本發(fā)明涉及一種水平多關節(jié)工業(yè)機器人，用于在半導體制造廠輸送晶片。

背景技術：

一般傳統(tǒng)的水平多關節(jié)機器人，對應于具有多個自由度的手臂關節(jié)的連接件被配備多個手臂旋轉驅動源，且分別驅動各個手臂，除了上述手臂旋轉驅動源之外，在一手臂的遠端還配備一機器人手旋轉驅動源。這種結構需要提供能源（如電纜布線或液壓油或氣體的管道）給手臂之間的連接件和手臂的遠端用于觸發(fā)手臂旋轉驅動源和機器人手旋轉驅動源。這樣，手臂和機器人手的旋轉運動給這些電纜布線和管道安排了機械載荷，從而降低了它自己的可靠性，而且在每個手臂設置旋轉驅動源增加了運動部件的重量，從而增加了運動部件的慣性矩。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術問題是旋轉驅動源被集中設置在基座內，消除供應電纜和管道裝置的需要，防止由于手臂和機器人手的旋轉運動降低可靠性，通過減少運動部件的重量慣性矩被減少。

為了解決上述技術問題，本發(fā)明采用技術方案是：一種水平多關節(jié)工業(yè)機器人。

一種水平多關節(jié)工業(yè)機器人，包括：基座、第一、二、三手臂、機器人手、旋轉驅動源和驅動力傳遞機構，手臂依次樞軸彼此連接，第一手臂可旋轉地安裝在基座上，機器人手可旋轉地安裝在第三手臂遠端部位，旋轉驅動源被設置在基座內且包括手臂旋轉電機、手臂延伸電機和機器人手旋轉電機，驅動力傳遞機構用來傳遞來自旋轉驅動源旋轉驅動力給每個手臂給機器人手，且被設置在每個手臂和手臂的連接件內。

所述的手臂旋轉電機通過驅動力傳遞機構來驅動第一、第三手臂旋轉；所述的手臂延伸電機通過驅動力傳遞機構來驅動第二手臂旋轉；所述的機器人手旋轉電機通過驅動力傳遞機構來驅動機器人手旋轉。

所述的驅動力傳遞機構分為用于手臂旋轉的驅動力傳遞機構、用于手臂延伸的驅動力傳遞機構和用于機器人手旋轉的驅動力傳遞機構，所述的用于手臂旋轉的驅動力傳遞機構包括皮帶輪和皮帶，皮帶輪被固定在手臂旋轉電機的輸出軸上，皮帶輪被固定在第一手臂的近端，皮帶以環(huán)連接在所述的皮帶輪之間，皮帶輪被固定在第一手臂的遠端，且被固定在固定軸的上節(jié)，固定軸通過第一、第二手臂之間的連接件朝向第二手臂的內側，皮帶輪被固定在第三手臂的近端，皮帶以環(huán)連接在皮帶輪之間。所述的用于手臂延伸的驅動力傳遞機構包括皮帶輪和皮帶，皮帶輪被固定在手臂延伸電機的輸出軸上，通過第一手臂近端的皮帶輪分別被固定在旋轉軸的上端和下端，皮帶輪被固定在第二手臂的近端部位，皮帶以環(huán)連接在皮帶輪之間，皮帶以環(huán)連接在皮帶輪之間。所述的用于機器人手旋轉的驅動力傳遞機構包括皮帶輪和皮帶，皮帶輪被固定在機器人手旋轉電機的輸出軸上，通過第一手臂的近端部位的皮帶輪分別被固定在由第一手臂近端部位可旋轉地支撐的鼓的上端和低端，皮帶輪分別被固定在由固定軸可旋轉地支撐的鼓的上端和低端，皮帶輪分別被固定在由第三手臂的近端可旋轉地支撐的旋轉軸的上端和低端，皮帶輪被固定在由第三手臂的一端可旋轉地支撐的旋轉軸的低端，機器人手被固定在旋轉軸的上端，對應皮帶以環(huán)連接在對應皮帶輪之間。

本發(fā)明要解決的優(yōu)點和有益效果是：旋轉驅動源被集中設置在基座內，消除供應電纜和管道裝置的需要，防止由于手臂和機器人手的旋轉運動降低可靠性，通過減少運動部件的重量慣性矩被減少。

附圖說明

附圖1：一種水平多關節(jié)工業(yè)機器人示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發(fā)明做進一步說明：一種水平多關節(jié)工業(yè)機器人，包括：基座（1）、第一、二、三手臂（2，3，4）、機器人手（5）、旋轉驅動源和驅動力傳遞機構，手臂（2，3，4）依次樞軸彼此連接，第一手臂（2）可旋轉地安裝在基座（1）上，機器人手（5）可旋轉地安裝在第三手臂（4）遠端部位，旋轉驅動源被設置在基座（1）內且包括手臂旋轉電機（8）、手臂延伸電機（6）和機器人手旋轉電機（7），所述的手臂旋轉電機（8）通過驅動力傳遞機構來驅動第一、第三手臂（2，4）旋轉；所述的手臂延伸電機（6）通過驅動力傳遞機構來驅動第二手臂（3）旋轉；所述的機器人手旋轉電機（7）通過驅動力傳遞機構來驅動機器人手（5）旋轉。所述的驅動力傳遞機構分為用于手臂旋轉的驅動力傳遞機構、用于手臂延伸的驅動力傳遞機構和用于機器人手旋轉的驅動力傳遞機構，所述的用于手臂旋轉的驅動力傳遞機構包括皮帶輪（9，10，11，12）和皮帶（13，14），皮帶輪（9）被固定在手臂旋轉電機（8）的輸出軸上，皮帶輪（10）被固定在第一手臂（2）的近端，皮帶（13）以環(huán)連接在所述的皮帶輪（9，10）之間，皮帶輪（11）被固定在第一手臂（2）的遠端，且被固定在固定軸（15）的上節(jié)，固定軸（15）通過第一、第二手臂（2，3）之間的連接件朝向第二手臂（3）的內側，皮帶輪（12）被固定在第三手臂（4）的近端，皮帶（14）以環(huán)連接在皮帶輪（11，12）之間。所述的用于手臂延伸的驅動力傳遞機構包括皮帶輪（16，17，18，19）和皮帶（20，21），皮帶輪（16）被固定在手臂延伸電機（6）的輸出軸上，通過第一手臂（1）近端的皮帶輪（17，18）分別被固定在旋轉軸（22）的上端和下端，皮帶輪（19）被固定在第二手臂（3）的近端部位，皮帶（20）以環(huán)連接在皮帶輪（16，18）之間，皮帶（21）以環(huán)連接在皮帶輪（17，19）之間。所述的用于機器人手旋轉的驅動力傳遞機構包括皮帶輪（23，24，25，11，27，28，29，30）和皮帶（31，32，33，34），皮帶輪（23）被固定在機器人手旋轉電機（7）的輸出軸上，通過第一手臂（2）的近端部位的皮帶輪（24，25）分別被固定在由第一手臂（2）近端部位可旋轉地支撐的鼓（35）的上端和低端，皮帶輪（11，27）分別被固定在由固定軸（15）可旋轉地支撐的鼓（36）的上端和低端，皮帶輪（28，29）分別被固定在由第三手臂（4）的近端可旋轉地支撐的旋轉軸（37）的上端和低端，皮帶輪（24）被固定在由第三手臂（4）的一端可旋轉地支撐的旋轉軸（38）的低端，機器人手（5）被固定在旋轉軸（38）的上端，皮帶（31）以環(huán)連接在皮帶輪（23，25）之間，皮帶（32）以環(huán)連接在皮帶輪（24，27）之間，皮帶（33）以環(huán)連接在皮帶輪（26，29）之間，皮帶（34）以環(huán)連接在皮帶輪（28，30）之間。驅動力傳遞機構用來傳遞來自旋轉驅動源旋轉驅動力給每個手臂（2，3，4）給機器人手（5），且被設置在每個手臂（2，3，4）和手臂的連接件內。