本發(fā)明涉及機(jī)械位移放大設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種單自由度柔性微定位平臺(tái)。

背景技術(shù)：

目前，實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)大行程高定位精度的主流方法有兩種：一種是采用宏微兩級(jí)工作臺(tái)，宏動(dòng)臺(tái)實(shí)現(xiàn)大行程、微動(dòng)臺(tái)實(shí)現(xiàn)最終的定位精度。這類定位平臺(tái)設(shè)計(jì)的主要思路是將兩種類型的電動(dòng)機(jī)結(jié)合起來，直流電動(dòng)機(jī)控制機(jī)構(gòu)大范圍運(yùn)動(dòng)，壓電陶瓷激勵(lì)器保證終端執(zhí)行器的高精度。這種方式克服了傳統(tǒng)的微操作機(jī)器人工作空間小的弊端，但整體驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜、體積大、造價(jià)高、無法小型化。

另一種是用精確的位移輸入裝置如壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和鉸鏈機(jī)構(gòu)組合成的單層工作臺(tái)實(shí)現(xiàn)大行程納米定位，雖然結(jié)構(gòu)簡單，但是彈性鉸鏈運(yùn)動(dòng)方向上的剛度使位移輸入裝置所輸入的實(shí)際伸長量小于名義伸長量，若使微定位平臺(tái)的工作行程達(dá)到使用要求,需要增加位移輸入裝置的長度，然而壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器類的位移輸入裝置的長度又受到微定位平臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊性的限制。如果在微定位平臺(tái)的設(shè)計(jì)中采用了杠桿原理來增加微定位平臺(tái)的工作行程，杠桿機(jī)構(gòu)中彈性鉸鏈的運(yùn)動(dòng)剛度會(huì)影響位移輸入裝置的輸出位移，同時(shí)普通杠桿機(jī)構(gòu)還將導(dǎo)致微定位平臺(tái)在運(yùn)動(dòng)過程中產(chǎn)生偏移誤差。

綜上所述，如何有效地解決現(xiàn)有柔性微定位平臺(tái)所存在大行程與高精度相互矛盾等的技術(shù)問題，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種單自由度柔性微定位平臺(tái)，該單自由度柔性微定位平臺(tái)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以有效地解決現(xiàn)有柔性微定位平臺(tái)所存在大行程與高精度相互矛盾等的技術(shù)問題。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種單自由度柔性微定位平臺(tái)，包括運(yùn)動(dòng)輸入裝置、柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及用于固定柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的平臺(tái)底座，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包括設(shè)置于同一平面的第一半部和第二半部，所述運(yùn)動(dòng)輸入裝置通過第一平臺(tái)將平移運(yùn)動(dòng)輸入至第一半部和第二半部，所述第一半部與所述第二半部的結(jié)構(gòu)關(guān)于所述第一平臺(tái)的中軸軸對(duì)稱；

所述第一半部包括第二平臺(tái)，所述第二平臺(tái)的首端通過第一柔性鉸鏈與第一杠桿的尾端連接，尾端通過第二柔性鉸鏈與第二杠桿的中段連接；

所述第一杠桿與所述第一平臺(tái)背離一側(cè)的首端通過第三柔性鉸鏈與第三杠桿的首端連接，所述第一杠桿面向所述第一平臺(tái)一側(cè)的中段與所述平臺(tái)底座通過第四柔性鉸鏈連接；

所述第二杠桿的首端通過第五柔性鉸鏈與所述第三杠桿的中段連接，所述第二杠桿面向所述第一平臺(tái)一側(cè)的尾端與所述平臺(tái)底座之間，通過第六柔性鉸鏈連接；

所述第三杠桿背離所述第二杠桿一側(cè)的尾端通過第七柔性鉸鏈與輸出平臺(tái)連接，所述輸出平臺(tái)連接有限制其沿所述運(yùn)動(dòng)輸入裝置輸入的動(dòng)作的方向運(yùn)動(dòng)的限位結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述第一平臺(tái)的一側(cè)與所述運(yùn)動(dòng)輸入裝置的輸出端連接，另一側(cè)的一端通過第八柔性鉸鏈與所述第二平臺(tái)的中段連接，所述第一平臺(tái)的另一端設(shè)置有用于與第二半部連接的第九柔性鉸鏈。

優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述輸出平臺(tái)的首端和末端均通過柔性鉸鏈與所述第一半部和第二半部連接，與所述第一半部的連接點(diǎn)和與所述第二半部的連接點(diǎn)關(guān)于輸出平臺(tái)的中軸對(duì)稱。

優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)還設(shè)置有本體與所述平臺(tái)底座安裝固定的固定部，所述第四柔性鉸鏈和第六柔性鉸鏈的一端均通過所述固定部與所述平臺(tái)底座連接。

優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述第一柔性鉸鏈、第二柔性鉸鏈、第四柔性鉸鏈、第六柔性鉸鏈、第八柔性鉸鏈均為圓弧形柔性鉸鏈。

優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述第三柔性鉸鏈為直梁型柔性鉸鏈。

優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述第五柔性鉸鏈和第七柔性鉸鏈均為倒角圓直梁柔性鉸鏈。

優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與所述平臺(tái)底座之間通過緊固螺栓面貼合安裝固定。

優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與所述平臺(tái)底座之間還設(shè)置有平臺(tái)墊片。

優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述運(yùn)動(dòng)輸入裝置具體為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器。

本發(fā)明提供的單自由度柔性微定位平臺(tái)，包括運(yùn)動(dòng)輸入裝置、柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及用于固定柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的平臺(tái)底座，柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包括設(shè)置于同一平面的第一半部和第二半部，運(yùn)動(dòng)輸入裝置通過第一平臺(tái)將平移運(yùn)動(dòng)輸入至第一半部和第二半部，第一半部與第二半部的結(jié)構(gòu)關(guān)于第一平臺(tái)的中軸軸對(duì)稱；第一半部包括第二平臺(tái)，第二平臺(tái)的首端通過第一柔性鉸鏈與第一杠桿的尾端連接，尾端通過第二柔性鉸鏈與第二杠桿的中段連接；第一杠桿與第一平臺(tái)背離一側(cè)的首端通過第三柔性鉸鏈與第三杠桿的首端連接，第一杠桿面向第一平臺(tái)一側(cè)的中段與平臺(tái)底座通過第四柔性鉸鏈連接；第二杠桿的首端通過第五柔性鉸鏈與第三杠桿的中段連接，第二杠桿面向第一平臺(tái)一側(cè)的尾端與平臺(tái)底座之間，通過第六柔性鉸鏈連接；第三杠桿背離第二杠桿一側(cè)的尾端通過第七柔性鉸鏈與輸出平臺(tái)連接，輸出平臺(tái)連接有限制其沿運(yùn)動(dòng)輸入裝置輸入的動(dòng)作的方向運(yùn)動(dòng)的限位結(jié)構(gòu)。這種單自由度柔性微定位平臺(tái)包括多級(jí)差動(dòng)式杠桿將位移放大，提高了放大的行程，杠桿之間和杠桿與底座之間均采用柔性鉸鏈連接傳導(dǎo)位移，在柔性鉸鏈和杠桿本身位置及尺寸精準(zhǔn)的情況下，可以實(shí)現(xiàn)位移的較為精確的放大；并且這種設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡明，占據(jù)的空間相對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的設(shè)計(jì)較小，設(shè)計(jì)采用對(duì)稱的結(jié)構(gòu)，整體剛性較高，可以較為穩(wěn)定和準(zhǔn)確的輸出位移，在機(jī)構(gòu)本身尺寸精準(zhǔn)的前提下，能夠有效消除側(cè)向附加位移，減小機(jī)構(gòu)自身的縱向耦合位移誤差，提升了位移放大的精度，柔性鉸鏈的設(shè)計(jì)易于一體加工，可以避免裝配誤差。綜上所述，本發(fā)明提供的這種單自由度柔性微定位平臺(tái)在相對(duì)較小的空間內(nèi)、以相對(duì)較小的設(shè)備成本較為精確地實(shí)現(xiàn)了位移放大，有效地解決了現(xiàn)有柔性微定位平臺(tái)所存在大行程與高精度相互矛盾等的技術(shù)問題。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的單自由度柔性微定位平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的單自由度柔性微定位平臺(tái)的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中標(biāo)記如下：

柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1、緊固螺栓2、平臺(tái)墊片3、平臺(tái)底座4、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器6、第一平臺(tái)7、第八柔性鉸鏈8、第二平臺(tái)9、第一柔性鉸鏈10、第四柔性鉸鏈11、第一杠桿12、第三柔性鉸鏈13、第三杠桿14、第五柔性鉸鏈15、第二杠桿16、第二柔性鉸鏈17、第六柔性鉸鏈18、固定部19、第七柔性鉸鏈20、輸出平臺(tái)21。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明實(shí)施例公開了一種單自由度柔性微定位平臺(tái)，以地解決現(xiàn)有柔性微定位平臺(tái)所存在大行程與高精度相互矛盾等的技術(shù)問題。

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1、圖2，圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的單自由度柔性微定位平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的單自由度柔性微定位平臺(tái)的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

一種單自由度柔性微定位平臺(tái)，包括運(yùn)動(dòng)輸入裝置、柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1及用于固定柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1的平臺(tái)底座4，柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1包括設(shè)置于同一平面的第一半部和第二半部，運(yùn)動(dòng)輸入裝置通過第一平臺(tái)7將平移運(yùn)動(dòng)輸入至第一半部和第二半部，第一半部與第二半部的結(jié)構(gòu)關(guān)于第一平臺(tái)7的中軸軸對(duì)稱；

第一半部包括第二平臺(tái)9，第二平臺(tái)9的首端通過第一柔性鉸鏈10與第一杠桿12的尾端連接，尾端通過第二柔性鉸鏈17與第二杠桿16的中段連接；

第一杠桿12與第一平臺(tái)7背離一側(cè)的首端通過第三柔性鉸鏈13與第三杠桿14的首端連接，第一杠桿12面向第一平臺(tái)7一側(cè)的中段與平臺(tái)底座4通過第四柔性鉸鏈11連接；

第二杠桿16的首端通過第五柔性鉸鏈15與第三杠桿14的中段連接，第二杠桿16面向第一平臺(tái)7一側(cè)的尾端與平臺(tái)底座4之間，通過第六柔性鉸鏈18連接；

第三杠桿14背離第二杠桿16一側(cè)的尾端通過第七柔性鉸鏈20與輸出平臺(tái)21連接，輸出平臺(tái)21連接有限制其沿運(yùn)動(dòng)輸入裝置輸入的動(dòng)作的方向運(yùn)動(dòng)的限位結(jié)構(gòu)。

其中需要說明的是，柔性鉸鏈?zhǔn)且环N結(jié)構(gòu)簡單、形狀較為規(guī)則的彈性支承，具有和幾何中心軸重合的回轉(zhuǎn)中心，依靠在圓周徑向均布的彈性薄片的有限變形進(jìn)行工作。在扭轉(zhuǎn)載荷下，繞其回轉(zhuǎn)中心在有限角度范圍內(nèi)產(chǎn)生回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明中采用的柔性鉸鏈本身可以與杠桿或平臺(tái)內(nèi)的其他固定部件一體成型加工，可有效避免裝配誤差。

其中，第一半部和第二半部在結(jié)構(gòu)上相對(duì)于輸出運(yùn)動(dòng)的中軸完全軸對(duì)稱，通過完全對(duì)稱的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)增加系統(tǒng)剛度，穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)輸出，簡化機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的目的，第一半部和第二半部的底部共同與第一平臺(tái)連接，通過第一平臺(tái)向二者輸出相同的位移運(yùn)動(dòng)。

另外，首端、末端和中段是相對(duì)的概念，用于說明杠桿或平臺(tái)上連接點(diǎn)的相對(duì)位置，并無具體的尺寸和位置限制，具體應(yīng)用中可通過需要輸出的位移的大小和柔性鉸鏈的設(shè)計(jì)具體調(diào)整鉸接點(diǎn)的位置以適應(yīng)具體應(yīng)用環(huán)境。

本實(shí)施例提供的這種單自由度柔性微定位平臺(tái)大致工作原理如下：運(yùn)動(dòng)輸入裝置輸入初始運(yùn)動(dòng)擠壓第一平臺(tái)，第一平臺(tái)向圖2中的上方發(fā)生位移，擠壓第二平臺(tái)，在柔性鉸鏈的傳導(dǎo)下，第一杠桿以第四柔性鉸鏈為中軸逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)一定角度，同理第二杠桿在第二柔性鉸鏈的作用下，以第六柔性鉸鏈為中軸順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)一定角度，在第一杠桿和第二杠桿的轉(zhuǎn)動(dòng)推動(dòng)下，第三杠桿在第五柔性鉸鏈和第三柔性鉸鏈的作用下同時(shí)發(fā)生向上方的平移和逆時(shí)針的轉(zhuǎn)動(dòng)通過其尾端的第七柔性鉸鏈將該發(fā)大后的位移傳導(dǎo)至輸出平臺(tái)，輸出平臺(tái)在限位結(jié)構(gòu)的限定下，輸出預(yù)設(shè)放大比例的向上方的平移，該平移放大的比例由各個(gè)杠桿、平臺(tái)的尺寸、及其上各柔性鉸鏈連接點(diǎn)的位置及柔性鉸鏈的具體設(shè)計(jì)確定。

優(yōu)選的設(shè)計(jì)是通過對(duì)稱結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)第一半部和第二半部同時(shí)輸出向上方的位移，并通過對(duì)稱的設(shè)計(jì)抵消由杠桿扭轉(zhuǎn)導(dǎo)致的水平平動(dòng)，達(dá)到水平方向限位的目的。

這種單自由度柔性微定位平臺(tái)包括多級(jí)差動(dòng)式杠桿將位移放大，提高了放大的行程，杠桿之間和杠桿與底座之間均采用柔性鉸鏈連接傳導(dǎo)位移，在柔性鉸鏈和杠桿本身位置及尺寸精準(zhǔn)的情況下，可以實(shí)現(xiàn)位移的較為精確的放大；并且這種設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡明，占據(jù)的空間相對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的設(shè)計(jì)較小，設(shè)計(jì)采用對(duì)稱的結(jié)構(gòu)，整體剛性較高，可以較為穩(wěn)定和準(zhǔn)確的輸出位移，在機(jī)構(gòu)本身尺寸精準(zhǔn)的前提下，能夠有效消除側(cè)向附加位移，減小機(jī)構(gòu)自身的縱向耦合位移誤差，提升了位移放大的精度，柔性鉸鏈的設(shè)計(jì)易于一體加工，可以避免裝配誤差。綜上所述，本發(fā)明提供的這種單自由度柔性微定位平臺(tái)在相對(duì)較小的空間內(nèi)、以相對(duì)較小的設(shè)備成本較為精確地實(shí)現(xiàn)了位移放大，有效地解決了現(xiàn)有柔性微定位平臺(tái)所存在大行程與高精度相互矛盾等的技術(shù)問題。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述第一平臺(tái)7的一側(cè)與所述運(yùn)動(dòng)輸入裝置的輸出端連接，另一側(cè)的一端通過第八柔性鉸鏈8與所述第二平臺(tái)9的中段連接，所述第一平臺(tái)7的另一端設(shè)置有用于與第二半部連接的第九柔性鉸鏈。

本實(shí)施例提供的技術(shù)方案通過柔性鉸鏈的設(shè)計(jì)將第一平臺(tái)的位移傳遞給第一半部和第二半部，其中第二半部設(shè)置有與第一半部結(jié)構(gòu)相同對(duì)稱設(shè)置的平臺(tái)，通過柔性鉸鏈傳遞運(yùn)動(dòng)可以實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的位移傳遞。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述輸出平臺(tái)21的首端和末端均通過柔性鉸鏈與所述第一半部和第二半部連接，與所述第一半部的連接點(diǎn)和與所述第二半部的連接點(diǎn)關(guān)于輸出平臺(tái)21的中軸對(duì)稱。

本實(shí)施例提供的技術(shù)方案中第一半部和第二半部通過第一平臺(tái)的連接結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)完全結(jié)構(gòu)對(duì)稱的設(shè)計(jì)，在運(yùn)動(dòng)輸入端即保證輸出位移一致，有效確保了系統(tǒng)的對(duì)稱性。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1還設(shè)置有本體與所述平臺(tái)底座4安裝固定的固定部19，所述第四柔性鉸鏈11和第六柔性鉸鏈18的一端均通過所述固定部19與所述平臺(tái)底座4連接。

本實(shí)施例提供的技術(shù)方案中固定部為柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的延伸部分，柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)通過固定部與平臺(tái)底座實(shí)現(xiàn)安裝固定，固定部并不僅僅指某一個(gè)特定結(jié)構(gòu)而是柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與平臺(tái)底座固定不動(dòng)的部分，通過第四柔性鉸鏈和第六柔性鉸鏈的一端與固定部的連接有效確保了杠桿運(yùn)動(dòng)的支點(diǎn)固定穩(wěn)定。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述第一柔性鉸鏈10、第二柔性鉸鏈17、第四柔性鉸鏈11、第六柔性鉸鏈18、第八柔性鉸鏈8均為圓弧形柔性鉸鏈。

其中，圓弧形鉸鏈?zhǔn)倾q鏈連接的兩端在過度位置均采用圓弧形的設(shè)計(jì)，鉸鏈本身呈現(xiàn)兩個(gè)相對(duì)圓弧的結(jié)構(gòu)，其在柔性鉸鏈中具有運(yùn)動(dòng)傳遞精度高，轉(zhuǎn)動(dòng)范圍較小的特點(diǎn)適合本技術(shù)方案中第一、第二、第四、第六、第八柔性鉸鏈的應(yīng)用位置。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述第三柔性鉸鏈13為直梁型柔性鉸鏈。

直梁型鉸鏈?zhǔn)倾q鏈連接的兩端在過度位置均采用直角形的設(shè)計(jì)，由于設(shè)計(jì)需要，第三柔性鉸鏈需要能夠?qū)崿F(xiàn)較大的位移傳遞，由于其他柔性鉸鏈的限位作用不要求很高的運(yùn)動(dòng)精度，所以采用直梁型柔性鉸鏈。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述第五柔性鉸鏈15和第七柔性鉸鏈20均為倒角圓直梁柔性鉸鏈。本實(shí)施例提供的技術(shù)方案中第五柔性鉸鏈和第七柔性鉸鏈均為倒角圓直梁柔性鉸鏈，這種柔性鉸鏈具能夠兼顧運(yùn)動(dòng)傳遞的精度和運(yùn)動(dòng)的傳遞范圍，適合本技術(shù)方案的應(yīng)用。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1與所述平臺(tái)底座4之間通過緊固螺栓2面貼合安裝固定。采用緊固螺栓在柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的需要位置如固定部，將平臺(tái)與平臺(tái)底座安裝固定，確保運(yùn)動(dòng)平臺(tái)位置的固定，防止由于輸入運(yùn)動(dòng)的作用平臺(tái)位置偏移。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1與所述平臺(tái)底座4之間還設(shè)置有平臺(tái)墊片3。通過墊片的設(shè)計(jì)將柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)稍微抬離平臺(tái)底座，防止平臺(tái)上需要發(fā)生運(yùn)動(dòng)的部位與平臺(tái)底座發(fā)生摩擦，給其中部件的運(yùn)動(dòng)造成阻力，造成位移傳遞放大的精度降低。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述單自由度柔性微定位平臺(tái)中，所述運(yùn)動(dòng)輸入裝置具體為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器6。壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器是一種利用壓電陶瓷的逆壓電原理，通過控制電流輸入實(shí)現(xiàn)精確位移輸出的裝置，采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器能夠提供精準(zhǔn)的運(yùn)動(dòng)輸入，從而令經(jīng)過柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)發(fā)大輸出的位移能夠更加精準(zhǔn)可控。

本說明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。

對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。