中,底板1的側(cè)面設(shè)置有第一進(jìn)氣口3和第二進(jìn)氣口10,底板1的內(nèi)部設(shè)置有第一氣體流通通道4和第二氣體流通通道7,其中第一氣槽5與第二氣槽8均為環(huán)形氣槽。其中,第一氣體流通通道4的一端與第一氣槽5連通,第一氣體流通通道4的另一端連接第一進(jìn)氣口3。第二氣體流通通道7的一端與第二氣槽8連通,第二氣體流通通道7的另一端連接第二進(jìn)氣口10,第一進(jìn)氣口3與第二進(jìn)氣口10連接輸送壓力氣體的氣管。
本實施例中,第一氣槽5與第一氣體流通通道4相切連接,第二氣槽8與第二氣體流通通道7相切連接。
當(dāng)空氣主軸15高速運(yùn)轉(zhuǎn)時,刀片接觸到冷卻水流,水流被打散霧化,向各個方向流動。此時壓力氣體接通,經(jīng)氣管流向阻擋水霧裝置11,壓力氣體依次通過氣管、第一進(jìn)氣口3、第一氣體流通通道4以及第一氣槽5,在第一氣孔6中形成氣旋;壓力氣體同時還依次通過氣管、第二進(jìn)氣口10、第二氣體流通通道7以及第二氣槽8,在第二氣孔7中形成氣旋。
其中,第一氣槽5與第二氣槽8、第一氣體流通通道4與第二氣體流通通道7、第一進(jìn)氣口3與第二進(jìn)氣口10均軸對稱設(shè)置,第一氣孔6與第二氣孔7內(nèi)形成的氣旋方向相反。本實施例中,第一氣體流通通道4在第一氣槽5的左邊相切,第二氣體流通通道2與第二氣槽7在右邊相切,故而第一氣孔6的氣旋為順時針方向,第二氣孔7的氣旋為逆時針方向,當(dāng)然,本實施例并不限定相切的具體位置,具體位置取決于安裝空間。
本實施例中,第一氣孔6中形成的氣旋方向與第二氣孔7中形成的氣旋方向可以相同,均為逆時針方向,在地球北半球,科里奧利力(簡稱科氏力)造成流體逆時針旋轉(zhuǎn),本實施例中,氣旋方向與科氏加速度方向一致,即氣旋方向為逆時針方向,可以減小氣體運(yùn)動過程中的能量損失,從而提高防水霧的質(zhì)量。
本實施例中,氣旋分布在鏡頭的四周并沿著第一氣孔6或第二氣孔7的軸線(即鏡頭的軸線)方向向下移動并經(jīng)過顯微鏡觀測口13排出,即為圖3中的旋轉(zhuǎn)氣膜運(yùn)動方向A。
飛向顯微鏡觀測口13的水霧遇到氣旋后,運(yùn)動軌跡改變,向周圍運(yùn)動(圖3中的水霧運(yùn)動方向B),無法經(jīng)過顯微鏡觀測口13飄向上方附著在其它部件(例如Z向溜板16、Z向光柵尺17)上面,從而起到了阻礙水霧的作用,防止水霧腐蝕部件。
本實施例中,阻擋水霧裝置11還包括第一連接部和第二連接部,其中,第一連接部(例如固定孔)設(shè)置在底板1與側(cè)壁2上,第一連接部用于連接阻擋水霧裝置11與顯微鏡鏡頭,置于顯微鏡外罩14的內(nèi)部,第二連接部設(shè)置在底板上遠(yuǎn)離第一進(jìn)氣口3與第二進(jìn)氣口10的一側(cè),第二連接部連接鏡頭除水吹氣管12,當(dāng)需要通過鏡頭觀測時,鏡頭除水吹氣管12吹去鏡頭附近的水霧。
本實施例中,顯微鏡鏡頭觀測口11下面布置傳統(tǒng)的防水霧裝置,例如擋板,共同起到阻擋水霧的作用。
本實施例中,阻擋水霧裝置11在有限的空間內(nèi)將鏡頭固定機(jī)構(gòu)和氣膜包覆保護(hù)機(jī)構(gòu)相結(jié)合,能有效提高空間的利用率。
本實施例中,阻擋水霧裝置11還包括底板上第一進(jìn)氣口3與第二進(jìn)氣口10一側(cè)的第三連接部,例如凸臺,凸臺上設(shè)置有安裝孔,用于將連接后的阻擋水霧裝置11與顯微鏡鏡頭進(jìn)行固定,例如固定在劃片機(jī)上。
綜上所述,阻擋水霧裝置包括設(shè)置在第一氣孔和第二氣孔的側(cè)壁的具有導(dǎo)向作用的第一氣槽、第二氣槽和分別與第一氣槽、第二氣槽連通的第一氣體流通通道、第二氣體流通通道以及第一進(jìn)氣口、第二進(jìn)氣口,壓力氣體依次通過氣管、第一進(jìn)氣口、第一氣體流通通道以及第一氣槽,壓力氣體同時還依次通過氣管、第二進(jìn)氣口、第二氣體流通通道以及第二氣槽,分別在第一氣孔與第二氣孔中形成氣旋,水霧接觸到旋渦狀氣旋被彈開,從而改變水霧流動方向,防止水霧腐蝕設(shè)備零部件,具有結(jié)構(gòu)簡單,安裝方便,便于維修的優(yōu)點,同時與原有顯微鏡部件連接,空間利用率高,成本低,實用性強(qiáng)。
以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下,還可以作出若干改進(jìn)和潤飾,這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。