本發(fā)明涉及搬送玻璃基板的產(chǎn)業(yè)用機器人的手部。并且，本發(fā)明涉及具有所述手部的產(chǎn)業(yè)用機器人。

背景技術(shù)：

以往，已知有通過真空蒸鍍法制造有機EL設(shè)備的有機EL設(shè)備制造裝置(例如，參照專利文獻1)。專利文獻1所記載的有機EL設(shè)備制造裝置具有搬送玻璃基板的搬送機器人。并且，作為通過真空蒸鍍法制造有機EL設(shè)備時的玻璃基板的搬送方法，一般已知有在使蒸鍍面朝向下側(cè)的狀態(tài)下搬送玻璃基板的所謂下表面搬送。

在以下表面搬送的方式搬送玻璃基板的情況下，由于玻璃基板的下表面為蒸鍍面，因此，搬送機器人不可接觸蒸鍍面。因此，在以下表面搬送的方式搬送玻璃基板的情況下，搬送機器人是以手部接觸形成在蒸鍍面周圍的框部分的方式將玻璃基板搭載在手部，搬送玻璃基板。在該情況下，為了防止搬送玻璃基板時玻璃基板相對于手部的位置偏移，有時在搭載玻璃基板的手部的上表面安裝O形環(huán)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2010-62043號公報

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的技術(shù)問題

近年來，以有機EL設(shè)備制造裝置等的搬送機器人搬送的玻璃基板大型化。當(dāng)玻璃基板大型化時，在以下表面搬送的方式搬送玻璃基板的情況下，以手部接觸蒸鍍面的周圍的框部分的方式搭載在手部的玻璃基板的撓曲量增大。并且，近年來，對有機EL設(shè)備制造裝置等的搬送機器人，玻璃基板的搬送時間的縮短化要求提高。根據(jù)本申請發(fā)明者的研究，可明確：當(dāng)搭載在手部的玻璃基板的撓曲量增大時，并且，當(dāng)為了縮短玻璃基板的搬送時間而加快搭載著玻璃基板進行移動的手部的加速度時，即使在手部的上表面安裝有O形環(huán)，也會產(chǎn)生搬送玻璃基板時玻璃基板相對于手部的位置偏移。

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種產(chǎn)業(yè)用機器人的手部，其是搬送玻璃基板的產(chǎn)業(yè)用機器人的手部，即使搭載在手部的玻璃基板的撓曲量較大，并且搭載著玻璃基板進行移動的手部的加速度較大，也可抑制搬送玻璃基板時玻璃基板相對于手部的位置偏移。并且，本發(fā)明的目的在于提供一種具有所述手部的產(chǎn)業(yè)用機器人。

用于解決問題的技術(shù)手段

為了解決上述問題，本發(fā)明的產(chǎn)業(yè)用機器人的手部是搬送玻璃基板的產(chǎn)業(yè)用機器人的手部，且是搭載玻璃基板的手部，其特征于，手部具有多個墊塊，墊塊是橡膠制品或樹脂制品，且墊塊形成與玻璃基板的下表面接觸的接觸面，接觸面形成為球面狀。

在本發(fā)明的產(chǎn)業(yè)用機器人的手部中，接觸玻璃基板下表面的墊塊的接觸面形成為球面狀。因此，在本發(fā)明中，即使搭載于手部的玻璃基板的撓曲量增大，也可使墊塊的接觸面可靠地與玻璃基板下表面接觸。并且，在本發(fā)明中，由在形成為球面狀的接觸面與玻璃基板的下表面點接觸，故可提高接觸面與玻璃基板的接觸壓力。如此，在本發(fā)明中，即使搭載在手部的玻璃基板的撓曲量增大，也可使接觸面可靠地與玻璃基板的下表面接觸，且可提高接觸面與玻璃基板的接觸壓力而提高手部對玻璃基板的保持力。因此，在本發(fā)明中，即使搭載在手部的玻璃基板的撓曲量大，并且搭載著玻璃基板進行移動的手部的加速度大，也可抑制搬送玻璃基板時玻璃基板相對于手部的位置偏移。

在本發(fā)明中，優(yōu)選玻璃基板形成為長方形狀，多個墊塊是以接觸面與形成為長方形狀的玻璃基板的外周端部分的下表面接觸的方式沿著大致長方形的框狀形狀而配置的。如此構(gòu)成時，在通過在使蒸鍍面朝向下側(cè)的狀態(tài)下搬送玻璃基板的下表面搬送的方式搬送玻璃基板的情況下，即使搭載在手部的玻璃基板的撓曲量較大，并且搭載著玻璃基板進行移動的手部的加速度較大的情況下，也可抑制搬送玻璃基板時玻璃基板相對于手部的位置偏移。

在本發(fā)明中，優(yōu)選沿著大致長方形的框狀形狀而配置由第一墊塊、第二墊塊以及第三墊塊這三個墊塊構(gòu)成的多個墊塊群，在墊塊群中，在從上下方向觀察時，以連接第一墊塊的接觸面的中心、第二墊塊的接觸面的中心、第三墊塊的接觸面的中心的假想線形成三角形狀的方式，配置第一墊塊、第二墊塊以及第三墊塊，在上下方向觀察時，連接第一墊塊的接觸面的中心與第二墊塊的接觸面的中心的假想線與玻璃基板的端面大致平行，第三墊塊配置在比第一墊塊以及第二墊塊靠玻璃基板的外周側(cè)的位置，在將玻璃基板搭載于手部時，第一墊塊的接觸面和第二墊塊的接觸面與玻璃基板的下表面接觸。

如此構(gòu)成時，在各墊塊群中，由于兩個墊塊的接觸面與玻璃基板的下表面接觸，因此，在搬送玻璃基板時，可使搭載在手部的玻璃基板的狀態(tài)穩(wěn)定。并且，如此構(gòu)成時，由于第三墊塊配置在比第一墊塊以及第二墊塊靠玻璃基板的外周側(cè)的位置，故而即使例如在將載置于規(guī)定處理裝置架的玻璃基板搭載于手部時玻璃基板搖晃，也可以第三墊塊的作用抑制玻璃基板的搖晃。即，通過第三墊塊，可抑制將玻璃基板搭載于手部時玻璃基板不穩(wěn)定。

本發(fā)明的手部可使用于具有臂部以及主體部的產(chǎn)業(yè)用機器人，手部以可轉(zhuǎn)動的方式與臂部的前端側(cè)連接，臂部的基端側(cè)以可轉(zhuǎn)動的方式與主體部連接。在該產(chǎn)業(yè)用機器人中，即使搭載在手部的玻璃基板的撓曲量較大，并且搭載著玻璃基板進行移動的手部的加速度較大，也可抑制搬送玻璃基板時玻璃基板相對于手部的位置偏移。

在本發(fā)明中，手部例如配置在真空中。當(dāng)手部配置在真空中時，手部無法吸引保持玻璃基板，但在本發(fā)明中，即使手部無法吸引玻璃基板，并且，即使搭載在手部的玻璃基板的撓曲量較大且搭載著玻璃基板進行移動的手部的加速度較大，也可抑制搬送玻璃基板時玻璃基板相對于手部的位置偏移。

發(fā)明的效果

如以上那樣，在本發(fā)明中，即使搭載于手部的玻璃基板的撓曲量較大，并且，搭載著玻璃基板進行移動的手部的加速度較大，也可抑制搬送玻璃基板時玻璃基板的相對于手部的位置偏移。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的實施方式所涉及的手部的圖，圖1(A)是俯視圖，圖1(B)是側(cè)視圖。

圖2是用以說明圖1所示的玻璃基板的構(gòu)成的俯視圖。

圖3是圖1(A)的E部的放大圖。

圖4是從圖3的F-F方向示出手叉的前端側(cè)部分的圖。

圖5是圖3的G部的放大圖。

圖6是用以說明圖4的H部的構(gòu)成的圖。

圖7是用以說明本發(fā)明的其他實施方式所涉及的玻璃基板的構(gòu)成的俯視圖。

圖8是本發(fā)明的其他實施方式所涉及的手部的俯視圖。

具體實施方式

以下，參照附圖，說明本發(fā)明的實施方式。

(產(chǎn)業(yè)用機器人的大致構(gòu)成以及手部的構(gòu)成)

圖1是本發(fā)明的實施方式所涉及的手部3的圖，圖1(A)是俯視圖，圖1(B)是側(cè)視圖。圖2是用以說明圖1所示的玻璃基板2的構(gòu)成的俯視圖。圖3是圖1(A)的E部的放大圖。圖4是從圖3的F-F方向顯示手叉6的前端側(cè)部分的圖。圖5是圖3的G部的放大圖。圖6是用以說明圖4的H部的構(gòu)成的圖。

本方式的產(chǎn)業(yè)用機器人是在真空中搬送有機EL顯示器用的玻璃基板2的機器人，其是組裝在有機EL顯示器的制造系統(tǒng)而加以使用的。在該制造系統(tǒng)中，通過真空蒸鍍法制造有機EL顯示器。產(chǎn)業(yè)用機器人是在使蒸鍍面朝向下側(cè)的狀態(tài)下搬送玻璃基板2的。玻璃基板2形成為長方形的板狀。如圖2所示，玻璃基板2的下表面由進行蒸鍍的長方形狀的蒸鍍區(qū)域2a以及包圍蒸鍍區(qū)域2a周圍的長方形框狀的框區(qū)域2b(圖2的斜線部分)構(gòu)成?？騾^(qū)域2b構(gòu)成玻璃基板2的外周端部分的下表面。

并且，本方式的產(chǎn)業(yè)用機器人是適于對相對大型的玻璃基板2進行搬送的機器人。該產(chǎn)業(yè)用機器人具有：手部3，其搭載玻璃基板2；臂部4(參照圖1(B))，手部3以能轉(zhuǎn)動的方式與該臂部4的前端側(cè)連接；以及主體部(省略圖示)，其將連接臂部4的基端側(cè)連接為可轉(zhuǎn)動。手部3以及臂部4配置在主體部的上側(cè)。并且，手部3以及臂部4配置在真空中。

手部3具有：基部5，其連接于臂部4；以及兩個手叉6，其搭載玻璃基板2。手叉6具有兩個叉主體7。叉主體7形成為細長的直線棒狀。兩個叉主體7在互相隔開規(guī)定的間隔的狀態(tài)下平行地配置。并且，叉主體7的基端固定于基部5。兩個手叉6中的一手叉6的兩個叉主體7是以從基部5朝向水平方向的一側(cè)突出的方式固定于基部5，另一手叉6的兩個叉主體7是以朝向與朝水平方向的一側(cè)突出的兩個叉主體7相反的一側(cè)突出的方式固定于基部5。

在以下的說明中，將從上下方向觀察時叉主體7的長邊方向(圖1(A)的X方向)設(shè)為左右方向，將從上下方向觀察時與左右方向正交的方向(圖1(A)的Y方向)設(shè)為前后方向。搭載于手叉6的玻璃基板2的端面與左右方向或前后方向大致平行。

并且，手叉6具有：多個第一叉部8，其固定在叉主體7的前端側(cè)；以及多個第二叉部9，其固定于第一叉部8。玻璃基板2搭載在手叉6的配置有第一叉部8以及第二叉部9的部分。手叉6的配置有第一叉部8及第二叉部9的部分的外形略微大于玻璃基板2的外形。

第一叉部8以從兩個叉主體7朝向前后方向的外側(cè)延伸的方式固定于叉主體7。并且，多個第一叉部8在左右方向上隔開規(guī)定的間隔的狀態(tài)下平行地配置。在本方式中，在左右方向上隔開規(guī)定的間隔的狀態(tài)下配置有七個第一叉部8。分別固定于構(gòu)成一個手叉6的兩個叉主體7的多個第一叉部8分別在左右方向上配置于相同位置。

第一叉部8是通過將平板狀的部件折彎為規(guī)定形狀而形成的。如圖4所示，第一叉部8由細長的平板狀的基端部8a、平板狀的傾斜部8b及平板狀的前端部8c構(gòu)成，其中，上述基端部8a從叉主體7朝向前后方向的外側(cè)延伸，上述傾斜部8b與基端部8a的前后方向的外側(cè)端連接且以隨著朝向前后方向的外側(cè)而朝向上方的方式傾斜，上述前端部8c與傾斜部8b的上端連接且朝向前后方向的外側(cè)延伸。

第二叉部9形成為細長的平板狀。如圖3所示，第二叉部9以從一個手叉6中配置在左右方向的最外側(cè)的第一叉部8朝向左右方向的外側(cè)延伸的方式固定于第一叉部8。即，在一個手叉6中，分別在配置于左右方向的最外側(cè)的四個第一叉部8處固定有第二叉部9。具體而言，在四個第一叉部8處分別固定有多個第二叉部9。并且，分別固定于四個第一叉部8的多個第二叉部9是在前后方向上隔開規(guī)定的間隔的狀態(tài)下平行地配置的。在本方式中，在四個第一叉部8處分別固定有兩個第二叉部9。分別固定于一個手叉6中配置在左右方向的最外側(cè)的第一叉部8的多個第二叉部9分別在前后方向上配置于相同位置。

在多個第一叉部8的前端部8c的前端側(cè)(前后方向的外側(cè)端側(cè))以及多個第二叉部9的前端側(cè)(左右方向的外側(cè)端側(cè))分別安裝有墊塊12，該墊塊12供與玻璃基板2下表面接觸的接觸面12a形成(參照圖5、圖6)。具體而言，在多個第一叉部8的前端部8c的前端側(cè)及多個第二叉部9的前端側(cè)各自的上表面固定有形成為方塊狀的墊塊保持部件13，在該墊塊保持部件13固定有墊塊12。即，在多個第一叉部8的前端部8c的前端側(cè)以及多個第二叉部9的前端側(cè)各自的上表面隔著墊塊保持部件13安裝有墊塊12。并且，在兩個叉主體7各自的上表面，也隔著墊塊保持部件13安裝有墊塊12。安裝于叉主體7的墊塊12在左右方向上配置于與安裝在第二叉部9的前端側(cè)的墊塊12相同的位置。

墊塊12是通過橡膠形成的。具體而言，墊塊12是通過氟橡膠形成的。如圖6所示，該墊塊12由供上述接觸面12a形成的接觸部12b以及保持于墊塊保持部件13的保持部12c構(gòu)成，整體上形成為蘑菇狀。接觸部12b的形狀為切除了球體的一部分而形成的形狀，形成為大致半球狀。接觸面12a構(gòu)成接觸部12b的上表面，且形成為球面狀。保持部12c形成為大致圓筒狀，且接觸部12b與保持部12c的上端相連。如圖6所示，保持部12c被壓入至形成于墊塊保持部件13的墊塊保持孔13a。在保持部12c的下端側(cè)以朝向保持部12c的徑向的外側(cè)擴展的方式形成有防脫落部12d，該防脫落部12d防止墊塊12從墊塊保持孔13a脫落。

如上所述，在多個第一叉部8的前端部8c的前端側(cè)及多個第二叉部9的前端側(cè)分別隔著墊塊保持部件13安裝有墊塊12。并且，在兩個叉主體7也分別隔著墊塊保持部件13安裝有墊塊12，且安裝于叉主體7的墊塊12在左右方向上配置于與安裝在第二叉部9的前端側(cè)的墊塊12相同的位置。即，在本方式中，多個墊塊12以接觸面12a與玻璃基板2的框區(qū)域2b(即，玻璃基板2的外周端部分的下表面)接觸的方式沿著大致長方形的框狀形狀配置。具體而言，在本方式中，在墊塊保持部件13處固定有三個墊塊12，由三個墊塊12構(gòu)成的多個墊塊群15是沿著大致長方形的框狀形狀配置的。

另外，在本方式中，為了使安裝在第一叉部8的前端部8c的前端側(cè)的墊塊12的上端的高度、安裝在第二叉部9的前端側(cè)的墊塊12的上端的高度、安裝在叉主體7的墊塊12的上端的高度為相同高度，使安裝在第一叉部8的前端部8c的前端側(cè)的墊塊保持部件13的高度、安裝在第二叉部9的前端側(cè)的墊塊保持部件13的高度、安裝在叉主體7的墊塊保持部件13的高度不同。

如圖5所示，將固定于一個墊塊保持部件13的三個墊塊12分別設(shè)為墊塊12A～12C時，在墊塊群15中，以從上下方向觀察時，連接墊塊12A的接觸面12a的中心、墊塊12B的接觸面12a的中心、墊塊12C的接觸面12a的中心的假想線L1～L3形成正三角形狀的方式，將墊塊12A～12C固定于墊塊保持部件13。

并且，在從上下方向觀察時，連接墊塊12A的接觸面12a的中心與墊塊12B的接觸面12a的中心的假想線L1是與搭載于手叉6的玻璃基板2的端面大致平行的。即，在配置在第一叉部8的前端部8c的前端側(cè)的墊塊群15中，在從上下方向觀察時，假想線L1與搭載于手叉6的玻璃基板2的前后端面大致平行(即，與左右方向大致平行)。并且，在配置于第二叉部9的前端側(cè)及叉主體7的墊塊群15中，在從上下方向觀察時，假想線L1與搭載于手叉6的玻璃基板2的左右端面大致平行(即，與前后方向大致平行)。

并且，墊塊12C配置在比墊塊12A、12B靠向前后方向或左右方向的外側(cè)的位置。即，在配置在第一叉部8的前端部8c的前端側(cè)的墊塊群15中，墊塊12C配置在比墊塊12A、12B靠向前后方向的外側(cè)的位置，在配置于第二叉部9的前端側(cè)及叉主體7的墊塊群15中，墊塊12C配置在比墊塊12A、12B靠向左右方向的外側(cè)的位置。即，墊塊12C配置在比墊塊12A、12B靠向玻璃基板2的外周側(cè)的位置。在本方式中，在玻璃基板2搭載于手叉6時，墊塊12A的接觸面12a及墊塊12B的接觸面12a與玻璃基板2的下表面(具體而言，為框區(qū)域2b)接觸，但墊塊12C的接觸面12a未與玻璃基板2的下表面接觸(參照圖6)。本方式的墊塊12A是第一墊塊，墊塊12B是第二墊塊，墊塊12C是第三墊塊。

另外，在本方式中，在手叉6處搭載有玻璃基板2時，由于多個墊塊12與玻璃基板2的框區(qū)域2b接觸，因此，若使用等高線CL示意性示出搭載于手叉6的玻璃基板2的撓曲的狀態(tài)，則如圖2所示，隨著朝向玻璃基板2的中心，玻璃基板2的撓曲量增大。

(本方式的主要效果)

如以上說明的那樣，在本方式中，以墊塊12的接觸面12a與玻璃基板2的框區(qū)域2b接觸的方式沿著大致長方形的框狀形狀配置有多個墊塊12，因此，可通過在使蒸鍍面朝向下側(cè)的狀態(tài)下搬送玻璃基板2的下表面搬送來搬送玻璃基板2。并且，在本方式中，由于接觸面12a與玻璃基板2的框區(qū)域2b接觸，因此，搭載于手叉6的玻璃基板2的撓曲量增大，但在本方式中，由于與玻璃基板2的下表面接觸的墊塊12的接觸面12a形成為球面狀，因此，即使搭載于手叉6的玻璃基板2的撓曲量增大，也能可靠地使接觸面12a與玻璃基板2的下表面接觸。并且，在本方式中，形成為球面狀的接觸面12a與玻璃基板2的下表面點接觸，因此，可提高接觸面12a與玻璃基板2的接觸壓力。

如此，在本方式中，即使搭載于手叉6的玻璃基板2的撓曲量增大，也能可靠地使接觸面12a與玻璃基板2的下表面接觸，且可提高接觸面12a與玻璃基板2的接觸壓力而提高手叉6對玻璃基板2的保持力。因此，在本方式中，即使手部3配置在真空中而手部3無法吸引玻璃基板2，另外，即使搭載于手叉6的玻璃基板2的撓曲量較大且搭載著玻璃基板2進行移動的手部3的加速度或減速度較大，也可抑制搬送玻璃基板2時玻璃基板2相對于手部3的位置偏移。例如，在本方式中，即使搭載著玻璃基板2進行移動的手部3的加速度為2G，也可抑制搬送玻璃基板2時玻璃基板2相對在手部3的位置偏移。

在本方式中，在各墊塊群15中，兩個墊塊12A、12B的接觸面12a與玻璃基板2的下表面接觸。因此，在本方式中，可使搭載于手叉6的玻璃基板2的狀態(tài)穩(wěn)定。并且，在本方式中，在比墊塊12A、12B靠向前后方向或左右方向的外側(cè)的位置配置有墊塊12C，因此，即使例如將載置于蒸鍍裝置的架的玻璃基板2搭載在手叉6時玻璃基板2發(fā)生搖晃，也可通過墊塊12C的作用抑制玻璃基板2的搖晃。即，在本方式中，能利用墊塊12C抑制將玻璃基板2搭載于手叉6時玻璃基板2不穩(wěn)定。

(其他實施方式)

上述的方式是本發(fā)明的優(yōu)選方式的一例，但并非限定于此，在不變更本發(fā)明主旨的范圍可實施各種變形。

在上述方式中，玻璃基板2的下表面由長方形狀的蒸鍍區(qū)域2a以及包圍蒸鍍區(qū)域2a的周圍的長方形框狀的框區(qū)域2b構(gòu)成。此外，例如在玻璃基板2進一步大型化的情況下，如圖7所示，玻璃基板2的下表面也可由四個蒸鍍區(qū)域2c和框區(qū)域2f(圖7的斜線部分)構(gòu)成，上述四個蒸鍍區(qū)域2c形成為相同大小的長方形狀，上述框區(qū)域2f由形成為長方形框狀的框區(qū)域2d和對四個蒸鍍區(qū)域2c進行劃分的十字狀的區(qū)劃區(qū)域2e構(gòu)成，。在該情況下，多個墊塊12以接觸面12a與玻璃基板2的框區(qū)域2f接觸的方式沿著框區(qū)域2f的形狀而配置。另外，若使用等高線CL示意性示出圖7所示的玻璃基板2搭載于手叉6時玻璃基板2的撓曲狀態(tài)，則如圖7那樣，隨著朝向各蒸鍍區(qū)域2c的中心，玻璃基板2的撓曲量增大。

在上述的方式中，手部3由基部5、兩個叉主體7、多個第一叉部8以及多個第二叉部9構(gòu)成。此外，例如圖8所示，手部3也可由與臂部4連接的基部25以及從基部25朝向水平方向的一側(cè)延伸的多個叉26(例如，四個叉26)。在該情況下，既可以如圖8(A)所示以支承玻璃基板2的下表面整體的方式，將多個墊塊12安裝于叉26的上表面，也可如圖8(B)所示以支承玻璃基板2的下表面的四角部分的方式將四個墊塊12安裝于叉26的上表面。

在上述方式中，不與搭載于手叉6的玻璃基板2的下表面接觸的墊塊12C固定于墊塊保持部件13，但墊塊12C也可不固定于墊塊保持部件13。在該情況下，只要與搭載于手叉6的玻璃基板2的下表面接觸的一個以上的墊塊12固定于墊塊保持部件13即可。并且，在上述方式中，以假想線L1～L3形成正三角形狀的方式將墊塊12A～12C固定在墊塊保持部件13，但也可以以假想線L1～L3形成等腰三角形狀等其他三角形狀的方式將墊塊12A～12C固定于墊塊保持部件13。

在上述方式中，墊塊12是由橡膠形成的，但若由比覆蓋玻璃基板2的表面的覆蓋劑柔軟的材料形成墊塊12(即，若墊塊12不會使玻璃基板2的表面的覆蓋層產(chǎn)生損傷)，則墊塊12也可以由除了橡膠以外的材料形成。例如，墊塊12是可由聚醚醚酮(PEEK)等樹脂形成。

在上述方式中，產(chǎn)業(yè)用機器人搬送有機EL顯示器用的玻璃基板2，但產(chǎn)業(yè)用機器人也可搬送液晶顯示器用的玻璃基板等其他玻璃基板。并且，在上述的方式中，產(chǎn)業(yè)用機器人在真空中搬送玻璃基板2，但產(chǎn)業(yè)用機器人也可在大氣中搬送玻璃基板2。在大氣中搬送玻璃基板2的情況下，吸引玻璃基板2的吸引墊塊也可設(shè)置在手部3的上表面。另外，在本發(fā)明中，能通過墊塊12的作用提高手叉6對玻璃基板2的保持力，因此，即使在吸引墊塊設(shè)置在手部3的上表面的情況下，也可減少吸引墊塊的數(shù)量。

符號說明

2 玻璃基板

3 手部

4 臂部

12 墊塊

12A 墊塊(第一墊塊)

12B 墊塊(第二墊塊)

12C 墊塊(第三墊塊)

12a 接觸面

15 墊塊群

L1～L3 假想線