1中BB剖視圖。
[0025]圖5是圖1中CC剖視圖。
[0026]其中:1、架構(gòu)空間；2、潔凈空間；3、天花板；4、回風(fēng)道；5、回風(fēng)口 ；6、設(shè)備；7、第二回風(fēng)口 ；8、立柱；9、隔板；10、干盤管。
【具體實(shí)施方式】
[0027]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步描述:
實(shí)施例一
參見圖3~5所示，一種潔凈室系統(tǒng)，包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)和一潔凈空間；
所述潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間1和潔凈空間2，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板3，潔凈空間的底部為地面；
所述潔凈空間內(nèi)設(shè)置多個(gè)回風(fēng)道結(jié)構(gòu)，回風(fēng)道4設(shè)于地面和天花板之間，其頂部與架構(gòu)空間連通，其底部側(cè)面則設(shè)有回風(fēng)口 5 ;
所述回風(fēng)口的高度為20 cm；
所述天花板上設(shè)有第二回風(fēng)口 7。
[0028]上述技術(shù)方案中，所述回風(fēng)口處的回風(fēng)量占總回風(fēng)量的比例為12%。
[0029]所述回風(fēng)道底部側(cè)面的回風(fēng)口處設(shè)有回風(fēng)百葉。所述天花板上的第二回風(fēng)口處設(shè)有回風(fēng)百葉。
[0030]所述潔凈空間內(nèi)具有立柱8，立柱的四周設(shè)有隔板9，使立柱和隔板之間形成所述回風(fēng)道結(jié)構(gòu)。參見圖3所示。相鄰立柱之間設(shè)有所述第二回風(fēng)口 7。即在原本是設(shè)置回風(fēng)道結(jié)構(gòu)的相鄰立柱之間的位置上變成第二回風(fēng)口。
[0031]所述回風(fēng)道內(nèi)設(shè)有干盤管10。所述架構(gòu)空間內(nèi)與所述第二回風(fēng)口相鄰的位置設(shè)有干盤管。干盤管可水平擺置或搭配隔間采垂直擺置。
[0032]上文中，所述潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間和潔凈空間，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板，潔凈空間的底部為地面，即潔凈空間的底部沒有高架地板和循環(huán)空間，而直接是地面(如水泥地板或混凝土板)。
[0033]本發(fā)明的創(chuàng)造性主要在于2個(gè)方面:(1)大大降低了回風(fēng)口的高度，20 cm的高度與現(xiàn)有設(shè)備(一般一米左右)是相差很大的，參見圖5所示，這便不會造成離回風(fēng)口近的底部氣體饒過設(shè)備進(jìn)入回風(fēng)口而形成揚(yáng)塵現(xiàn)象，從而大大提高了產(chǎn)品良率。(2)在天花板上設(shè)置了第二回風(fēng)口，該第二回風(fēng)口的作用主要是吸收潔凈空間中重量較小的顆粒灰塵，再由FFU進(jìn)行過濾；而此時(shí)的回風(fēng)道的回風(fēng)口則主要吸收潔凈空間中重量較大的顆粒灰塵，再通過回風(fēng)道最終進(jìn)入FFU進(jìn)行過濾；這種結(jié)構(gòu)可以使?jié)崈艨臻g中的顆粒灰塵等雜質(zhì)形成大小分流，即:大的、重的顆粒由回風(fēng)道的回風(fēng)口吸收，而小的、輕的顆粒則由第二回風(fēng)口吸收；參見圖4、5所示。這便同時(shí)達(dá)到了降低揚(yáng)塵現(xiàn)象、減少回風(fēng)道的占用面積、以及滿足和提高潔凈度的目的，顯然具有積極的現(xiàn)實(shí)意義。
[0034]對比例一
參見圖1~2所示，一種潔凈室系統(tǒng)，包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)和一潔凈空間； 所述潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間1和潔凈空間2，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板3，潔凈空間的底部為地面；
所述潔凈空間內(nèi)設(shè)置多個(gè)回風(fēng)道結(jié)構(gòu)，回風(fēng)道4設(shè)于地面和天花板之間，其頂部與架構(gòu)空間連通，其底部側(cè)面則設(shè)有回風(fēng)口 5 ;
所述回風(fēng)口的高度為1.2米。
[0035]為了合理安排空間，一般將相鄰2個(gè)立柱聯(lián)合包裹起來，形成回風(fēng)道結(jié)構(gòu)，參見圖1所示。所述回風(fēng)道結(jié)構(gòu)占潔凈空間底部地面的面積比為10%。
[0036]為了盡量降低回風(fēng)道的數(shù)量，以及盡量提高潔凈室系統(tǒng)的排塵能力，將回風(fēng)道上的回風(fēng)口的高度設(shè)計(jì)成1.2 m0
[0037]上述實(shí)施例和對比例能夠達(dá)到相同的潔凈度等級，但實(shí)際檢測證明:在實(shí)施例的潔凈室系統(tǒng)中制造廣品的良品率為99.9%左右，而對比例的良品率為99.5%左右。說明本發(fā)明的潔凈室系統(tǒng)不會形成揚(yáng)塵現(xiàn)象，從而大大提高了產(chǎn)品良率。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種潔凈室系統(tǒng)，包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)和一潔凈空間； 所述潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間(1)和潔凈空間(2)，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板(3)，潔凈空間的底部為地面； 所述潔凈空間內(nèi)設(shè)置多個(gè)回風(fēng)道結(jié)構(gòu)，回風(fēng)道(4)設(shè)于地面和天花板之間，其頂部與架構(gòu)空間連通，其底部側(cè)面則設(shè)有回風(fēng)口(5);其特征在于: 所述回風(fēng)口的高度小于等于20 cm； 所述天花板上設(shè)有第二回風(fēng)口(7)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室系統(tǒng)，其特征在于:所述回風(fēng)口處的回風(fēng)量占總回風(fēng)量的比例小于等于15%。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室系統(tǒng)，其特征在于:所述回風(fēng)口的高度為8~15cm。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室系統(tǒng)，其特征在于:所述回風(fēng)道底部側(cè)面的回風(fēng)口處設(shè)有回風(fēng)百葉。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室系統(tǒng)，其特征在于:所述天花板上的第二回風(fēng)口處設(shè)有回風(fēng)百葉。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室系統(tǒng)，其特征在于:所述潔凈空間內(nèi)具有立柱(8)，立柱的四周設(shè)有隔板(9)，使立柱和隔板之間形成所述回風(fēng)道結(jié)構(gòu)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的潔凈室系統(tǒng)，其特征在于:相鄰立柱之間設(shè)有所述第二回風(fēng)□ο8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室系統(tǒng)，其特征在于:所述回風(fēng)道內(nèi)設(shè)有干盤管(10)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室系統(tǒng)，其特征在于:所述架構(gòu)空間內(nèi)與所述第二回風(fēng)口相鄰的位置設(shè)有干盤管。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種潔凈室系統(tǒng)，包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)和一潔凈空間；所述潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間和潔凈空間，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板，潔凈空間的底部為地面；所述潔凈空間內(nèi)設(shè)置多個(gè)回風(fēng)道結(jié)構(gòu)，回風(fēng)道設(shè)于地面和天花板之間，其頂部與架構(gòu)空間連通，其底部側(cè)面則設(shè)有回風(fēng)口；所述回風(fēng)口的高度小于等于20cm；所述天花板上設(shè)有第二回風(fēng)口。本發(fā)明通過降低回風(fēng)口的高度，其高度與現(xiàn)有設(shè)備是相差很大的，這便不會造成離回風(fēng)口近的底部氣體饒過設(shè)備進(jìn)入回風(fēng)口而形成揚(yáng)塵現(xiàn)象，從而大大提高了產(chǎn)品良率。
【IPC分類】F24F7/10, E04H1/12, F24F13/28
【公開號】CN105421824
【申請?zhí)枴緾N201510816837
【發(fā)明人】楊政諭
【申請人】亞翔系統(tǒng)集成科技（蘇州）股份有限公司
【公開日】2016年3月23日
【申請日】2015年11月23日