本發(fā)明涉及一種sic晶片的生成方法,將sic晶錠切片成晶片狀。
背景技術(shù):
在以硅等作為材料的晶片的正面上層疊功能層,在該功能層上在通過多個(gè)分割預(yù)定線劃分出的區(qū)域,ic、lsi等各種器件形成在該區(qū)域。然后,通過切削裝置、激光加工裝置等加工裝置對晶片的分割預(yù)定線實(shí)施加工,將晶片分割成各個(gè)器件芯片,分割得到的器件芯片廣泛應(yīng)用于移動(dòng)電話、個(gè)人計(jì)算機(jī)等各種電子設(shè)備。
另外,在以sic、gan等sic作為材料的晶片的正面上層疊有功能層,在所層疊的功能層上通過形成為格子狀的多個(gè)分割預(yù)定線進(jìn)行劃分而形成功率器件或者led、ld等光器件。
形成器件的晶片通常是利用劃片鋸對晶錠進(jìn)行切片而生成的,對切片得到的晶片的正面背面進(jìn)行研磨而精加工成鏡面(參照例如日本特開2000-94221號公報(bào))。
在該劃片鋸中,將直徑約為100~300μm的鋼琴絲等一根金屬絲纏繞在通常二~四條設(shè)置于間隔輔助輥上的多個(gè)槽中,按照一定間距彼此平行配置且使金屬絲在一定方向或者雙向上行進(jìn),將晶錠切片成多個(gè)晶片。
但是,當(dāng)利用劃片鋸將晶錠切斷,并對正面背面進(jìn)行研磨而生成晶片時(shí),會(huì)浪費(fèi)晶錠的70~80%,存在不經(jīng)濟(jì)的問題。特別是sic、gan等六方晶單晶晶錠的莫氏硬度較高,利用劃片鋸而進(jìn)行的切斷很困難,花費(fèi)相當(dāng)長的時(shí)間,生產(chǎn)性較差,在高效地生成晶片方面存在問題。
為了解決這些問題,在日本特開2013-49461號公報(bào)中記載了如下技術(shù):將對于sic具有透過性的波長的激光束的聚光點(diǎn)定位在sic晶錠的內(nèi)部來進(jìn)行照射,在切斷預(yù)定面上形成改質(zhì)層和裂痕,并施加外力而沿著形成有改質(zhì)層和裂痕的切斷預(yù)定面割斷晶片,從sic晶錠分離晶片。
在該公開公報(bào)所記載的技術(shù)中,以脈沖激光束的第一照射點(diǎn)和距該第一照射點(diǎn)最近的第二照射點(diǎn)處于規(guī)定的位置的方式,沿著切斷預(yù)定面呈螺旋狀照射脈沖激光束的聚光點(diǎn)或者呈直線狀照射脈沖激光束的聚光點(diǎn),在sic晶錠的切斷預(yù)定面上形成非常高密度的改質(zhì)層和裂痕。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本特開2000-94221號公報(bào)
專利文獻(xiàn)2:日本特開2013-49461號公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
發(fā)明所要解決的課題
但是,為了在晶片的內(nèi)部形成良好的改質(zhì)層,優(yōu)選將聚光透鏡的數(shù)值孔徑na增大至0.45~0.9、將焦點(diǎn)深度設(shè)定為5μm以下,其結(jié)果,必須使聚光點(diǎn)的直徑低至
另一方面,使聚光透鏡的數(shù)值孔徑na減小、使聚光點(diǎn)的直徑增大時(shí),焦點(diǎn)深度變大,改質(zhì)層上下浮動(dòng),存在難以在同一面上形成改質(zhì)層的問題。
本發(fā)明是鑒于這樣的點(diǎn)而完成的,其目的在于提供一種sic晶片的生成方法,能夠高效地從sic晶錠生成sic晶片。
用于解決課題的手段
根據(jù)技術(shù)方案1所述的發(fā)明,提供一種sic晶片的生成方法,該sic晶片的生成方法的特征在于,具備:分離起點(diǎn)形成步驟,將對于sic晶錠具有透過性的波長的激光束的聚光點(diǎn)定位在距sic晶錠的端面相當(dāng)于要生成的晶片的厚度的深度,并且使該聚光點(diǎn)與sic晶錠相對地移動(dòng)來對該端面照射激光束,形成與該端面平行的改質(zhì)層和從該改質(zhì)層起進(jìn)行伸長的裂痕作為分離起點(diǎn);和晶片剝離步驟,在實(shí)施了該分離起點(diǎn)形成步驟之后,從該分離起點(diǎn)將相當(dāng)于晶片的厚度的板狀物從該sic晶錠剝離而生成sic晶片,在該分離起點(diǎn)形成步驟中,將形成聚光點(diǎn)的聚光透鏡的數(shù)值孔徑設(shè)定為0.45~0.9,并且將激光束的m2因子實(shí)質(zhì)設(shè)定為5~50,將聚光點(diǎn)的直徑設(shè)定為
優(yōu)選將聚光點(diǎn)的功率密度設(shè)定為(2~3)×105w/cm2。
根據(jù)技術(shù)方案3所述的發(fā)明,提供一種sic晶片的生成方法,其從sic晶錠生成sic晶片,該sic晶錠具有:第一面和位于該第一面的相反側(cè)的第二面;從該第一面至該第二面的c軸;和與該c軸垂直的c面,該sic晶片的生成方法的特征在于,具備:分離起點(diǎn)形成步驟,將對于sic晶錠具有透過性的波長的激光束的聚光點(diǎn)定位在距該第一面相當(dāng)于要生成的晶片的厚度的深度,并且使該聚光點(diǎn)與該sic晶錠相對地移動(dòng)來對該第一面照射該激光束,形成與該第一面平行的改質(zhì)層和從該改質(zhì)層起進(jìn)行伸長的裂痕作為分離起點(diǎn);和晶片剝離步驟,在實(shí)施了該分離起點(diǎn)形成步驟之后,從該分離起點(diǎn)將相當(dāng)于晶片的厚度的板狀物從該sic晶錠剝離而生成sic晶片,該分離起點(diǎn)形成步驟包含:改質(zhì)層形成步驟,該c軸相對于該第一面的垂線傾斜偏離角,使激光束的聚光點(diǎn)沿著與在該第一面和該c面之間形成偏離角的方向垂直的方向相對地移動(dòng)來形成直線狀的改質(zhì)層;和轉(zhuǎn)位步驟,在該形成偏離角的方向上使該聚光點(diǎn)相對地移動(dòng)而轉(zhuǎn)位規(guī)定的量,在該分離起點(diǎn)形成步驟中,將形成聚光點(diǎn)的聚光透鏡的數(shù)值孔徑設(shè)定為0.45~0.9,并且將激光束的m2因子實(shí)質(zhì)設(shè)定為5~50,將該聚光點(diǎn)的直徑設(shè)定為
發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明的sic晶片的生成方法,在分離起點(diǎn)形成步驟中,將形成聚光點(diǎn)的聚光透鏡的數(shù)值孔徑na設(shè)定為0.45~0.9,并且將激光束的m2因子實(shí)質(zhì)設(shè)定為5~50,將聚光點(diǎn)的直徑設(shè)定為
附圖說明
圖1是適合實(shí)施本發(fā)明的sic晶片的生成方法的激光加工裝置的立體圖。
圖2是激光束產(chǎn)生單元的框圖。
圖3的(a)是sic晶錠的立體圖,圖3的(b)是其主視圖。
圖4是說明分離起點(diǎn)形成步驟的立體圖。
圖5是sic晶錠的俯視圖。
圖6是說明改質(zhì)層形成步驟的示意性截面圖。
圖7是說明改質(zhì)層形成步驟的示意性俯視圖。
圖8的(a)是說明轉(zhuǎn)位步驟的示意性俯視圖,圖8的(b)是說明轉(zhuǎn)位量的示意性俯視圖。
圖9是說明改質(zhì)層形成步驟中所照射的激光束的m2因子與聚光透鏡的聚光光斑的關(guān)系的示意圖。
圖10是說明本發(fā)明實(shí)施方式的改質(zhì)層形成步驟的示意圖,其中,通過將m2因子設(shè)定為較大的值,能夠使用焦點(diǎn)深度較淺的聚光透鏡來形成面積較大的改質(zhì)層。
圖11是說明晶片剝離步驟的立體圖。
圖12是所生成的sic晶片的立體圖。
具體實(shí)施方式
以下,參照附圖詳細(xì)地說明本發(fā)明的實(shí)施方式。參照圖1,示出了適合實(shí)施本發(fā)明的sic晶片的生成方法的激光加工裝置2的立體圖。激光加工裝置2包含以能夠在x軸方向上移動(dòng)的方式搭載在靜止基臺4上的第一滑動(dòng)塊6。
第一滑動(dòng)塊6在由滾珠絲杠8和脈沖電動(dòng)機(jī)10構(gòu)成的加工進(jìn)給機(jī)構(gòu)12的作用下沿著一對導(dǎo)軌14在加工進(jìn)給方向移動(dòng),即在x軸方向上移動(dòng)。
第二滑動(dòng)塊16以能夠在y軸方向上移動(dòng)的方式搭載在第一滑動(dòng)塊6上。即,第二滑動(dòng)塊16在由滾珠絲杠18和脈沖電動(dòng)機(jī)20構(gòu)成的分度進(jìn)給機(jī)構(gòu)22的作用下沿著一對導(dǎo)軌24在分度進(jìn)給方向移動(dòng),即在y軸方向上移動(dòng)。
在第二滑動(dòng)塊16上搭載有支承工作臺26。支承工作臺26能夠在加工進(jìn)給機(jī)構(gòu)12和分度進(jìn)給機(jī)構(gòu)22的作用下在x軸方向和y軸方向上移動(dòng),并且在收納在第二滑動(dòng)塊16中的電動(dòng)機(jī)的作用下旋轉(zhuǎn)。
在靜止基臺4上豎立設(shè)置有柱28,在該柱28上安裝有激光束照射機(jī)構(gòu)(激光束照射構(gòu)件)30。激光束照射機(jī)構(gòu)30由收納在外殼32中的圖2所示的激光束產(chǎn)生單元34和安裝于外殼32的前端的聚光器(激光頭)36構(gòu)成。在外殼32的前端安裝有具有顯微鏡和照相機(jī)的攝像單元38,該攝像單元38與聚光器36排列在x軸方向上。
如圖2所示,激光束產(chǎn)生單元34包含振蕩出yag激光或者yvo4激光的激光振蕩器40、重復(fù)頻率設(shè)定單元42、脈沖寬度調(diào)整單元44和功率調(diào)整單元46。雖然未特別圖示,但激光振蕩器40具有布魯斯特窗,從激光振蕩器40射出的激光束是直線偏光的激光束。
利用激光束產(chǎn)生單元34的功率調(diào)整單元46調(diào)整為規(guī)定功率的脈沖激光束被聚光器36的反射鏡48反射,進(jìn)而利用聚光透鏡50將聚光點(diǎn)定位在作為固定于支承工作臺26的被加工物的sic晶錠11的內(nèi)部來進(jìn)行照射。
參照圖3的(a),示出了作為加工對象物的sic晶錠(以下有時(shí)簡稱為晶錠)11的立體圖。圖3的(b)是圖3的(a)所示的sic晶錠11的主視圖。
晶錠11具有第一面(上表面)11a和與第一面11a相反側(cè)的第二面(下表面)11b。由于晶錠11的上表面11a是激光束的照射面,因此將其研磨成鏡面。
晶錠11具有第一定向平面13和與第一定向平面13垂直的第二定向平面15。第一定向平面13的長度形成為比第二定向平面15的長度長。
晶錠11具有c軸19和c面21,該c軸19相對于上表面11a的垂線17向第二定向平面15方向傾斜偏離角α,該c面21與c軸19垂直。c面21相對于晶錠11的上表面11a傾斜偏離角α。通常在sic晶錠11中,與較短的第二定向平面15的伸長方向垂直的方向是c軸的傾斜方向。
在晶錠11中按照晶錠11的分子級設(shè)定有無數(shù)個(gè)c面21。在本實(shí)施方式中,偏離角α被設(shè)定為4°。但是,偏離角α不限于4°,能夠在例如1°~6°的范圍中自由地設(shè)定而制造出晶錠11。
再次參照圖1,在靜止基臺4的左側(cè)固定有柱52,在該柱52上經(jīng)由形成于柱52的開口53以能夠在上下方向上移動(dòng)的方式搭載有按壓機(jī)構(gòu)54。
在本實(shí)施方式的晶片的生成方法中,如圖4所示,例如利用蠟或者粘接劑將晶錠11以晶錠11的第二定向平面15在x軸方向上排列的方式固定在支承工作臺26上。
即,如圖5所示,使箭頭a方向與x軸對齊,將晶錠11固定在支承工作臺26上,其中,該a方向即是與形成有偏離角α的方向y1垂直的方向,換言之,其是與c軸19的與上表面11a的交點(diǎn)19a相對于晶錠11的上表面11a的垂線17所存在的方向垂直的方向。
由此,沿著與形成有偏離角α的方向垂直的方向a掃描激光束。換言之,與形成有偏離角α的方向y1垂直的a方向成為支承工作臺26的加工進(jìn)給方向。
在本發(fā)明的sic晶片的生成方法中,將從聚光器36射出的激光束的掃描方向設(shè)為與晶錠11的形成偏離角α的方向y1垂直的箭頭a方向是很重要的。
即,本發(fā)明的sic晶片的生成方法的特征在于認(rèn)識到了下述情況:通過將激光束的掃描方向設(shè)定為上述那樣的方向,從形成于晶錠11的內(nèi)部的改質(zhì)層傳播的裂痕沿著c面21伸長的非常長。
在本實(shí)施方式的sic晶片的生成方法中,首先,實(shí)施分離起點(diǎn)形成步驟,將對于固定于支承工作臺26的sic晶錠11具有透過性的波長(例如1064nm的波長)的激光束的聚光點(diǎn)定位在距第一面(上表面)11a相當(dāng)于要生成的晶片的厚度的深度,并且使聚光點(diǎn)與sic晶錠11相對地移動(dòng)來對上表面11a照射激光束,形成與上表面11a平行的改質(zhì)層23和從改質(zhì)層23沿著c面21傳播的裂痕25作為分離起點(diǎn)。
該分離起點(diǎn)形成步驟包含:改質(zhì)層形成步驟,c軸19相對于上表面11a的垂線17傾斜偏離角α,在與在c面21和上表面11a之間形成偏離角α的方向(即圖5的箭頭y1方向)垂直的方向(即a方向)上使激光束的聚光點(diǎn)相對地移動(dòng)來在晶錠11的內(nèi)部形成改質(zhì)層23和從改質(zhì)層23沿著c面21傳播的裂痕25;和轉(zhuǎn)位步驟,如圖7和圖8所示,在形成偏離角的方向(即y軸方向)上使聚光點(diǎn)相對地移動(dòng)且轉(zhuǎn)位規(guī)定的量。
如圖6和圖7所示,在x軸方向上將改質(zhì)層23形成為直線狀時(shí),裂痕25從改質(zhì)層23的兩側(cè)沿著c面21傳播而形成。在本實(shí)施方式的sic晶片的生成方法中包含轉(zhuǎn)位量設(shè)定步驟,對從直線狀的改質(zhì)層23起在c面方向上傳播而形成的裂痕25的寬度進(jìn)行測量,設(shè)定聚光點(diǎn)的轉(zhuǎn)位量。
在轉(zhuǎn)位量設(shè)定步驟中,如圖6所示,在將從直線狀的改質(zhì)層23起在c面方向上傳播而形成在改質(zhì)層23的單側(cè)的裂痕25的寬度設(shè)為w1的情況下,將應(yīng)該進(jìn)行轉(zhuǎn)位的規(guī)定的量w2設(shè)定為w1以上2w1以下。
此處,優(yōu)選的實(shí)施方式的改質(zhì)層形成步驟如下設(shè)定。
光源:nd:yag脈沖激光
波長:1064nm
重復(fù)頻率:80khz
平均輸出:3.2w
脈沖寬度:4ns
光斑直徑:10μm
聚光透鏡的數(shù)值孔徑(na):0.45
轉(zhuǎn)位量:400μm
在上述的激光加工條件中,在圖6中,將從改質(zhì)層23沿著c面?zhèn)鞑サ牧押?5的寬度w1設(shè)定為大致250μm,將轉(zhuǎn)位量w2設(shè)定為400μm。
但是,激光束的平均輸出不限于3.2w,在本實(shí)施方式的加工方法中,將平均輸出設(shè)定為2w~4.5w而得到良好的結(jié)果。在平均輸出為2w的情況下,裂痕25的寬度w1為大致100μm,在平均輸出為4.5w的情況下,裂痕25的寬度w1為大致350μm。
在平均輸出小于2w的情況下和大于4.5w的情況下,無法在晶錠11的內(nèi)部形成良好的改質(zhì)層23,因此優(yōu)選照射的激光束的平均輸出在2w~4.5w的范圍內(nèi),在本實(shí)施方式中對晶錠11照射平均輸出為3.2w的激光束。在圖6中,將形成改質(zhì)層23的聚光點(diǎn)的距上表面11a的深度d1設(shè)定為500μm。
參照圖8的(a),示出了說明激光束的掃描方向的示意圖。利用往路x1和返路x2實(shí)施分離起點(diǎn)形成步驟,對于利用往路x1在sic晶錠11中形成改質(zhì)層23的激光束的聚光點(diǎn)而言,在轉(zhuǎn)位了規(guī)定的量之后,利用返路x2在sic晶錠11中形成改質(zhì)層23。
另外,在分離起點(diǎn)形成步驟中,在激光束的聚光點(diǎn)的應(yīng)該轉(zhuǎn)位的規(guī)定的量被設(shè)定為w以上2w以下的情況下,激光束的聚光點(diǎn)定位在在sic晶錠11并且形成最初的改質(zhì)層23之前的聚光點(diǎn)的轉(zhuǎn)位量設(shè)定為w以下。
例如,如圖8的(b)所示,在激光束的聚光點(diǎn)應(yīng)該轉(zhuǎn)位的規(guī)定的量為400μm的情況下,以轉(zhuǎn)位量200μm執(zhí)行多次激光束的掃描直到在晶錠11中形成最初的改質(zhì)層23為止。
最初的激光束的掃描是空掃,如果判明在晶錠11的內(nèi)部開始形成了改質(zhì)層23,則設(shè)定為轉(zhuǎn)位量400μm來在晶錠11的內(nèi)部形成改質(zhì)層23。
接著,參照圖9和圖10,對本發(fā)明實(shí)施方式的改質(zhì)層形成步驟進(jìn)行說明,其中,通過在改質(zhì)層形成步驟中將激光束的m2因子設(shè)定為適當(dāng)?shù)姆秶軌蚴褂媒裹c(diǎn)深度較淺的聚光透鏡來形成直徑較大的改質(zhì)層。
此處,m2因子是表示激光束的橫模的品質(zhì)的因子,其是表示與實(shí)際的激光束為理想的tem00的高斯光束相比偏離多少的數(shù)值。高斯光束的情況下,m2=1。
將經(jīng)聚光透鏡50聚光的激光束的光斑直徑設(shè)為d、將激光束的波長設(shè)為λ、將聚光透鏡的數(shù)值孔徑設(shè)為na時(shí),具有下述關(guān)系:
d=1.22(λ/na)……(1)
例如,激光束的波長λ=1064nm、聚光透鏡50的數(shù)值孔徑na=0.45時(shí),d=2.88μm。
在本實(shí)施方式的改質(zhì)層形成步驟中,為了使聚光透鏡50的焦點(diǎn)深度較淺,采用數(shù)值孔徑na為0.45~0.9的范圍內(nèi)的聚光透鏡50。使用這樣的聚光透鏡50,為了使激光束lb的聚光點(diǎn)62的直徑設(shè)為15μm~150μm,計(jì)算激光束lb的m2因子,結(jié)果得到m2=5~50。
這樣的具有較大數(shù)值的m2因子是偏離理想的高斯光束相當(dāng)大的m2因子,可以說是激光束lb的品質(zhì)相當(dāng)差的激光束。即,可以說在本實(shí)施方式的改質(zhì)層形成步驟中使用的激光束lb是品質(zhì)相當(dāng)差的激光束。
在圖9所示的實(shí)施方式中,在聚光透鏡50的近前(上游側(cè))配設(shè)磨砂玻璃60,將激光束lb的m2因子設(shè)定為5~50。
將m2因子實(shí)質(zhì)設(shè)定為5~50的方法如下所述。
(1)使用m2因子為5~50的激光振蕩器。
(2)如圖9所示,在聚光透鏡50的近前配設(shè)磨砂玻璃60,將激光束的m2因子實(shí)質(zhì)設(shè)定為5~50。
(3)代替磨砂玻璃60,在聚光透鏡50的近前配設(shè)相位調(diào)制器,將激光束的m2因子實(shí)質(zhì)設(shè)定為5~50。
(4)在聚光透鏡50的近前配設(shè)衍射光柵(doe),使激光束成為多分支,將激光束的m2因子實(shí)質(zhì)設(shè)定為5~50。
(5)使用將激光束的m2因子實(shí)質(zhì)設(shè)定為5~50的聚光透鏡50。
(6)將激光束入射至多模光纖,將從多模光纖射出的激光束的m2因子設(shè)定為5~50。
參照圖10,示出了如下形成改質(zhì)層23時(shí)的示意圖,使用將聚光透鏡50的數(shù)值孔徑na設(shè)定為0.45~0.9且焦點(diǎn)深度較淺的聚光透鏡50,并且將激光束lb的m2因子實(shí)質(zhì)設(shè)定為5~50而形成改質(zhì)層23。聚光點(diǎn)62的直徑為
本實(shí)施方式的改質(zhì)層形成步驟的主要目的在于形成具有較大面積的改質(zhì)層23,因此對于日本特開2013-49461號公報(bào)記載那樣的激光束的照射方法也可以應(yīng)用。
即,不限于下述改質(zhì)層形成步驟,c軸相對于晶錠11的第一面的垂線傾斜偏離角,使激光束的聚光點(diǎn)沿著與在第一面和c面之間形成偏離角的方向垂直的方向相對地移動(dòng)的改質(zhì)層形成步驟,也可以應(yīng)用至c軸和c面沒有任何關(guān)系的改質(zhì)層形成步驟。
在本實(shí)施方式的改質(zhì)層形成步驟中,將聚光透鏡50的數(shù)值孔徑na設(shè)定為0.45~0.9,并且將激光束lb的m2因子實(shí)質(zhì)設(shè)定為5~50,因此能夠使聚光點(diǎn)的直徑為
因此,能夠形成面積較大的改質(zhì)層23,因此能夠在sic晶錠11的內(nèi)部高效地形成包含改質(zhì)層23和裂痕25的分離起點(diǎn)。
此處,對于最適的聚光點(diǎn)62的功率密度進(jìn)行考察。將聚光點(diǎn)62的直徑為
最初的改質(zhì)層23形成在深度500μm的位置,但改質(zhì)層23如繪制拋物線那樣上升,在100脈沖,于深度400μm的位置,改質(zhì)層23穩(wěn)定且成為水平。對此進(jìn)行如下推測。
即認(rèn)為,最初以功率密度最高的聚光點(diǎn)形成改質(zhì)層23,在改質(zhì)層23的上部析出的碳(c)吸收連續(xù)照射的激光束,連鎖性地,改質(zhì)層23一邊形成在碳的區(qū)域一邊上升。然后,在形成改質(zhì)層23的臨界點(diǎn)的功率密度下開始穩(wěn)定。
臨界點(diǎn)的聚光光斑62的直徑為
在晶錠11的整個(gè)區(qū)域的深度d1的位置上,多個(gè)改質(zhì)層23和從改質(zhì)層23沿著c面延伸的裂痕25的形成結(jié)束后,實(shí)施晶片剝離步驟,施加外力而從包含改質(zhì)層23和裂痕25的分離起點(diǎn)將相當(dāng)于應(yīng)該形成的晶片的厚度的板狀物從sic晶錠11分離,生成sic晶片27。
例如通過如圖11所示的按壓機(jī)構(gòu)54實(shí)施該晶片剝離步驟。按壓機(jī)構(gòu)54包含:頭56,其利用內(nèi)設(shè)于柱52內(nèi)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)而在上下方向上移動(dòng);和按壓部件58,其相對于頭56如圖11的(b)所示那樣在箭頭r方向上旋轉(zhuǎn)。
如圖11的(a)所示,將按壓機(jī)構(gòu)54定位在固定于支承工作臺26的晶錠11的上方,如圖11的(b)所示,使頭56下降直到按壓部件58壓接于晶錠11的上表面11a為止。
在將按壓部件58壓接于晶錠11的上表面11a的狀態(tài)下使按壓部件58在箭頭r方向上旋轉(zhuǎn)時(shí),在晶錠11上產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)應(yīng)力,晶錠11從形成有改質(zhì)層23和裂痕25的分離起點(diǎn)斷裂,能夠?qū)D12所示的sic晶片27從sic晶錠11分離。
優(yōu)選在從晶錠11分離sic晶片27之后,對sic晶片27的分離面和晶錠11的分離面進(jìn)行研磨而加工成鏡面。
符號說明
2激光加工裝置
11sic晶錠
11a第一面(上表面)
11b第二面(下表面)
13第一定向平面
15第二定向平面
17第一面的垂線
19c軸
21c面
23改質(zhì)層
25裂痕
26支承工作臺
30激光束照射單元
36聚光器(激光頭)
50聚光透鏡
54按壓機(jī)構(gòu)
56頭
58按壓部件
60磨砂玻璃
62聚光點(diǎn)