應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置，尤其涉及一種應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的低功耗金屬蒸發(fā)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]真空熱蒸發(fā)鍍膜在有機(jī)EL(Electro Luminescence)電致發(fā)光，有機(jī)太陽能電池，金屬電極，食品包裝等行業(yè)被廣泛應(yīng)用，以及相應(yīng)薄膜器件的產(chǎn)業(yè)化中應(yīng)用也非常廣泛，其基本原理是利用加熱的手段使源受熱蒸發(fā)，由固相/液相變成氣相，然后氣體分子或原子在蒸發(fā)源與基板(襯底)之間輸運(yùn)，最后蒸發(fā)的分子或原子在基板(襯底)上沉積，形成所需要的薄膜。
[0003]傳統(tǒng)的真空熱蒸發(fā)鍍膜裝置采用金屬片作為金屬蒸發(fā)源，耗能大，加熱慢，且金屬片與蒸發(fā)材料存在接觸，降低了真空熱蒸發(fā)鍍膜裝置的使用壽命，且加熱過程中，沒有相關(guān)的溫度監(jiān)控。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)
目.ο
[0005]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為:
應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置，其特征在于:包括陶瓷封接電極和金屬蒸發(fā)主體，其中，所述金屬蒸發(fā)主體包括陶瓷管、坩禍、加熱絲和主體支架，三片氧化鋁陶瓷片和復(fù)數(shù)支撐絲桿，
所述主體支架由復(fù)數(shù)支撐絲桿分別貫穿至少三片氧化鋁陶瓷片組成，支撐絲桿與氧化鋁陶瓷片之間相對(duì)固定，相鄰氧化鋁陶瓷片之間留有間隙，
所述陶瓷管套設(shè)與所述主體支架上，并且限位于主體支架的兩側(cè)氧化鋁陶瓷片之間，所述主體支架的一側(cè)氧化鋁陶瓷片上貫穿設(shè)置有電極柱，另一側(cè)氧化鋁陶瓷片上開設(shè)有裝載所述坩禍的槽孔，所述坩禍設(shè)置于所述槽孔內(nèi)，并且坩禍的敞口朝外，
所述加熱絲軸向穿接繞置于裝載坩禍的氧化鋁陶瓷片及與其相鄰的氧化鋁陶瓷片之間，并且加熱絲圍繞所述坩禍的外壁，所述加熱絲的兩端分別與電極柱相導(dǎo)通連接，
所述陶瓷封接電極與所述電極柱相導(dǎo)通連接。
[0006]進(jìn)一步地，所述陶瓷管與所述主體支架之間設(shè)置有鉭箔層。
[0007]進(jìn)一步地，所述金屬蒸發(fā)主體內(nèi)設(shè)置有用于測量溫度的熱電偶，所述熱電偶與所述電極柱相導(dǎo)通連接，并且所述熱電偶的感溫點(diǎn)與所述加熱絲相鄰。
[0008]進(jìn)一步地，所述電極柱通過一連接套與所述熱電偶及加熱絲相導(dǎo)通連接。
[0009]進(jìn)一步地，所述熱電偶為S型熱電偶或鎢錸熱電偶。
[0010]進(jìn)一步地，所述裝載坩禍的氧化鋁陶瓷片的槽孔四周設(shè)置有用于穿接加熱絲的穿接孔，與所述裝載坩禍的氧化鋁陶瓷片相鄰的氧化鋁陶瓷片亦設(shè)置有用于穿接加熱絲的穿接孔，所述加熱絲沿穿接孔穿接于兩氧化鋁陶瓷片之間。
[0011 ] 進(jìn)一步地，所述加熱絲至少包括鉭絲和媽絲。
[0012]進(jìn)一步地，所述加熱絲的線徑為0.3?1mm。
[0013]進(jìn)一步地，所述鉭箔層的厚度為0.02?0.1mm，表面粗糙度優(yōu)于Ra0.8。
[0014]進(jìn)一步地，所述支撐絲桿為鎢桿或鉬桿。
[0015]本發(fā)明的有益效果主要體現(xiàn)在:
1.采用鉭加熱絲或鎢加熱絲作為加熱介質(zhì)，可以達(dá)到較高溫度，加熱速度快，效率高，耗能低；
2.增設(shè)了熱電偶，能在加熱過程中直觀的監(jiān)測溫度，有利于控制材料的蒸發(fā)；
3.坩禍內(nèi)蒸發(fā)材料與加熱絲無接觸，增加了使用壽命；
4.具有鉭箔層，起到保溫隔溫的作用，降低加熱過程中的熱能損耗，進(jìn)一步降低了能耗；
5.陶瓷封接電極的接口為真空行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)接口，易于安裝、更換、維護(hù)。
【附圖說明】
[0016]圖1是本發(fā)明應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是本發(fā)明應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置的截面結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]本發(fā)明提供應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置，具有低耗能的特點(diǎn)。以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)描述，以使其更易于理解和掌握。
[0018]如圖1和圖2所示，應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置，包括陶瓷封接電極I和金屬蒸發(fā)主體，其中，金屬蒸發(fā)主體包括陶瓷管2、坩禍3、加熱絲4和主體支架，主體支架由復(fù)數(shù)支撐絲桿6分別貫穿至少三片氧化鋁陶瓷片5組成，支撐絲桿6與氧化鋁陶瓷片5相對(duì)固定組成主體支架，具體的，由四根支撐絲桿和三個(gè)氧化鋁陶瓷片組成，并且支撐絲桿與氧化鋁陶瓷片之間分別由螺母夾緊固定，氧化鋁陶瓷片為圓形片狀，支撐絲桿為鎢桿或鉬桿，相鄰氧化鋁陶瓷片5之間留有間隙，陶瓷管2套設(shè)與主體支架上，并且限位于主體支架的兩側(cè)氧化鋁陶瓷片之間，其與氧化鋁陶瓷片形成金屬蒸發(fā)主體的加熱空間，陶瓷管由氧化鋁陶瓷加工而成，圓筒狀，厚度為1.2mm，對(duì)加熱絲的熱量起到隔離作用，防止熱能損失，將熱量集中在加熱絲區(qū)域，熱量利用率高。
[0019]主體支架的一側(cè)氧化鋁陶瓷片上貫穿設(shè)置有電極柱7，具體的包括四根電極柱，其中兩根作為加熱絲4的供電，兩根作為熱電偶8的信號(hào)，另一側(cè)氧化鋁陶瓷片上開設(shè)有裝載坩禍的槽孔，坩禍3設(shè)置于槽孔內(nèi)，并且坩禍3的敞口朝外，所謂的敞口朝外即是指坩禍的內(nèi)腔暴露在外，敞口即為金屬蒸發(fā)的出口。
[0020]加熱絲4軸向穿接繞置于裝載坩禍的氧化鋁陶瓷片及與其相鄰的氧化鋁陶瓷片之間，所謂的軸向?yàn)檠靥沾晒艿妮S線方向，即加熱絲的穿接方向與陶瓷管的軸線平行，細(xì)化的描述，裝載坩禍的氧化鋁陶瓷片的槽孔四周設(shè)置有用于穿接加熱絲的穿接孔，與裝載坩禍的氧化鋁陶瓷片相鄰的氧化鋁陶瓷片亦設(shè)置有用于穿接加熱絲的穿接孔，加熱絲沿穿接孔穿接于兩氧化鋁陶瓷片之間，并且加熱絲軸向圍繞坩禍3的外壁，加熱絲3的兩端分別與電極柱7相導(dǎo)通連接，優(yōu)選的，電極柱可通過連接套10與加熱絲相連，具體的，連接套為圓柱狀，材料為不銹鋼或銅，中間加工孔用于穿放被連接件，側(cè)面加工螺絲孔，被連接件用緊釘螺絲通過螺絲孔固定，另外，加熱絲至少包括