超薄型藍(lán)寶石片狀體的加工方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種加工方法,尤其涉及一種超薄型藍(lán)寶石片狀體的加工方法。
【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石是一種氧化鋁的單晶,又稱為剛玉,由于具有優(yōu)良的機(jī)械、光學(xué)、化學(xué)以及抗輻射性能,因此近年來受到工業(yè)界廣泛的應(yīng)用。由于藍(lán)寶石具有非常高的硬度和耐磨性能,因此也常作為精密機(jī)械的軸承材料。又因具有的良好之抗輻射性能,也使得藍(lán)寶石常被應(yīng)用于航空航天的機(jī)具或暴露于輻射環(huán)境中的光學(xué)元件材料。此外,目前在制作藍(lán)白光LED時(shí)所使用的基板材料,也是以藍(lán)寶石為主。此外,藍(lán)寶石還將廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)顯示屏、Home鍵及攝像頭保護(hù)蓋等領(lǐng)域。
[0003]由于藍(lán)寶石材料的硬度大、熔點(diǎn)高、化學(xué)活潑性差,因而加工難度大,尤其是大尺度和低薄度的晶片,如4英寸和6英寸的藍(lán)寶石材料?,F(xiàn)有的藍(lán)寶石片狀體一般是整體直接置于研磨游星輪中進(jìn)行研磨,若藍(lán)寶石片狀體磨得過薄,容易造成研磨游星輪被磨損,因此前傳統(tǒng)的藍(lán)寶石加工工藝制作出的藍(lán)寶石片狀體比較厚,一般為300um左右,而現(xiàn)有產(chǎn)品的趨勢(shì)均往輕薄方向發(fā)展,不能滿足市場(chǎng)的需求。
[0004]因此,有必要提供一種新的加工方法來解決上述問題。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種能夠加工出薄度為150-180um左右的超薄型藍(lán)寶石片狀體的加工方法。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下:
一種超薄型藍(lán)寶石片狀體的加工方法,包括以下步驟:
1)對(duì)藍(lán)寶石晶體進(jìn)行切割,形成藍(lán)寶石片狀體毛坯;
2)對(duì)所述藍(lán)寶石片狀體毛坯進(jìn)行雙面粗磨,形成初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品;
3)對(duì)所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品進(jìn)行研磨和化學(xué)機(jī)械拋光,形成次級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品;
4)對(duì)所述次級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品進(jìn)行兆聲波清洗,形成藍(lán)寶石片狀體成品;
所述步驟3)包括:在墊塊的正面和反面分別上蠟,再分別粘上所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品,所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品的第一個(gè)面與所述墊塊粘接,第二個(gè)面背對(duì)所述墊塊,將粘有所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品的墊塊放入研磨游星輪上,將研磨游星輪置于研磨設(shè)備中進(jìn)行研磨。
[0007]優(yōu)選的,所述藍(lán)寶石片狀體包括光學(xué)窗口片、藍(lán)寶石村底片、手機(jī)攝像頭保護(hù)蓋、智能手機(jī)顯示屏和具有指紋識(shí)別功能的Home鍵。
[0008]優(yōu)選的,所述步驟3)中,先對(duì)兩個(gè)所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品的第二個(gè)面進(jìn)行研磨,然后取下所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品,清洗所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品的第一個(gè)面,再次將所述墊塊的正反面上蠟,將所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品的第二個(gè)面粘在所述墊塊上,對(duì)所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品的第一個(gè)面進(jìn)行研磨,最后對(duì)所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光處理,形成所述次級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品。
[0009]優(yōu)選的,所述步驟3)中,先依次對(duì)所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品的第二個(gè)面進(jìn)行研磨和化學(xué)機(jī)械拋光處理,再取下所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品,清洗所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品的第一個(gè)面,再次將墊塊正反面上蠟,將所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品的第二個(gè)面粘在所述墊塊上,最后依次對(duì)所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品的第一個(gè)面進(jìn)行研磨和化學(xué)機(jī)械拋光處理,形成所述次級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品。
[0010]優(yōu)選的,所述步驟I)包括以下步驟:提供多線切割機(jī)、切割線和切割液,選用合適晶棒,切去晶頸,將晶棒固定于旋轉(zhuǎn)裝夾裝置上,利用上下移動(dòng)的所述多線切割機(jī)進(jìn)行切害!|,所述多線切割機(jī)采用0.8-1.5mm槽距的導(dǎo)輪、直徑為250um的金剛石線、0.2mm/min的臺(tái)速和500m/min的線速,對(duì)晶棒進(jìn)行切片,得到若干尺寸為4_6英寸的所述藍(lán)寶石片狀體毛坯。
[0011]優(yōu)選的,所述切割液的各組分的重量百分含量為:聚乙二醇34%,丙三醇嵌段聚醚15%,油酸三乙醇胺14%,甲基苯并三氮唑7%,聚硅氧烷消泡劑0.1%,余量為水。
[0012]優(yōu)選的,所述步驟2)包括以下步驟:采用雙面粗磨機(jī),用碳化硼研磨液對(duì)所述藍(lán)寶石片狀體毛坯進(jìn)行粗磨。
[0013]優(yōu)選的,所述步驟2)與步驟3)之間還設(shè)有倒角工序,所述倒角工序包括:將所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品置于CNC機(jī)臺(tái)夾具上,選取800-1000目、45°金剛石倒角磨頭,設(shè)定轉(zhuǎn)速為700r/min,進(jìn)給量為0.02-0.05mm/min,倒角量為0.1mm,倒角時(shí)間為7分鐘,制成所述次級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品。
[0014]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明超薄型藍(lán)寶石片狀體的加工方法的有益效果在于:本發(fā)明設(shè)置所述墊塊,增加了所述墊塊和所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品的整體厚度,便于研磨出比較薄的大尺寸藍(lán)寶石片狀體成品,且不會(huì)磨損所述研磨游星輪,成品厚度為150-180um,厚度大大降低。
【附圖說明】
[0015]圖1為本發(fā)明一較佳實(shí)施例的步驟流程示意圖;
圖2為本發(fā)明所述研磨游星輪的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3為本發(fā)明所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品和所述墊塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖中各標(biāo)記如下:1、初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品;2、墊塊;3、研磨游星輪;4、放置粘有半成品墊塊的孔。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步進(jìn)行描述。
[0018]請(qǐng)參閱圖1至圖3所示,本發(fā)明超薄型藍(lán)寶石片狀體的加工方法包括以下步驟:
I)對(duì)藍(lán)寶石晶體進(jìn)行切割,形成藍(lán)寶石片狀體毛坯;具體包括以下步驟:提供多線切割機(jī)、切割線和切割液,選用合適晶棒,切去晶頸,將晶棒固定于旋轉(zhuǎn)裝夾裝置上,利用上下移動(dòng)的所述多線切割機(jī)進(jìn)行切割,所述多線切割機(jī)采用0.8-1.5mm槽距的導(dǎo)輪、直徑為250um的金剛石線、0.2mm/min的臺(tái)速和500m/min的線速,對(duì)晶棒進(jìn)行切片,得到若干尺寸為4-6英寸的所述藍(lán)寶石片狀體毛坯;所述切割液的各組分的重量百分含量為:聚乙二醇34%,丙三醇嵌段聚醚15%,油酸三乙醇胺14%,甲基苯并三氮唑7%,聚硅氧烷消泡劑0.1%,余量為水。
[0019]2)對(duì)所述藍(lán)寶石片狀體毛坯進(jìn)行雙面粗磨,形成初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品I ;具體包括以下步驟:采用雙面粗磨機(jī),用碳化硼研磨液對(duì)所述藍(lán)寶石片狀體毛坯進(jìn)行粗磨。
[0020]3)倒角工序,具體包括以下步驟:將所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品I置于CNC機(jī)臺(tái)夾具上,選取800-1000目、45°金剛石倒角磨頭,設(shè)定轉(zhuǎn)速為700r/min,進(jìn)給量為
0.02-0.05mm/min,倒角量為0.1mm,倒角時(shí)間為7分鐘。
[0021]4)對(duì)所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品I進(jìn)行研磨和化學(xué)機(jī)械拋光,形成次級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品,在墊塊2的正面和反面分別上蠟,再分別粘上所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品1,所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品I的第一個(gè)面與所述墊塊2粘接,第二個(gè)面背對(duì)所述墊塊2,將粘有所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品I的墊塊2放入研磨游星輪3上,將研磨游星輪3置于研磨設(shè)備中進(jìn)行研磨,研磨步驟包括以下兩種實(shí)施方式:
方案一:先對(duì)兩個(gè)所述初級(jí)藍(lán)寶石片狀體半成品I的第二個(gè)面