本發(fā)明設(shè)計(jì)一種硅片的切割方法，具體涉及一種超大尺寸硅片的切割方法。

背景技術(shù)：

硅片是微電子產(chǎn)業(yè)中最重要的基本材料之一，許多研究都要用到它，現(xiàn)有硅片切割方法是，在切割過程中，常常借助玻璃刀等工具，利用尺子等輔助工具直接在硅片上畫線，然后切開硅片，但是，由于操作人員的用力不均，經(jīng)常不能很好的切開硅片，一來浪費(fèi)材料，二來切開的硅片上經(jīng)常有劃痕，容易影響使用效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，針對以上現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點(diǎn)，提出一種超大尺寸硅片的切割方法，該切割方法簡單易行，能切割出超大尺寸的硅片。

本發(fā)明解決以上技術(shù)問題的技術(shù)方案是：

一種超大尺寸硅片的切割方法，通過鋼線纏繞在導(dǎo)線輪上形成鋼絲線網(wǎng)，通過導(dǎo)線輪的運(yùn)轉(zhuǎn)，鋼絲線網(wǎng)夾帶漿料對硅錠進(jìn)行切割加工，主要包括以下流程，調(diào)整線槽-上料定位-切割-下料-整形，其中：

（1）線開方機(jī)上包括主導(dǎo)線輪、從導(dǎo)線輪、1號導(dǎo)線輪及2號導(dǎo)線輪，每個(gè)導(dǎo)線輪由多個(gè)單片導(dǎo)輪組成，導(dǎo)線輪上各單片導(dǎo)論的槽距分別為158mm，單片導(dǎo)輪上設(shè)有7個(gè)槽，單片導(dǎo)輪上相鄰槽間距為2mm，每個(gè)槽深1mm，槽夾角為65°，在布線時(shí)導(dǎo)線輪上首只單片導(dǎo)輪上用第一槽，后續(xù)單片導(dǎo)輪逐漸加1槽，調(diào)整導(dǎo)線輪槽距為160mm；

（2）用水沖洗硅錠表面，并在硅錠上劃好邊皮切割線，用電動(dòng)叉車叉硅錠上線開方機(jī)，硅錠放在線開方機(jī)的切割室托盤的正中位置上，同時(shí)硅錠上的“tc”側(cè)指向主導(dǎo)輪，根據(jù)邊皮切割線，調(diào)節(jié)硅錠位置，壓下鋼絲線網(wǎng)或者用直角尺測量硅錠的位置，使得鋼線都在切割槽中且四周邊皮分中，每塊硅錠的邊皮用插銷阻擋；

（3）降下線開方機(jī)的工作臺(tái)使得鋼絲線網(wǎng)與硅錠的高點(diǎn)剛好接觸，然后將工作臺(tái)向上抬升1mm，將此時(shí)的坐標(biāo)設(shè)置為切割的起始點(diǎn)即零點(diǎn)坐標(biāo)，開啟漿料，漿料從噴砂嘴中流出進(jìn)行切割；

切割時(shí)鋼線張力設(shè)定為95n，線速度、來回走線、正走線及料漿流量等參數(shù)可以具體提供；

（4）切割結(jié)束后下錠，在卸錠前用電筒檢查硅錠是否切透，沒有切透則對其進(jìn)行加切，切透時(shí)釋放左右張緊輪的張力，剪斷鋼線并取出鋼線，切割頭抬升至卸錠位置，刮掉錠表面粘附的漿料，用叉車將硅錠叉出放在移動(dòng)托盤上；

（5）取下硅錠每邊各一塊邊皮，清洗后觀察邊皮表面質(zhì)量，合格后立即跟蹤至清洗房清洗后發(fā)往端面碾磨設(shè)備處，給與其最低單刀0.4mm的碾磨量，碾磨到所需尺寸得到最終成品。

本發(fā)明進(jìn)一步限定的技術(shù)方案：

進(jìn)一步，前述超大尺寸硅片的切割方法中，鋼線線徑為0.3mm，線開方機(jī)的切割室內(nèi)鋼絲線網(wǎng)有上下兩層。

前述超大尺寸硅片的切割方法中，在步驟（1）布線前校正左、右張力臂，左、右側(cè)電壓值的絕對值差≤0.2。

技術(shù)效果，張力臂不垂直會(huì)加大張力臂的擺動(dòng)甚至鋼線斷線；張力臂不垂直會(huì)引起鋼線上張力的不穩(wěn)定,影響切割效果。

前述超大尺寸硅片的切割方法中，步驟（4）切割結(jié)束后得到的硅片尺寸為159.6mm-160.4mm，步驟（5）碾磨得到的最終成品尺寸為158±0.25mm。

本發(fā)明的有益效果是：

本申請中在調(diào)整硅錠位置時(shí)，“tc”側(cè)指向主導(dǎo)輪有利于切割完畢后對晶磚在切割室位置的準(zhǔn)確判斷；邊皮分中能有效保證晶磚檢測時(shí)不良部分準(zhǔn)確切除。

在卸硅錠時(shí)，剪斷鋼線前左右張緊輪的張力必須完全釋放，否則對操作工會(huì)有安全隱患；清理大錠表面漿料能夠有效減少漿料直接沖洗掉，提高漿料利用率，盡量避免密度降低時(shí)頻繁添加碳化硅。

在硅錠位于鋼絲線網(wǎng)的正上方時(shí)保證對中，四周邊皮廢料保證切割下來厚度差不多，防止切偏；

本發(fā)明不需要單獨(dú)重新開159mm的導(dǎo)輪槽距，按現(xiàn)有的導(dǎo)輪槽距即可開方出我們要求的晶磚。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1

本實(shí)施例提供一種超大尺寸硅片的切割方法，通過鋼線線徑為0.3mm的鋼線纏繞在導(dǎo)線輪上形成鋼絲線網(wǎng)，切割室內(nèi)鋼絲線網(wǎng)有上下兩層，通過導(dǎo)線輪的運(yùn)轉(zhuǎn)，鋼絲線網(wǎng)夾帶漿料對硅錠進(jìn)行切割加工，主要包括以下流程，調(diào)整線槽-上料定位-切割-下料-整形，其中：

（1）線開方機(jī)上包括主導(dǎo)線輪、從導(dǎo)線輪、1號導(dǎo)線輪及2號導(dǎo)線輪，每個(gè)導(dǎo)線輪由多個(gè)單片導(dǎo)輪組成，導(dǎo)線輪上各單片導(dǎo)論的槽距分別為158mm，單片導(dǎo)輪上設(shè)有7個(gè)槽，單片導(dǎo)輪上相鄰槽間距為2mm，每個(gè)槽深1mm，槽夾角為65°，在布線時(shí)導(dǎo)線輪上首只單片導(dǎo)輪上用第一槽，后續(xù)單片導(dǎo)輪逐漸加1槽，調(diào)整導(dǎo)線輪槽距為160mm；

（2）用水沖洗硅錠表面，并在硅錠上劃好邊皮切割線，用電動(dòng)叉車叉硅錠上線開方機(jī)，硅錠放在線開方機(jī)的切割室托盤的正中位置上，同時(shí)硅錠上的“tc”側(cè)指向主導(dǎo)輪，根據(jù)邊皮切割線，調(diào)節(jié)硅錠位置，壓下鋼絲線網(wǎng)或者用直角尺測量硅錠的位置，使得鋼線都在切割槽中且四周邊皮分中，每塊硅錠的邊皮用插銷阻擋；

（3）降下線開方機(jī)的工作臺(tái)使得鋼絲線網(wǎng)與硅錠的高點(diǎn)剛好接觸，然后將工作臺(tái)向上抬升1mm，將此時(shí)的坐標(biāo)設(shè)置為切割的起始點(diǎn)即零點(diǎn)坐標(biāo)，開啟漿料，漿料從噴砂嘴中流出進(jìn)行切割；

切割時(shí)鋼線張力設(shè)定為95n；

（4）切割結(jié)束后得到的硅片尺寸為159.6mm-160.4mm，然后下錠，在卸錠前用電筒檢查硅錠是否切透，沒有切透則對其進(jìn)行加切，切透時(shí)釋放左右張緊輪的張力，剪斷鋼線并取出鋼線，切割頭抬升至卸錠位置，刮掉錠表面粘附的漿料，用叉車將硅錠叉出放在移動(dòng)托盤上；

（5）取下硅錠每邊各一塊邊皮，清洗后觀察邊皮表面質(zhì)量，合格后立即跟蹤至清洗房清洗后發(fā)往端面碾磨設(shè)備處，給與其最低單刀0.4mm的碾磨量，碾磨到所需尺寸158±0.25mm得到最終成品。

在本實(shí)施例中，

布線前校正左、右張力臂，左、右側(cè)電壓值的絕對值差≤0.2。

本發(fā)明在調(diào)整線槽前先進(jìn)行布線前準(zhǔn)備工作，具體為：

檢查所有橡膠圈，更換其中有缺陷的橡膠圈；檢查滑輪，緊固其中松動(dòng)的滑輪；檢查氣管是否漏氣，發(fā)現(xiàn)異?；蚵饧皶r(shí)更換；查看生產(chǎn)記錄和實(shí)際切割狀況，收線輪每切割2刀或超過40公里進(jìn)行更換；放下收線輪定位插銷，將收線輪固定；

將液壓升降車伸到收線輪下方、升起液壓升降車與收線輪下放平行，平行時(shí)收線輪的中心和它的軸心在一條線上，以免損傷收線輪軸心，拉出收線輪將其推到軸上去，將卡套用酒精擦洗干凈，在涂膜潤滑油后裝到收線輪上并固定好；

將卡套固定到收線輪上時(shí)具體為：用固定螺栓固定，卡上卡簧，然后將力矩扳手調(diào)到150n±5n將固定螺栓順時(shí)針緊固，緊固時(shí)聽到第一次“咔”聲響后每180度調(diào)整收線輪一次，共調(diào)整3次緊固完成。

布線全進(jìn)行多項(xiàng)檢查準(zhǔn)備，如橡膠圈不及時(shí)更換切割過程中有可能被切透，出現(xiàn)接地甚至斷線報(bào)警；氣管出氣是防止?jié){料進(jìn)入軸承，出現(xiàn)漏氣將會(huì)使小滑輪軸承的靈活性降低，增加斷線幾率；收線輪每切割2刀必須及時(shí)更換，鋼線過多將導(dǎo)致收線輪難以卸下；收線輪內(nèi)側(cè)有毛刺和凸起，有會(huì)影響到收線輪的收放，甚至斷線，收線輪往里推的時(shí)候一定要將收線輪推到位，升降車使用完畢后降至手柄以下；酒精擦洗保證零件的干凈，涂抹潤滑油保證一定的潤滑；收線輪緊固時(shí)要對稱均勻受力并注意收線輪應(yīng)是對應(yīng)軸心平衡。

卡套套在收線輪上時(shí)酒精擦洗保證零件的干凈，涂抹潤滑油保證一定的潤滑；收線輪緊固時(shí)要對稱均勻受力并注意收線輪應(yīng)是對應(yīng)軸心平衡。

本發(fā)明的超大尺寸硅片的切割方法簡單易行，能切割出超大尺寸的硅片，不需要單獨(dú)重新開159mm的導(dǎo)輪槽距，按現(xiàn)有的導(dǎo)輪槽距即可開方出我們要求的晶磚。

除上述實(shí)施例外，本發(fā)明還可以有其他實(shí)施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案，均落在本發(fā)明要求的保護(hù)范圍。