基板加工裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是有關(guān)于一種基板加工裝置，尤其是關(guān)于一種具備有基板的搬送機(jī)構(gòu)的基板加工裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]對(duì)基板形成溝槽的刻劃裝置、或分?jǐn)嗷宓牧褦嘌b置，具有保持加工用頭的梁。梁，是藉由左右的支柱呈門型狀地支承的在橫方向延伸的梁，且配置于載置被加工基板的平臺(tái)上方。
[0003]在如此般的基板加工裝置中，載置有基板的平臺(tái)以潛行于梁的下方的方式移動(dòng)。而且，藉由已裝附在加工頭的工具加工基板。因此，若直列地配置刻劃裝置或裂斷裝置，構(gòu)成用于對(duì)基板進(jìn)行分?jǐn)嗟募庸ぎa(chǎn)線，則加工產(chǎn)線整體的長度將變長。
[0004]因此，在專利文獻(xiàn)I中，在相對(duì)于依序搬送基板的第I方向正交的第2方向，配置刻劃裝置或裂斷裝置。藉由成為如此般的構(gòu)成，可使加工產(chǎn)線小型化。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開平11-116260號(hào)公報(bào)
[0006]在專利文獻(xiàn)I的裝置中，首先，沿第I方向?qū)暹M(jìn)行搬送，并在搬送路徑上的加工基準(zhǔn)位置(搬送路徑上與加工位置對(duì)應(yīng)的位置)停止。接著，將基板往第2方向搬送并使其位于加工裝置中的加工位置，以進(jìn)行加工。在加工后，使基板返回搬送路徑上的加工基準(zhǔn)位置，往搬送路徑上的下游側(cè)進(jìn)行搬送。
[0007]然而，在如此般的方法中，在先完成加工的基板返回加工基準(zhǔn)位置，直到被往搬送路徑的下游側(cè)搬送前，并無法對(duì)下一個(gè)基板進(jìn)行搬送及加工處理。因此，存在有作業(yè)效率低的問題。
[0008]由此可見，上述現(xiàn)有的基板加工裝置在結(jié)構(gòu)與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決上述存在的問題，相關(guān)廠商莫不費(fèi)盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設(shè)計(jì)被發(fā)展完成，而一般產(chǎn)品又沒有適切結(jié)構(gòu)能夠解決上述問題，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明的目的在于，提供一種基板加工裝置，所以解決的技術(shù)問題是，能夠高效率地對(duì)基板進(jìn)行加工。
[0010]本發(fā)明的目的是采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明提供一種基板加工裝置，具備有:搬送基板的第I搬送機(jī)構(gòu)、配置在與該第I搬送機(jī)構(gòu)的搬送方向交叉的方向的側(cè)方且對(duì)該基板進(jìn)行加工的加工機(jī)構(gòu)、以及相互排列配置且在該第I搬送機(jī)構(gòu)與該加工機(jī)構(gòu)之間搬送基板的第2搬送機(jī)構(gòu)及第3搬送機(jī)構(gòu)。
[0011 ] 本發(fā)明的目的還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
[0012]較佳的，在該裝置中，藉由第I搬送機(jī)構(gòu)搬送來的基板，藉由第2及第3搬送機(jī)構(gòu)而在第I搬送機(jī)構(gòu)與加工機(jī)構(gòu)間搬送。
[0013]較佳的，前述的基板加工裝置，其中，該第2搬送機(jī)構(gòu)及該第3搬送機(jī)構(gòu)，對(duì)藉由該第I搬送機(jī)構(gòu)搬送來的未加工的基板往該加工機(jī)構(gòu)進(jìn)行搬送，同時(shí)對(duì)已藉由該加工機(jī)構(gòu)加工成的基板往該第I搬送機(jī)構(gòu)進(jìn)行搬送。
[0014]較佳的，前述的基板加工裝置，其中，該第2搬送機(jī)構(gòu)及該第3搬送機(jī)構(gòu)，在一方的搬送機(jī)構(gòu)對(duì)已加工的基板進(jìn)行搬送時(shí)，另一方的搬送機(jī)構(gòu)對(duì)下一個(gè)未加工的基板進(jìn)行搬送。
[0015]較佳的，前述的基板加工裝置，其中，該第2搬送機(jī)構(gòu)及該第3搬送機(jī)構(gòu)，在較該第I搬送機(jī)構(gòu)更上方，以在上下方向排列的方式配置。
[0016]較佳的，前述的基板加工裝置，其中，該第2搬送機(jī)構(gòu)及該第3搬送機(jī)構(gòu)，分別具有:配置于該第I搬送機(jī)構(gòu)與該加工機(jī)構(gòu)之間的軌條、保持基板的保持構(gòu)件、以及使該保持構(gòu)件升降的升降機(jī)構(gòu)；該保持構(gòu)件及該升降機(jī)構(gòu)沿著該軌條移動(dòng)。
[0017]較佳的，前述的基板加工裝置，其中，該第I搬送機(jī)構(gòu)具有載置基板的搬送帶。
[0018]較佳的，前述的基板加工裝置，其進(jìn)一步具備有:加工用搬送帶，是在該第2搬送機(jī)構(gòu)及該第3搬送機(jī)構(gòu)的該加工機(jī)構(gòu)側(cè)的端部與該加工機(jī)構(gòu)的加工位置之間搬送基板。
[0019]借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明基板加工裝置至少具有下列優(yōu)點(diǎn)及有益效果:在該裝置中，由于在與搬送基板的方向交叉的方向配置加工機(jī)構(gòu)，因此能夠使加工產(chǎn)線的搬送方向的長度小型化。此外，在已加工的基板藉由第2及第3搬送機(jī)構(gòu)的一方而返回第I搬送機(jī)構(gòu)時(shí)，由于能夠?qū)ο乱粋€(gè)基板藉由另一搬送機(jī)構(gòu)而往加工機(jī)構(gòu)進(jìn)行搬送，因此能夠縮短基板的搬送及加工所花費(fèi)的時(shí)間，能夠高效率地對(duì)基板進(jìn)行加工。
[0020]上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。
【附圖說明】
[0021]圖1是本發(fā)明的一實(shí)施形態(tài)的基板加工裝置的俯視圖。
[0022]圖2是表示基板的加工結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0023]圖3A是表示加工動(dòng)作的圖式。
[0024]圖3B是表示加工動(dòng)作的圖式。
[0025]圖3C是表示加工動(dòng)作的圖式。
[0026]圖3D是表示加工動(dòng)作的圖式。
[0027]【主要元件符號(hào)說明】
[0028]1:基板加工裝置2:搬送帶(第I搬送機(jī)構(gòu))
[0029]3:裂斷裝置(加工裝置)4:下搬送機(jī)構(gòu)(第2搬送機(jī)構(gòu))
[0030]5:上搬送機(jī)構(gòu)(第3搬送機(jī)構(gòu))6:加工用搬送帶
[0031]41、51:軌條42、52:保持構(gòu)件
[0032]43、53:升降機(jī)構(gòu)S:未加工基板
【具體實(shí)施方式】
[0033]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的一種基板加工裝置的【具體實(shí)施方式】、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。
[0034]圖1是本發(fā)明的一實(shí)施形態(tài)的基板加工裝置的俯視圖。另外，在圖1中，以示意性的方式來表示裝置整體。
[0035]該基板加工裝置1，是用于依序?qū)暹M(jìn)行搬送，并且使在被搬送來的基板的端部所形成端子部分露出的裝置。在該基板加工裝置I的前段，設(shè)置有未圖示的刻劃裝置及裂斷裝置。利用刻劃裝置，對(duì)一片母基板形成裂斷用的多個(gè)溝槽。此外，利用裂斷裝置，將一片母基板裂斷成多個(gè)單位基板(以下，簡(jiǎn)記“基板”)。因此，在該基板加工裝置I中，依序搬送多個(gè)基板S。各基板S是貼合基板，且在基板S的端部(形成有端子的部分)，形成有溝槽。
[0036]基板加工裝置I，具有搬送帶(第I搬送機(jī)構(gòu))2、多個(gè)裂斷裝置3、分別為多個(gè)的下搬送機(jī)構(gòu)(第2搬送機(jī)構(gòu))4及上搬送機(jī)構(gòu)(第3搬送機(jī)構(gòu))5、以及加工用搬送帶6。
[0037]搬送帶2，在圖1中，對(duì)多個(gè)基板S往第I方向(圖的左右方向)進(jìn)行搬送。此處，從圖1的左方搬入的基板S，藉由裂斷裝置3加工，并往右方向搬出。
[0038]裂斷裝置3，在搬送帶2的搬送方向下游側(cè)，配置在搬送帶2兩側(cè)。更詳細(xì)而言，在搬送帶2的一側(cè)，以于搬送方向排列的方式配置有3臺(tái)裂斷裝置3，在搬送帶2的另一側(cè)，以于搬送方向排列的方式配置有3臺(tái)裂斷裝置3。各裂斷裝置3，如在圖2放大表示一部分般，從上方按壓基板S的端部，去除基板S的端部的下層部分。藉此，形成于基板S端部的端子部分露出。
[0039]下搬送機(jī)構(gòu)4及上搬送機(jī)構(gòu)5，對(duì)藉由搬送帶2搬送來的基板S及藉由裂斷裝置3加工成的基板S，往與第I方向正交的第2方向進(jìn)行搬送。下搬送機(jī)構(gòu)4及上搬送機(jī)構(gòu)5，如圖1及圖3A?圖3D所示般，在搬送帶2及加工用搬送帶6的上方，以于上下方向排列的方式配置。在圖1中，下搬送機(jī)構(gòu)4的一部分(具體而言即軌條)，與上搬送機(jī)構(gòu)5重疊，并未加以表不。
[0040]下搬送機(jī)構(gòu)4，具有一對(duì)軌條41、保持構(gòu)件42、及升降機(jī)構(gòu)43。一對(duì)軌條41配置在搬送帶2與裂斷裝置3之間。保持構(gòu)件42及升降機(jī)構(gòu)43，沿一對(duì)軌條41移動(dòng)。保持構(gòu)件42，例如藉由真空吸附而將基板S保持于下面。升降機(jī)構(gòu)43，例如具有齒條.小齒輪(rack-and-p