鉭絲和鎢絲，其加熱溫度在1800°C以上，超過了大多數(shù)金屬的熔點，適用范圍廣。加熱絲的線徑為0.3?1mm，便于繞制，同時保障了工作效率。通電后加熱，加熱電壓不超過24V，屬于安全電壓。
[0021]陶瓷封接電極I與電極柱7相導(dǎo)通連接，陶瓷封接電極采用真空行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的KF25接口，接口材料為不銹鋼，其中包含四根銅電極，銅電極與KF25接口之間采用陶瓷管封接以絕緣，銅電極通過連接套與電極柱相連并固定，其中兩根作為加熱絲的供電，兩根作為熱電偶的信號，陶瓷封接電極的KF25接口可直接安裝到真空室上，通過Ο-ring密封。
[0022]對本方案進行優(yōu)化，陶瓷管與主體支架之間設(shè)置有鉭箔層9，鉭箔層9由薄鉭皮卷制成圓筒狀，對接處電焊到一起，套在主體支架上，并且其一端與裝接電極柱的氧化鋁陶瓷片相固定，另一端與裝設(shè)坩禍的氧化鋁陶瓷片平齊，鉭箔層的厚度為0.02?0.1mm，表面粗糙度優(yōu)于Ra0.8，能夠?qū)崃坑休^好的反射作用。
[0023]金屬蒸發(fā)主體內(nèi)設(shè)置有用于測量溫度的熱電偶8，熱電偶8與電極柱7相導(dǎo)通連接，并且熱電偶的感溫點與加熱絲相鄰。通過熱電偶可以在加熱過程中直觀地測到溫度，有利于控制材料蒸發(fā)過程。優(yōu)選電極柱通過一連接套與熱電偶相導(dǎo)通連接。優(yōu)選的，熱電偶為S型熱電偶或鎢錸熱電偶。S型熱電偶的測溫范圍是O?1700°C，鎢錸熱電偶的測試溫度范圍是0-2300 °C，其由兩根測溫線組成，一端熔焊到一起作為測溫點，靠近加熱絲，另外兩端與電極柱相連，用于將溫度信號引出。
[0024]最后對本案中的坩禍進行細化描述，坩禍類似于燒杯形狀，容積約為I?2mL，優(yōu)選采用BN材料制作，其帶有一個邊沿口，防止熔化后的金屬液外流。
[0025]以下是采用本案與傳統(tǒng)的金屬蒸發(fā)源的實例對比，以蒸鋁為測試樣品，在蒸發(fā)速率為6?8A/S時，傳統(tǒng)的舟式蒸發(fā)源達到此蒸發(fā)速率時的電壓為2.8?3.0V，電流為95?102A之間，功率約為300W;而本案進行蒸鋁，蒸發(fā)速率達到6?8A/S時，電壓為15?16V，電流為8?9A，功率約為120W，由此可見本案的功率較低，更為節(jié)能，同時，本案的熱電偶可測出此時蒸發(fā)溫度在1180-1300 0C之間，而傳統(tǒng)的金屬蒸發(fā)源無法獲得此信息。
[0026]以上對本發(fā)明的技術(shù)方案進行了充分描述，需要說明的是，本發(fā)明的【具體實施方式】并不受上述描述的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員依據(jù)本發(fā)明的精神實質(zhì)在結(jié)構(gòu)、方法或功能等方面采用等同變換或者等效變換而形成的所有技術(shù)方案，均落在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置，其特征在于:包括陶瓷封接電極和金屬蒸發(fā)主體， 其中，所述金屬蒸發(fā)主體包括陶瓷管、坩禍、加熱絲和主體支架，三片氧化鋁陶瓷片和復(fù)數(shù)支撐絲桿， 所述主體支架由復(fù)數(shù)支撐絲桿分別貫穿至少三片氧化鋁陶瓷片組成，支撐絲桿與氧化鋁陶瓷片之間相對固定，相鄰氧化鋁陶瓷片之間留有間隙， 所述陶瓷管套設(shè)與所述主體支架上，并且限位于主體支架的兩側(cè)氧化鋁陶瓷片之間， 所述主體支架的一側(cè)氧化鋁陶瓷片上貫穿設(shè)置有電極柱，另一側(cè)氧化鋁陶瓷片上開設(shè)有裝載所述坩禍的槽孔，所述坩禍設(shè)置于所述槽孔內(nèi)，并且坩禍的敞口朝外， 所述加熱絲軸向穿接繞置于裝載坩禍的氧化鋁陶瓷片及與其相鄰的氧化鋁陶瓷片之間，并且加熱絲圍繞所述坩禍的外壁，所述加熱絲的兩端分別與電極柱相導(dǎo)通連接， 所述陶瓷封接電極與所述電極柱相導(dǎo)通連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述陶瓷管與所述主體支架之間設(shè)置有鉭箔層。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述金屬蒸發(fā)主體內(nèi)設(shè)置有用于測量溫度的熱電偶，所述熱電偶與所述電極柱相導(dǎo)通連接，并且所述熱電偶的感溫點與所述加熱絲相鄰。4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述電極柱通過一連接套與所述熱電偶及加熱絲相導(dǎo)通連接。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述熱電偶為S型熱電偶或鎢錸熱電偶。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述裝載坩禍的氧化鋁陶瓷片的槽孔四周設(shè)置有用于穿接加熱絲的穿接孔，與所述裝載坩禍的氧化鋁陶瓷片相鄰的氧化鋁陶瓷片亦設(shè)置有用于穿接加熱絲的穿接孔，所述加熱絲沿穿接孔穿接于兩氧化鋁陶瓷片之間。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述加熱絲至少包括鉭絲和鎢絲。8.根據(jù)權(quán)利要求1或7所述的應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述加熱絲的線徑為0.3?1mm。9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述鉭箔層的厚度為0.02-0.1mm，表面粗糙度優(yōu)于Ra0.8。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述支撐絲桿為鎢桿或鉬桿。
【專利摘要】本發(fā)明揭示了應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜的金屬蒸發(fā)裝置，包括陶瓷封接電極和金屬蒸發(fā)主體，其中，金屬蒸發(fā)主體包括由復(fù)數(shù)支撐絲桿貫穿至少三片氧化鋁陶瓷片形成的主體支架，主體支架外套有陶瓷管，其一氧化鋁陶瓷片上貫穿設(shè)置有電極柱，另一氧化鋁陶瓷片設(shè)置坩堝，加熱絲纏繞相鄰兩氧化鋁陶瓷片之間，并且加熱絲軸向圍繞坩堝的外壁，陶瓷封接電極與電極柱相導(dǎo)通連接。本發(fā)明采用鉭加熱絲或鎢加熱絲作為加熱介質(zhì)，可以達到較高溫度，加熱速度快，耗能低；增設(shè)了熱電偶，能在加熱過程中直觀的監(jiān)測溫度，有利于控制材料的蒸發(fā)；坩堝內(nèi)蒸發(fā)材料與加熱絲無接觸，增加了使用壽命；具有鉭箔層，起到保溫隔溫的作用，降低加熱過程中的熱能損耗。
【IPC分類】C23C14/54, C23C14/26
【公開號】CN105624612
【申請?zhí)枴緾N201610186047
【發(fā)明人】廖良生, 武啟飛, 陳敏
【申請人】蘇州方昇光電裝備技術(shù)有限公司
【公開日】2016年6月1日
【申請日】2016年3月29日