本發(fā)明涉及機(jī)器人。
背景技術(shù)：
：以往，已知有具備機(jī)器人臂的機(jī)器人。機(jī)器人臂的多個(gè)臂(臂部件)經(jīng)由關(guān)節(jié)部連結(jié)，在最末端側(cè)(最下游側(cè))的臂作為末端執(zhí)行器，例如安裝有手。關(guān)節(jié)部由馬達(dá)驅(qū)動，通過該關(guān)節(jié)部的驅(qū)動，使臂轉(zhuǎn)動。于是，機(jī)器人例如利用手把持對象物，進(jìn)行使該對象物向規(guī)定的位置移動、組裝等規(guī)定的作業(yè)。作為這樣的機(jī)器人，在專利文獻(xiàn)1公開有鉛垂多關(guān)節(jié)機(jī)器人。專利文獻(xiàn)1所記載的機(jī)器人構(gòu)成為在使手繞作為最基端側(cè)(最上游側(cè))的轉(zhuǎn)動軸(沿鉛垂方向延伸的轉(zhuǎn)動軸)的第一轉(zhuǎn)動軸相對于基座移動到錯開180°的位置時(shí)，通過使作為最基端側(cè)(基座側(cè))的臂的第一臂相對于基座繞上述第一轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動來進(jìn)行。專利文獻(xiàn)1：日本特開2014－46401號公報(bào)在專利文獻(xiàn)1所記載的機(jī)器人中，在使手相對于基座繞第一轉(zhuǎn)動軸移動到錯開180°的位置的情況下，需要用于使機(jī)器人不形成干擾的較大的空間。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明是為了解決上述的課題的至少一部分而完成的，能夠通過以下的方式或者應(yīng)用例實(shí)現(xiàn)。應(yīng)用例1本應(yīng)用例的機(jī)器人的特征在于，具備機(jī)器人臂，該機(jī)器人臂具有：第一部件，其由至少一個(gè)臂構(gòu)成，并以能夠轉(zhuǎn)動的方式設(shè)于基座；第二部件，其由與上述第一部件不同的至少一個(gè)臂構(gòu)成，且以能夠轉(zhuǎn)動的方式設(shè)于上述第一部件；第三部件，其由與上述第一部件及上述第二部件不同的至少一個(gè)臂構(gòu)成，且以能夠轉(zhuǎn)動的方式設(shè)于上述第二部件；以及第四部件，其由與上述第一部件、上述第二部件以及上述第三部件不同的至少一個(gè)臂構(gòu)成，且以能夠轉(zhuǎn)動的方式設(shè)于上述第三部件，上述第四部件具有能夠以軸向與上述第一部件相對于上述基座轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動軸的軸向不同的旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動的臂，能夠成為在從上述第二部件相對于上述第一部件轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動軸的軸向觀察時(shí)，上述第一部件、上述第二部件以及上述第三部件重合的第一狀態(tài)，在上述第一狀態(tài)下，能夠成為在從上述第一部件的相對于上述基座轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動軸的軸向觀察時(shí)，上述機(jī)器人臂的末端和設(shè)于上述機(jī)器人臂的末端的末端執(zhí)行器中的至少一者與上述第二部件重合的第二狀態(tài)。根據(jù)這樣的機(jī)器人，能夠成為第一狀態(tài)，所以能夠減小用于使機(jī)器人不形成干擾的空間。并且，在本應(yīng)用例的機(jī)器人中，能夠成為第二狀態(tài)，所以在第一狀態(tài)時(shí)形成的第二部件的與基座相反的一側(cè)的區(qū)域(以下，也稱為“末端區(qū)域”)處，能夠擴(kuò)大機(jī)器人臂的末端及末端執(zhí)行器能夠動作的范圍。應(yīng)用例2在本應(yīng)用例的機(jī)器人中，優(yōu)選上述第四部件具有以能夠轉(zhuǎn)動的方式設(shè)于上述第三部件的基端側(cè)臂和以能夠轉(zhuǎn)動的方式設(shè)于上述基端側(cè)臂的末端側(cè)臂，在上述第二狀態(tài)下，上述第一部件的轉(zhuǎn)動軸與上述末端側(cè)臂相對于上述基端側(cè)臂轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動軸能夠正交，在上述第一部件的轉(zhuǎn)動軸與上述末端側(cè)臂的轉(zhuǎn)動軸正交的狀態(tài)下，在將上述機(jī)器人臂的末端和上述末端執(zhí)行器中的至少一者與上述第二部件之間的距離設(shè)為y時(shí)，滿足3[mm]≤y的關(guān)系。由此，由于第一部件的轉(zhuǎn)動軸與末端側(cè)臂的轉(zhuǎn)動軸能夠正交，所以能夠進(jìn)一步擴(kuò)大末端區(qū)域的機(jī)器人臂的末端及末端執(zhí)行器能夠動作的范圍。另外，由于距離y滿足上述關(guān)系，所以能夠較大地確保機(jī)器人臂的末端及末端執(zhí)行器中的至少一者能夠不干擾第一部件及第二部件地進(jìn)行動作的范圍。應(yīng)用例3在本應(yīng)用例的機(jī)器人中，優(yōu)選滿足5[mm]≤y的關(guān)系。通過滿足這樣的關(guān)系，即使末端執(zhí)行器、末端執(zhí)行器所把持的工件是比較大的構(gòu)成，也能夠較大地確保上述機(jī)器人臂的末端和上述末端執(zhí)行器中的至少一者能夠不干擾第一部件及第二部件地進(jìn)行動作的范圍。應(yīng)用例4在本應(yīng)用例的機(jī)器人中，優(yōu)選在將上述第三部件的在上述第一部件的轉(zhuǎn)動軸的軸向上的長度設(shè)為r3時(shí)，滿足y≤(r3/2)的關(guān)系。由此，能夠防止機(jī)器人臂的大型化，并擴(kuò)大機(jī)器人臂的末端和末端執(zhí)行器中的至少一者在末端區(qū)域的動作范圍。應(yīng)用例5在本應(yīng)用例的機(jī)器人中，優(yōu)選上述第一部件的在上述第一部件的轉(zhuǎn)動軸的軸向上的長度比上述第二部件的在上述第一部件的轉(zhuǎn)動軸的軸向上的長度長。由此，能夠避免與機(jī)器人自身(例如第一部件、支承第一部件的基座)、周邊設(shè)備的干擾，并得到第一狀態(tài)。應(yīng)用例6在本應(yīng)用例的機(jī)器人中，優(yōu)選上述第三部件的在上述第一部件的轉(zhuǎn)動軸的軸向上的長度比上述第二部件的在上述第一部件的轉(zhuǎn)動軸的軸向上的長度長。由此，在第一狀態(tài)下，能夠使機(jī)器人臂的末端與第二部件相比向末端區(qū)域側(cè)突出。因此，能夠較大地確保機(jī)器人臂的末端和末端執(zhí)行器中的至少一者能夠不干擾第一部件及第二部件地進(jìn)行動作的范圍。應(yīng)用例7在本應(yīng)用例的機(jī)器人中，優(yōu)選上述第三部件的長度在上述第二部件的長度的兩倍以上。由此，在第一狀態(tài)下，能夠使機(jī)器人臂的末端比第二部件向末端區(qū)域側(cè)充分地突出。因此，即使末端執(zhí)行器、工件是比較大的構(gòu)成，也能夠較大地確保機(jī)器人臂的末端和末端執(zhí)行器中的至少一者能夠不形成干擾第一部件及第二部件地進(jìn)行動作的范圍。應(yīng)用例8在本應(yīng)用例的機(jī)器人中，優(yōu)選上述第一部件具有向與上述第一部件的轉(zhuǎn)動軸的軸向不同的方向延伸的第一部分、向沿著上述第一部件的轉(zhuǎn)動軸的軸向的方向延伸的第二部分、以及向與上述第一部分及上述第二部分的延伸方向不同的方向延伸的第三部分。通過具有這樣的第三部分，即使在第三部分的周邊配置各種設(shè)備，也能夠避免第一部件干擾這些各種設(shè)備。應(yīng)用例9在本應(yīng)用例的機(jī)器人中，優(yōu)選上述第一部件是能夠繞第一轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的第一臂，上述第二部件是能夠繞軸向與上述第一轉(zhuǎn)動軸的軸向不同的第二轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的第二臂，上述第三部件具有能夠繞軸向與上述第二轉(zhuǎn)動軸的軸向平行的第三轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的第三臂、和以能夠繞與上述第三轉(zhuǎn)動軸的軸向不同的第四轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的方式設(shè)于上述第三臂的第四臂，上述第四部件具有能夠繞軸向與上述第四轉(zhuǎn)動軸的軸向不同的第五轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的第五臂、和能夠繞軸向與上述第五轉(zhuǎn)動軸的軸向不同的第六轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的第六臂。由此，機(jī)器人臂的末端的驅(qū)動范圍較大，能夠發(fā)揮較高的操作性。應(yīng)用例10在本應(yīng)用例的機(jī)器人中，優(yōu)選上述機(jī)器人臂具有能夠安裝板部件的安裝部。由此，能夠簡單地將板部件安裝于機(jī)器人臂。另外，在板部件是例如進(jìn)行各轉(zhuǎn)動軸的原點(diǎn)(各編碼器的原點(diǎn))的設(shè)定所使用的基準(zhǔn)板的情況下，能夠高精度地進(jìn)行上述設(shè)定。應(yīng)用例11本應(yīng)用例的機(jī)器人的特征在于，具備機(jī)器人臂，該機(jī)器人臂具有能夠繞第n(n是1以上的整數(shù))轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的第n臂、和以能夠繞與上述第n轉(zhuǎn)動軸的軸向不同的軸向亦即第(n+1)轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的方式設(shè)于上述第n臂的第(n+1)臂，在從上述第(n+1)轉(zhuǎn)動軸的軸向觀察時(shí)，上述第n臂與上述第(n+1)臂能夠重合，能夠?qū)ο笪镙d置于具有在鉛垂方向排列的多個(gè)載置部的載置裝置的上述多個(gè)載置部中的各個(gè)載置部。根據(jù)這樣的機(jī)器人，在從第(n+1)轉(zhuǎn)動軸的軸向觀察時(shí)，第n臂與上述第(n+1)臂能夠重合，所以能夠減小用于使機(jī)器人不形成干擾的空間。另外，在從第(n+1)轉(zhuǎn)動軸的軸向觀察時(shí)，第n臂與第(n+1)臂能夠重合，所以即使在機(jī)器人距載置裝置的距離比較近的情況下，也能夠避免機(jī)器人與載置裝置的干擾，并進(jìn)行將對象物載置于在鉛垂方向排列的比較多的載置部的作業(yè)等。應(yīng)用例12在上述應(yīng)用例11所記載的機(jī)器人中，優(yōu)選上述第n臂的長度比上述第(n+1)臂的長度長。由此，能夠避免第(n+1)臂與第n臂干擾，并在從第(n+1)轉(zhuǎn)動軸的軸向觀察時(shí)，第(n+1)臂與第n臂重合。應(yīng)用例13在上述應(yīng)用例11或者12所記載的機(jī)器人中，優(yōu)選能夠在設(shè)于與上述載置裝置不同的位置的作業(yè)裝置所具有的作業(yè)部中進(jìn)行作業(yè)。如上述那樣，對于機(jī)器人來說，第n臂與第(n+1)臂能夠重合，所以即使在機(jī)器人距作業(yè)裝置的距離比較近的情況下，也能夠在機(jī)器人臂的末端設(shè)置了末端執(zhí)行器時(shí)，避免與作業(yè)裝置間的干擾，并能夠在作業(yè)部中進(jìn)行針對對象物的各種作業(yè)。另外，即使在機(jī)器人距載置裝置及作業(yè)裝置這兩者的距離比較近的情況下，也能夠避免機(jī)器人干擾載置裝置及作業(yè)裝置、周邊部件，并使機(jī)器人臂的末端在載置裝置與作業(yè)裝置之間移動。應(yīng)用例14在上述應(yīng)用例11～13的任意一項(xiàng)所記載的機(jī)器人中，優(yōu)選上述機(jī)器人臂的末端能夠沿水平方向中鉛垂方向中各個(gè)方向移動。由此，機(jī)器人例如能夠進(jìn)行將對象物載置于在水平方向及鉛垂方向排列的多個(gè)載置部的作業(yè)等。應(yīng)用例15在上述應(yīng)用例11～14的任意一項(xiàng)所記載的機(jī)器人中，優(yōu)選具備基座，上述第n臂(n為1)以能夠繞上述第n轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的方式設(shè)于上述基座。由此，能夠使第n臂及第(n+1)臂相對于基座轉(zhuǎn)動。應(yīng)用例16在上述應(yīng)用例15所記載的機(jī)器人中，優(yōu)選上述基座被能夠移動上述基座的移動機(jī)構(gòu)支承。由此，機(jī)器人能夠在更大的范圍進(jìn)行將對象物載置于載置部的作業(yè)等。應(yīng)用例17在上述應(yīng)用例11～16的任意一項(xiàng)所記載的機(jī)器人中，優(yōu)選在上述機(jī)器人臂設(shè)有具有拍攝的功能的拍攝部。由此，例如，能夠拍攝對象物、載置部等，因此，機(jī)器人能夠基于拍攝到的數(shù)據(jù)，準(zhǔn)確地進(jìn)行將對象物載置于載置部的作業(yè)等。應(yīng)用例18在上述應(yīng)用例11～17的任意一項(xiàng)所記載的機(jī)器人中，優(yōu)選在上述機(jī)器人臂設(shè)有力檢測器。由此，機(jī)器人例如在機(jī)器人臂的末端設(shè)置了末端執(zhí)行器時(shí)，能夠把握末端執(zhí)行器的與對象物接觸的接觸狀態(tài)，因此，機(jī)器人能夠通過末端執(zhí)行器以準(zhǔn)確的把持力把持對象物等。應(yīng)用例19本應(yīng)用例的機(jī)器人系統(tǒng)的特征在于，具備上述應(yīng)用例11～18的任意一項(xiàng)所記載的機(jī)器人、和相對于上述機(jī)器人在水平方向上并排設(shè)置且具有在鉛垂方向排列的多個(gè)載置部的載置裝置。根據(jù)這樣的機(jī)器人系統(tǒng)，機(jī)器人在從第(n+1)轉(zhuǎn)動軸的軸向觀察時(shí)，第n臂與上述第(n+1)臂能夠重合，所以能夠減小用于使機(jī)器人不形成干擾的空間。因此，能夠提供小型，并且，機(jī)器人能夠載置對象物的載置部的數(shù)目較多的機(jī)器人系統(tǒng)。應(yīng)用例20在上述應(yīng)用例19所記載的機(jī)器人系統(tǒng)中，優(yōu)選上述載置裝置包括檢查上述對象物的檢查部。由此，能夠通過檢查部檢查載置于載置部的對象物。應(yīng)用例21在上述應(yīng)用例19或者20所記載的機(jī)器人系統(tǒng)中，優(yōu)選上述載置裝置具有多個(gè)具有在鉛垂方向排列的多個(gè)上述載置部的載置列，多個(gè)上述載置列在水平方向上沿與上述機(jī)器人和上述載置裝置的排列方向不同的方向并排地設(shè)置，多個(gè)上述載置列中，設(shè)于距離上述第n轉(zhuǎn)動軸最遠(yuǎn)的位置的上述載置列所具有的上述載置部的數(shù)目比設(shè)于最接近上述第n轉(zhuǎn)動軸的位置的上述載置列所具有的上述載置部的數(shù)目少。由此，能夠在機(jī)器人臂的末端的可動范圍高效地設(shè)置多個(gè)載置部。應(yīng)用例22在上述應(yīng)用例19～21的任意一項(xiàng)所記載的機(jī)器人系統(tǒng)中，優(yōu)選上述載置列配置為圓弧狀。由此，能夠在機(jī)器人臂的末端的可動范圍高效地設(shè)置多個(gè)載置部。應(yīng)用例23在上述應(yīng)用例19～22的任意一項(xiàng)所記載的機(jī)器人系統(tǒng)中，優(yōu)選具有多個(gè)上述機(jī)器人。由此，能夠通過多個(gè)機(jī)器人進(jìn)行將對象物載置于載置部的作業(yè)等，所以能夠提供每個(gè)單位時(shí)間的作業(yè)數(shù)較高的機(jī)器人系統(tǒng)。應(yīng)用例24在上述應(yīng)用例19～23的任意一項(xiàng)所記載的機(jī)器人系統(tǒng)中，優(yōu)選具備供給上述對象物的供給裝置。由此，機(jī)器人例如，能夠從供給裝置選定對象物并進(jìn)行供料，并將該對象物輸送到載置裝置。應(yīng)用例25在上述應(yīng)用例19～23的任意一項(xiàng)所記載的機(jī)器人系統(tǒng)中，優(yōu)選上述載置裝置是供給上述對象物的供給裝置。由此，機(jī)器人例如能夠?qū)ο笪镙斔偷焦┙o裝置、并在該供給裝置進(jìn)行部件等的組裝。應(yīng)用例26在上述應(yīng)用例19～25的任意一項(xiàng)所記載的機(jī)器人系統(tǒng)中，優(yōu)選設(shè)置面積在4m2以下。由此，即使是上述那樣的比較小的設(shè)置面積，機(jī)器人系統(tǒng)也小型，并且，能夠充分多地確保機(jī)器人能夠載置對象物的載置部的數(shù)目。應(yīng)用例27在上述應(yīng)用例19～26的任意一項(xiàng)所記載的機(jī)器人系統(tǒng)中，優(yōu)選設(shè)置面積在0.5m2以上。由此，能夠避免機(jī)器人干擾載置裝置，并設(shè)置具有比較多的載置部的載置裝置。附圖說明圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人的立體圖。圖2是圖1所示的機(jī)器人的主視圖。圖3是圖1所示的機(jī)器人的后視圖。圖4是圖1所示的機(jī)器人的右視圖。圖5是圖1所示的機(jī)器人的左視圖。圖6是圖1所示的機(jī)器人的俯視圖。圖7是圖1所示的機(jī)器人的仰視圖。圖8是圖1所示的機(jī)器人的變化的中途的狀態(tài)或者變化后的狀態(tài)的從正面?zhèn)扔^察到的立體圖。圖9是圖1所示的機(jī)器人的概略結(jié)構(gòu)圖。圖10是圖1所示的機(jī)器人的示意圖。圖11是圖1所示的機(jī)器人的第一臂、第二臂以及第三臂不重合的狀態(tài)的示意側(cè)視圖。圖12是圖1所示的機(jī)器人的第一臂、第二臂以及第三臂重合的狀態(tài)的示意側(cè)視圖。圖13a～e是用于說明圖1所示的機(jī)器人的動作的圖。圖14是表示圖13a～e所示的機(jī)器人的動作中的手的移動路徑的圖。圖15是用于說明圖1所示的機(jī)器人具有的臂的長度、配置方式的圖。圖16是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人的立體圖。圖17是表示在圖16所示的機(jī)器人安裝了板部件的狀態(tài)的立體圖。圖18是用于說明圖16所示的機(jī)器人的機(jī)械校準(zhǔn)的示意側(cè)視圖。圖19是用于說明圖16所示的機(jī)器人的機(jī)械校準(zhǔn)的示意側(cè)視圖。圖20是用于說明圖16所示的機(jī)器人的機(jī)械校準(zhǔn)的示意側(cè)視圖。圖21是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)的立體圖。圖22是圖21所示的機(jī)器人的示意主視圖。圖23是圖21所示的機(jī)器人的示意圖。圖24是圖21所示的機(jī)器人的第一臂、第二臂以及第三臂未重合的狀態(tài)的示意側(cè)視圖。圖25是圖21所示的機(jī)器人的第一臂、第二臂以及第三臂重合的狀態(tài)的示意側(cè)視圖。圖26a～26e是用于說明圖21所示的機(jī)器人的動作的圖。圖27是表示圖26a～26e所示的機(jī)器人的動作中的手的移動路徑的圖。圖28是圖21所示的機(jī)器人的第一臂及第三臂交叉的狀態(tài)的示意側(cè)視圖。圖29是圖21所示的機(jī)器人的第一臂及第三臂重合的狀態(tài)的示意側(cè)視圖。圖30是用于說明圖21所示的機(jī)器人的末端可動的范圍的圖。圖31是用于說明圖21所示的機(jī)器人的末端可動的范圍的圖。圖32是用于說明圖21所示的機(jī)器人的作業(yè)的一個(gè)例子的圖。圖33是用于說明圖21所示的機(jī)器人的作業(yè)的一個(gè)例子的圖。圖34是用于說明圖21所示的機(jī)器人的作業(yè)的一個(gè)例子的圖。圖35是表示本發(fā)明的第四實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)具有的機(jī)器人及檢查裝置的示意圖。圖36是表示本發(fā)明的第五實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)具有的機(jī)器人及檢查裝置的立體圖。圖37是用于說明對圖36所示的機(jī)器人進(jìn)行支承的支承部的圖。圖38是用于說明對圖36所示的機(jī)器人進(jìn)行支承的支承部的變形例的圖。圖39是表示本發(fā)明的第六實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)具有的支承部的立體圖。圖40是表示本發(fā)明的第七實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)具有的支承部的立體圖。圖41是表示本發(fā)明的第八實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)的立體圖。圖42是表示本發(fā)明的第九實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)的示意圖。圖43是表示本發(fā)明的第十實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)的示意圖。附圖標(biāo)記說明1…機(jī)器人，1a…機(jī)器人，3…安裝機(jī)構(gòu)，10…機(jī)器人臂，10a…機(jī)器人臂，11…基座，12…第一臂，13…第二臂，14…第三臂，15…第四臂，16…第五臂，17…第六臂，30…安裝部，31…安裝部，32…安裝部，33…安裝部，34…安裝部，35…安裝部，36…安裝部，40…板部件，41…棒狀部件，42…孔，43…孔，44…孔，45…孔，46…孔，61…軸承部，62…箭頭，63…箭頭，64…箭頭，91…手，101…天花板，102…安裝面，105…區(qū)域，106…區(qū)域，107…末端區(qū)域，111…法蘭盤，121…第一部分，122…第二部分，123…第三部分，141…第一部分，142…第二部分，144…第二連接部，151…支承部，152…支承部，171…關(guān)節(jié)，172…關(guān)節(jié)，173…關(guān)節(jié)，174…關(guān)節(jié)，175…關(guān)節(jié)，176…關(guān)節(jié)，301…馬達(dá)驅(qū)動器，302…馬達(dá)驅(qū)動器，303…馬達(dá)驅(qū)動器，304…馬達(dá)驅(qū)動器，305…馬達(dá)驅(qū)動器，306…馬達(dá)驅(qū)動器，351…凸部，361…凸部，401…第一驅(qū)動源，401m…馬達(dá)，402…第二驅(qū)動源，402m…馬達(dá)，403…第三驅(qū)動源，403m…馬達(dá)，404…第四驅(qū)動源，404m…馬達(dá)，405…第五驅(qū)動源，405m…馬達(dá)，406…第六驅(qū)動源，406m…馬達(dá)，421…外螺紋件，431…外螺紋件，441…外螺紋件，451…外螺紋件，461…外螺紋件，611…中心線，1211…第一連接部，1221…第二連接部，h…手直徑，l3…長度，o1…第一轉(zhuǎn)動軸，o2…第二轉(zhuǎn)動軸，o3…第三轉(zhuǎn)動軸，o4…第四轉(zhuǎn)動軸，o5…第五轉(zhuǎn)動軸，o6…第六轉(zhuǎn)動軸，p1…距離，s…面積，x…箭頭，y…距離，θ…角度，l1…長度，l2…長度，r3…長度，r1…最大長度，621…直線，w…寬度，wx…寬度，rj2…寬度。具體實(shí)施方式以下，基于附圖所示的優(yōu)選的實(shí)施方式對本發(fā)明的機(jī)器人及機(jī)器人系統(tǒng)進(jìn)行詳細(xì)說明。第一實(shí)施方式機(jī)器人圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人的立體圖。圖2是圖1所示的機(jī)器人的主視圖。圖3是圖1所示的機(jī)器人的后視圖。圖4是圖1所示的機(jī)器人的右視圖。圖5是圖1所示的機(jī)器人的左視圖。圖6是圖1所示的機(jī)器人的俯視圖。圖7是圖1所示的機(jī)器人的仰視圖。圖8是圖1所示的機(jī)器人的變化的中途的狀態(tài)或者變化后的狀態(tài)的從正面?zhèn)扔^察到的立體圖。圖9是圖1所示的機(jī)器人的概略結(jié)構(gòu)圖。圖10是圖1所示的機(jī)器人的示意圖。此外，以下，為了方便說明，將圖1～5、8、9中的上側(cè)稱為“上”或者“上方”，將下側(cè)稱為“下”或者“下方”。另外，將圖1～5、8、9中的基座側(cè)稱為“基端”或者“上游”，將其相反的一側(cè)(手側(cè))稱為“末端”或者“下游”。另外，將圖1～5、8、9中的上下方向設(shè)為“鉛垂方向”，將左右方向設(shè)為“水平方向”。此外，在本說明書中，兩個(gè)軸相互“平行”也包括這兩個(gè)軸中的一個(gè)軸相對于另一個(gè)軸在5°以下的范圍內(nèi)傾斜的情況。本實(shí)施方式所示的機(jī)器人1例如能夠在制造腕表那樣的精密設(shè)備等的制造工序等使用。另外，機(jī)器人1能夠進(jìn)行精密設(shè)備、構(gòu)成精密設(shè)備的部件(對象物)的供料、除料、輸送以及組裝等作業(yè)。該機(jī)器人1具有基座11和機(jī)器人臂10。機(jī)器人臂10具備由第一部件構(gòu)成的第一臂12、由第二部件構(gòu)成的第二臂13、由第三部件構(gòu)成的第三臂14及第四臂15、及由第四部件構(gòu)成的第五臂16及第六臂17。即，機(jī)器人1是從基端側(cè)朝向末端側(cè)依次連結(jié)了基座11、第一臂12、第二臂13、第三臂14、第四臂15、第五臂16(基端側(cè)臂)、以及第六臂17(末端側(cè)臂)的鉛垂多關(guān)節(jié)(六軸)機(jī)器人。如圖9所示，在第六臂17的末端例如能夠以能夠拆裝的方式安裝把持精密設(shè)備、部件等的手91等末端執(zhí)行器。另外，機(jī)器人1具備第一驅(qū)動源401、第二驅(qū)動源402、第三驅(qū)動源403、第四驅(qū)動源404、第五驅(qū)動源405以及第六驅(qū)動源406(六個(gè)驅(qū)動源)。另外，機(jī)器人1具備控制機(jī)器人1的各部的工作的未圖示的機(jī)器人控制裝置(控制部)。該機(jī)器人控制裝置例如能夠由內(nèi)置了cpu(centralprocessingunit：中央處理器)的個(gè)人計(jì)算機(jī)(pc)等構(gòu)成。此外，機(jī)器人控制裝置也可以內(nèi)置于機(jī)器人1，另外，也可以與機(jī)器人1獨(dú)立。此外，以下，也將第一臂12、第二臂13、第三臂14、第四臂15、第五臂16以及第六臂17分別稱為“臂”。另外，也將第一驅(qū)動源401、第二驅(qū)動源402、第三驅(qū)動源403、第四驅(qū)動源404、第五驅(qū)動源405以及第六驅(qū)動源406分別稱為“驅(qū)動源(驅(qū)動部)”。基座本實(shí)施方式的機(jī)器人1是吊頂型的鉛垂多關(guān)節(jié)機(jī)器人，在設(shè)置空間的天花板101中，設(shè)置在作為天花板101的下表面的安裝面102。如圖9所示，基座11是位于機(jī)器人1的最上方，是機(jī)器人1的固定于安裝面102的部分(被安裝的部件)。此外，在本實(shí)施方式中，設(shè)在基座11的下部的板狀的法蘭盤111固定于安裝面102。此外，固定于安裝面102的部分并不限定于此，例如，也可以是基座11的上表面。另外，作為該固定方法，并不特別限定，例如，能夠采用利用多根螺栓的固定方法等。另外，作為基座11的固定位置，并不限定于設(shè)置空間的天花板，除此之外，例如，也可以是設(shè)置空間的墻壁、地板、地面等。(機(jī)器人臂)圖9所示的機(jī)器人臂10以能夠相對于基座11轉(zhuǎn)動的方式被支承，臂12～17分別以能夠相對于基座11獨(dú)立地位移的方式被支承。第一臂12形成彎曲或者彎折的形狀。第一臂12具有：設(shè)于基座11，且向水平方向(第一方向)延伸的第一部分121；設(shè)于第二臂13，且向鉛垂方向(與第一方向不同的第二方向)延伸的第二部分122；以及位于第一部分121與第二部分122之間，且向相對于水平方向及鉛垂方向傾斜的方向(與第一方向及第二方向不同的方向)延伸的第三部分123。更具體而言，第一臂12具有：與基座11連接，且從基座11向鉛垂方向下方延伸突出后向水平方向延伸突出的第一部分121；從第一部分121的與基座11連接的連接部相反的一側(cè)的端部向遠(yuǎn)離第一部分121的方向傾斜并且向鉛垂方向下方延伸突出的第三部分123；以及從第三部分123的末端向鉛垂方向下方延伸突出的第二部分122。此外，這些第一部分121、第二部分122以及第三部分123形成為一體。另外，在從圖9的紙面外側(cè)觀察(與后述的第一轉(zhuǎn)動軸(本文中也指轉(zhuǎn)動軸線)o1及第二轉(zhuǎn)動軸o2這兩者正交的主視角度觀察)時(shí)，第一部分121和第二部分122幾乎正交(交叉)。另外，第一部分121經(jīng)由第一連接部1211(連接部)與基座11連接。另外，第二部分122經(jīng)由第二連接部1221(連接部)與第二臂13連接。第二臂13形成長條形狀，連接于第一臂12的末端部(第二部分122的與第三部分123相反的端部)。第三臂14形成長條形狀，連接于第二臂13的與連接有第一臂12的端部相反的端部。第三臂14具有：與第二臂13連接，且從第二臂13向水平方向延伸突出的第一部分141；和從第一部分141向鉛垂方向延伸突出的第二部分142。此外，這些第一部分141及第二部分142形成為一體。另外，在從圖9的紙面外側(cè)觀察(與后述的第三轉(zhuǎn)動軸o3及第四轉(zhuǎn)動軸o4這兩者正交的主視角度觀察)時(shí)，第一部分141與第二部分142幾乎正交(交叉)。第四臂15連接于第三臂14的與連接有第二臂13的端部相反的端部。第四臂15具有相互對置的一對支承部151、152。支承部151、152使用于與第五臂16的連接。第五臂16位于支承部151、152之間，并通過與支承部151、152連接來與第四臂15連結(jié)。此外，第四臂15并不限定于該結(jié)構(gòu)，例如，支承部也可以是一個(gè)(懸臂)。第六臂17形成平板狀，與第五臂16的末端部連接。另外，在第六臂17的末端部(與第五臂16相反的一側(cè)的端部)以能夠拆裝的方式安裝有手91。作為手91，并不特別限定，例如，能夠列舉具有多根指部(手指)的構(gòu)成。此外，上述各臂12～17的外裝(構(gòu)成外形的部件)也可以分別由一個(gè)部件構(gòu)成，也可以分別由多個(gè)部件構(gòu)成。接下來，參照圖10，與臂12～17的驅(qū)動一起對驅(qū)動源401～406進(jìn)行說明。如圖10所示，基座11與第一臂12經(jīng)由關(guān)節(jié)(連接部分)171連結(jié)。此外，關(guān)節(jié)171也可以包含于基座11，另外，也可以不包含于基座11。關(guān)節(jié)171具有以能夠相對于基座11轉(zhuǎn)動的方式對與基座11連結(jié)的第一臂12進(jìn)行支承的機(jī)構(gòu)。由此，第一臂12能夠以與鉛垂方向平行的第一轉(zhuǎn)動軸o1(第n轉(zhuǎn)動軸)為中心(繞第一轉(zhuǎn)動軸o1)相對于基座11轉(zhuǎn)動。另外，第一轉(zhuǎn)動軸o1是處于機(jī)器人1的最上游側(cè)的轉(zhuǎn)動軸。繞該第一轉(zhuǎn)動軸o1的轉(zhuǎn)動是通過具有馬達(dá)401m的第一驅(qū)動源401的驅(qū)動來進(jìn)行的。另外，馬達(dá)401m經(jīng)由電纜(未圖示)與馬達(dá)驅(qū)動器301電連接，并經(jīng)由馬達(dá)驅(qū)動器301被控制部(未圖示)控制。此外，第一驅(qū)動源401也可以構(gòu)成為通過與馬達(dá)401m一起設(shè)置的減速機(jī)(未圖示)傳遞來自馬達(dá)401m的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機(jī)。另外，第一臂12與第二臂13經(jīng)由關(guān)節(jié)(連接部分)172連結(jié)。關(guān)節(jié)172具有以能夠使相互連結(jié)的第一臂12和第二臂13中的一個(gè)臂相對于另一個(gè)臂轉(zhuǎn)動的方式對它們進(jìn)行支承的機(jī)構(gòu)。由此，第二臂13能夠以與水平方向平行的第二轉(zhuǎn)動軸o2(第(n+1)轉(zhuǎn)動軸)為中心(繞第二轉(zhuǎn)動軸o2)相對于第一臂12轉(zhuǎn)動。第二轉(zhuǎn)動軸o2與第一轉(zhuǎn)動軸o1正交。繞該第二轉(zhuǎn)動軸o2的轉(zhuǎn)動是通過具有馬達(dá)402m的第二驅(qū)動源402的驅(qū)動來進(jìn)行的。另外，馬達(dá)402m經(jīng)由電纜(未圖示)與馬達(dá)驅(qū)動器302電連接，并經(jīng)由馬達(dá)驅(qū)動器302被控制部(未圖示)控制。此外，第二驅(qū)動源402也可以構(gòu)成為通過與馬達(dá)402m一起設(shè)置的減速機(jī)(未圖示)傳遞來自馬達(dá)402m的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機(jī)。另外，第二轉(zhuǎn)動軸o2也可以與和第一轉(zhuǎn)動軸o1正交的軸線平行，另外，第二轉(zhuǎn)動軸o2也可以不與第一轉(zhuǎn)動軸o1正交，只要軸向互不相同即可。另外，第二臂13與第三臂14經(jīng)由關(guān)節(jié)(連接部分)173連結(jié)。關(guān)節(jié)173具有以能夠使相互連結(jié)的第二臂13和第三臂14中的一個(gè)臂相對于另一個(gè)臂轉(zhuǎn)動的方式對它們進(jìn)行支承的機(jī)構(gòu)。由此，第三臂14能夠以與水平方向平行的第三轉(zhuǎn)動軸o3為中心(繞第三轉(zhuǎn)動軸o3)相對于第二臂13轉(zhuǎn)動。第三轉(zhuǎn)動軸o3與第二轉(zhuǎn)動軸o2平行。繞該第三轉(zhuǎn)動軸o3的轉(zhuǎn)動是通過具有馬達(dá)403m的第三驅(qū)動源403的驅(qū)動來進(jìn)行的。另外，馬達(dá)403m經(jīng)由電纜(未圖示)與馬達(dá)驅(qū)動器303電連接，并經(jīng)由馬達(dá)驅(qū)動器303被控制部(未圖示)控制。此外，第三驅(qū)動源403也可以構(gòu)成為通過與馬達(dá)403m一起設(shè)置的減速機(jī)(未圖示)傳遞來自馬達(dá)403m的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機(jī)。另外，第三臂14與第四臂15經(jīng)由關(guān)節(jié)(連接部分)174連結(jié)。關(guān)節(jié)174具有以能夠使相互連結(jié)的第三臂14和第四臂15中的一個(gè)臂相對于另一個(gè)臂轉(zhuǎn)動的方式對它們進(jìn)行支承的機(jī)構(gòu)。由此，第四臂15能夠以與第三臂14的中心軸向平行的第四轉(zhuǎn)動軸o4為中心(繞第四轉(zhuǎn)動軸o4)相對于第三臂14轉(zhuǎn)動。第四轉(zhuǎn)動軸o4與第三轉(zhuǎn)動軸o3正交。繞該第四轉(zhuǎn)動軸o4的轉(zhuǎn)動是通過具有馬達(dá)404m的第四驅(qū)動源404的驅(qū)動來進(jìn)行的。另外，馬達(dá)404m經(jīng)由電纜(未圖示)與馬達(dá)驅(qū)動器304電連接，并經(jīng)由馬達(dá)驅(qū)動器304被控制部(未圖示)控制。此外，第四驅(qū)動源404也可以構(gòu)成為通過與馬達(dá)404m一起設(shè)置的減速機(jī)(未圖示)傳遞來自馬達(dá)404m的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機(jī)。另外，第四轉(zhuǎn)動軸o4也可以與和第三轉(zhuǎn)動軸o3正交的軸線平行，另外，第四轉(zhuǎn)動軸o4也可以不與第三轉(zhuǎn)動軸o3正交，只要軸向互不相同即可。另外，第四臂15與第五臂16經(jīng)由關(guān)節(jié)(連接部分)175連結(jié)。關(guān)節(jié)175具有以能夠使相互連結(jié)的第四臂15和第五臂16的一個(gè)臂相對于另一個(gè)臂轉(zhuǎn)動的方式對它們進(jìn)行支承的機(jī)構(gòu)。由此，第五臂16能夠以與第四臂15的中心軸向正交的第五轉(zhuǎn)動軸o5為中心(繞第五轉(zhuǎn)動軸o5)相對于第四臂15轉(zhuǎn)動。第五轉(zhuǎn)動軸o5與第四轉(zhuǎn)動軸o4正交。繞該第五轉(zhuǎn)動軸o5的轉(zhuǎn)動是通過具有馬達(dá)405m的第五驅(qū)動源405的驅(qū)動來進(jìn)行的。另外，馬達(dá)405m經(jīng)由電纜(未圖示)與馬達(dá)驅(qū)動器305電連接，并經(jīng)由馬達(dá)驅(qū)動器305被控制部(未圖示)控制。此外，第五驅(qū)動源405也可以構(gòu)成為通過與馬達(dá)405m一起設(shè)置的減速機(jī)(未圖示)傳遞來自馬達(dá)405m的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機(jī)。另外，第五轉(zhuǎn)動軸o5也可以與和第四轉(zhuǎn)動軸o4正交的軸線平行，另外，第五轉(zhuǎn)動軸o5也可以不與第四轉(zhuǎn)動軸o4正交，只要軸向互不相同即可。另外，第五臂16和第六臂17經(jīng)由關(guān)節(jié)(連接部分)176連結(jié)。關(guān)節(jié)176具有以能夠使相互連結(jié)的第五臂16和第六臂17的一個(gè)臂相對于另一個(gè)臂轉(zhuǎn)動的方式對它們進(jìn)行支承的機(jī)構(gòu)。由此，第六臂17能夠以第六轉(zhuǎn)動軸o6為中心(繞第六轉(zhuǎn)動軸o6)相對于第五臂16轉(zhuǎn)動。第六轉(zhuǎn)動軸o6與第五轉(zhuǎn)動軸o5正交。繞該第六轉(zhuǎn)動軸o6的轉(zhuǎn)動是通過具有馬達(dá)406m的第六驅(qū)動源406的驅(qū)動來進(jìn)行的。另外，馬達(dá)406m經(jīng)由電纜(未圖示)與馬達(dá)驅(qū)動器306電連接，并經(jīng)由馬達(dá)驅(qū)動器306被控制部(未圖示)控制。此外，第六驅(qū)動源406也可以構(gòu)成為通過與馬達(dá)406m一起設(shè)置的減速機(jī)(未圖示)傳遞來自馬達(dá)406m的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機(jī)。另外，第六轉(zhuǎn)動軸o6也可以與和第四轉(zhuǎn)動軸o4正交的軸線平行，另外，第六轉(zhuǎn)動軸o6也可以與和第五轉(zhuǎn)動軸o5正交的軸線平行，另外，第六轉(zhuǎn)動軸o6也可以不與第五轉(zhuǎn)動軸o5正交，只要軸向互不相同即可。而且，進(jìn)行這樣的驅(qū)動的機(jī)器人1能夠利用與第六臂17的末端部連接的手91把持著精密設(shè)備、部件等，并通過控制各臂12～17等的動作，進(jìn)行該精密設(shè)備、部件的輸送等各作業(yè)。此外，手91的驅(qū)動被控制部(未圖示)控制。以上，對機(jī)器人1的基本的構(gòu)成進(jìn)行了簡單說明。這樣的構(gòu)成的機(jī)器人1如上述那樣，是具有六個(gè)(多個(gè))臂12～17的鉛垂多關(guān)節(jié)機(jī)器人，所以驅(qū)動范圍較廣，能夠發(fā)揮較高的操作性。另外，該機(jī)器人1如上述那樣，第一臂12的基端側(cè)安裝于基座11，由此，能夠使各臂12～17相對于基座11轉(zhuǎn)動。而且，在本實(shí)施方式中，機(jī)器人1是基座11安裝于天花板101的吊頂型，作為基座11與第一臂12的連接部分的關(guān)節(jié)171與作為第一臂12比第二臂13的連接部分的關(guān)節(jié)172靠鉛垂方向上方。因此，能夠進(jìn)一步擴(kuò)大比機(jī)器人1靠鉛垂下方側(cè)的機(jī)器人1的作業(yè)范圍。接下來，參照圖11、圖12、圖13a～圖13e、圖14以及圖15，對各臂12～17的關(guān)系進(jìn)行說明。圖11是圖1所示的機(jī)器人的第一臂、第二臂以及第三臂不重合的狀態(tài)的示意側(cè)視圖。圖12是圖1所示的機(jī)器人的第一臂、第二臂以及第三臂重合的狀態(tài)的示意側(cè)視圖。圖13a～圖13e是用于說明圖1所示的機(jī)器人的動作的圖。圖14是表示圖13a～圖13e所示的機(jī)器人的動作中的手的移動路徑的圖。圖15是用于說明圖1所示的機(jī)器人具有的臂的長度、配置方式的圖。此外，在以下的說明中，對于第三臂14、第四臂15、第五臂16以及第六臂17，考慮使它們筆直地延伸的狀態(tài)，換句話說，如圖11以及圖12所示，第四轉(zhuǎn)動軸o4與第六轉(zhuǎn)動軸o6一致、或者平行的狀態(tài)。首先，如圖11所示，第一臂12的長度l1設(shè)定為比第二臂13的長度l2長。這里，第一臂12的長度l1是，從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)，第二轉(zhuǎn)動軸o2與安裝面102之間的距離。另外，第二臂13的長度l2是，從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)，第二轉(zhuǎn)動軸o2與第三轉(zhuǎn)動軸o3之間的距離。此外，也可以是，將第一臂12的長度l1取作，從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)，第二轉(zhuǎn)動軸o2與以使第一臂12能夠轉(zhuǎn)動的方式支承第一臂12的軸承部61(關(guān)節(jié)171具有的部件)的在圖11中的左右方向延伸的中心線611之間的距離。另外，也可以是，將第一臂12的長度l1取作，從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)，第一臂12的末端面(與軸承部61相反的一側(cè)的端面)與安裝面102之間的距離，另外，將第二臂13的長度l2取作，從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)，第二臂13的末端面與第二臂13的基端面之間的距離獲取。另外，如圖11及圖12所示，機(jī)器人1構(gòu)成為，在從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)，能夠使第一臂12與第二臂13所成的角度θ為0°。即，機(jī)器人1構(gòu)成為，在第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)，第一臂12與第二臂13能夠重合。而且，在從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)，第一臂12與第二臂13重合的狀態(tài)(以下，稱為“狀態(tài)a”)下，在第一臂12與第二臂13之間設(shè)有規(guī)定的間隔。即，機(jī)器人1構(gòu)成為在狀態(tài)a下，第二臂13不干擾第一臂12。特別是，如上述那樣，第一臂12的長度l1設(shè)定為比第二臂13的長度l2長，所以在狀態(tài)a下，能夠在第二臂13與第一部分121之間設(shè)置規(guī)定的空間。因此，能夠避免第二臂13干擾第一部分121，并成為狀態(tài)a。這里，上述第一臂12與第二臂13所成的角度θ是，從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)，通過第二轉(zhuǎn)動軸o2和第三轉(zhuǎn)動軸o3的直線621(從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察的情況下的第二臂13的中心軸)與第一轉(zhuǎn)動軸o1所成的角度(參照圖11)。另外，如圖12所示，機(jī)器人1構(gòu)成為，在從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)，第二臂13與第三臂14能夠重合。而且，在從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)，第二臂13與第三臂14重合的狀態(tài)(以下，稱為“狀態(tài)b”)下，在第二臂13與第三臂14之間設(shè)有規(guī)定的間隔。即，機(jī)器人1構(gòu)成為在狀態(tài)b下，第二臂13與第三臂14不形成干擾。根據(jù)上述，如圖12所示，機(jī)器人1構(gòu)成為，在從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)，第一臂12、第二臂13、以及第三臂14能夠同時(shí)重合。在這樣從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)，第一臂12、第二臂13以及第三臂14重合的狀態(tài)(以下，稱為“狀態(tài)c(第一狀態(tài))”)下，從第一轉(zhuǎn)動軸o1觀察時(shí)，第一臂12的第一部分121與第二臂13以及第三臂14重合。而且，在第一臂12的第一部分121與第三臂14之間也設(shè)有規(guī)定的間隔。即，機(jī)器人1構(gòu)成為在狀態(tài)c中，第一臂12與第三臂14不形成干擾。另外，如圖11所示，第三臂14、第四臂15和第五臂16的總共的長度l3設(shè)定為比第二臂13的長度l2長。另外，第三臂14和第四臂15的總共長度r3也設(shè)定為比第二臂13的長度l2長。因此，如圖12所示，在狀態(tài)c下，能夠使機(jī)器人臂10的末端比第二臂13向第二臂13的基端部下方突出。由此，如圖9所示，在狀態(tài)c時(shí)形成的第二臂13的與基座11相反的一側(cè)的區(qū)域(以下，也稱為“末端區(qū)域107”)，機(jī)器人臂10的末端以及手91能夠較廣地確保不會干擾第一臂12以及第二臂13地能夠動作的范圍。這里，第三臂14、第四臂15和第五臂16的總共的長度l3是，從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)，第三轉(zhuǎn)動軸o3與第五轉(zhuǎn)動軸o5之間的距離(參照圖12)。此外，也可以將長度l3作為從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)，第三臂14的基端面與第五臂16的末端面之間的距離獲取。該情況下，第三臂14、第四臂15以及第五臂16是，如圖12所示第四轉(zhuǎn)動軸o4與第六轉(zhuǎn)動軸o6一致或者平行的狀態(tài)。在具有這樣的機(jī)器人臂10的機(jī)器人1中，如上述那樣，從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)，第一臂12、第二臂13以及第三臂14能夠重合。因此，如圖13a～圖13e所示，通過不使第一臂12轉(zhuǎn)動，而使第二臂13、第三臂14轉(zhuǎn)動，能夠經(jīng)由從第二轉(zhuǎn)動軸o2的軸向觀察時(shí)第一臂12、第二臂13以及第三臂14重合的狀態(tài)，使機(jī)器人臂10的末端及手91繞第一轉(zhuǎn)動軸o1移動到錯開180°的位置。通過這樣的機(jī)器人臂10的驅(qū)動，如圖14所示，機(jī)器人1能夠不進(jìn)行使手91如箭頭62、63所示那樣移動的動作，而進(jìn)行使手91如箭頭64所示那樣移動的動作。即，機(jī)器人1在從第一轉(zhuǎn)動軸o1的軸向觀察時(shí)，能夠進(jìn)行使手91(機(jī)器人臂10的末端)在直線上移動的動作。由此，能夠減小用于使機(jī)器人1不形成干擾的空間。因此，能夠比以往減小用于設(shè)置機(jī)器人1的設(shè)置空間的面積s(設(shè)置面積)。具體而言，如圖14所示，能夠使機(jī)器人1的設(shè)置空間的寬度w比以往的設(shè)置空間的寬度wx小，例如，使設(shè)置空間的寬度w在寬度wx的80％以下。因此，能夠減小機(jī)器人1的寬度方向(生產(chǎn)線的方向)的運(yùn)轉(zhuǎn)區(qū)域。由此，能夠沿生產(chǎn)線在每個(gè)單位長度較多地配置機(jī)器人1，能夠縮短生產(chǎn)線。另外，同樣地，能夠使機(jī)器人1的設(shè)置空間的高度(鉛垂方向的長度)比以往的高度低，具體而言，例如能夠使其在以往的高度的80％以下。另外，能夠進(jìn)行使手91如箭頭64所示那樣移動的動作，所以在使手91繞第一轉(zhuǎn)動軸o1移動到錯開180°的位置時(shí)，例如，能夠不使第一臂12轉(zhuǎn)動，或者，減小第一臂12的轉(zhuǎn)動角(轉(zhuǎn)動量)。通過減小第一臂12的繞第一轉(zhuǎn)動軸o1的轉(zhuǎn)動角，從第一轉(zhuǎn)動軸o1的軸向觀察時(shí)，能夠減小具有比基座11向外側(cè)突出的部分(第二部分122及第三部分123)的第一臂12的轉(zhuǎn)動，所以能夠減少與機(jī)器人1的周邊設(shè)備的干擾。另外，由于能夠進(jìn)行使手91如箭頭64所示那樣移動的動作，所以能夠減少機(jī)器人1的活動，因此，能夠高效地驅(qū)動機(jī)器人1。因此，能夠縮短生產(chǎn)間隔時(shí)間，能夠使作業(yè)效率提高。另外，由于能夠使機(jī)器人臂10的末端在直線上移動，所以容易把握機(jī)器人1的活動。這里，若如以往的機(jī)器人那樣簡單地使第一臂12繞第一轉(zhuǎn)動軸o1轉(zhuǎn)動來執(zhí)行上述那樣的使機(jī)器人1的手91(機(jī)器人臂10的末端)繞第一轉(zhuǎn)動軸o1移動到錯開180°的位置的動作，則有機(jī)器人1干擾周邊裝置的潛在可能，所以需要對機(jī)器人1示教用于避免該干擾的退避點(diǎn)。例如，在若僅使第一臂12繞第一轉(zhuǎn)動軸o1旋轉(zhuǎn)90°，則機(jī)器人1也干擾周邊裝置的情況下，為了不干擾周邊裝置，需要對機(jī)器人1示教許多的退避點(diǎn)。這樣在以往的機(jī)器人中，需要對許多的退避點(diǎn)進(jìn)行示教，需要龐大的數(shù)目的退避點(diǎn)，示教需要許多的功夫以及較長的時(shí)間。與此相對，在機(jī)器人1中，在執(zhí)行使手91繞第一轉(zhuǎn)動軸o1移動到錯開180°的位置的動作的情況下，存在干擾的潛在可能的區(qū)域、部分非常少，所以能夠減少示教的退避點(diǎn)的數(shù)目，能夠減少示教所需要的功夫以及時(shí)間。即，在機(jī)器人1中，示教的退避點(diǎn)的數(shù)目例如，為以往的機(jī)器人的1/3左右，示教顯著地變得容易。另外，在機(jī)器人1中，第三臂14及第四臂15的在圖9中的右側(cè)的被雙點(diǎn)劃線包圍的區(qū)域(部分)105是機(jī)器人1不干擾機(jī)器人1自身及其它的部件、或者不容易形成干擾的區(qū)域(部分)。因此，在上述區(qū)域105安裝規(guī)定的部件的情況下，該部件不容易干擾機(jī)器人1及周邊裝置等。因此，在機(jī)器人1中，能夠在區(qū)域105安裝規(guī)定的部件。特別是，在區(qū)域105中第三臂14的位于圖9中的右側(cè)的區(qū)域安裝上述規(guī)定的部件的情況下，該部件與周邊裝置(未圖示)干擾的概率進(jìn)一步降低，所以更為有效。另外，在機(jī)器人1中，在天花板101與第一臂12之間，圖9中的左側(cè)的被雙點(diǎn)劃線包圍的區(qū)域(部分)106也與上述的區(qū)域105相同，是機(jī)器人1不干擾機(jī)器人1自身及其它的部件、或者不容易形成干擾的區(qū)域(部分)。該區(qū)域106的形成是因?yàn)榈谝槐?2具有第三部分123的構(gòu)成。作為能夠安裝于上述區(qū)域105的部件，例如，能夠列舉手、控制手眼相機(jī)等傳感器的驅(qū)動的控制裝置、以及吸附機(jī)構(gòu)的電磁閥等。作為具體例，例如，在手上設(shè)置吸附機(jī)構(gòu)的情況下，若在區(qū)域105設(shè)置電磁閥等，則在驅(qū)動機(jī)器人1時(shí)，上述電磁閥不會成為妨礙。這樣，區(qū)域105的便利性較高。另外，如圖15所示，在機(jī)器人1中，能夠使手91位于第二臂13的下方。具體而言，如圖15所示，在狀態(tài)c下，在從第一轉(zhuǎn)動軸o1的軸向觀察時(shí)，能夠成為手91與第二臂13重合的狀態(tài)(以下，稱為“狀態(tài)d(第二狀態(tài))”)。根據(jù)這樣的機(jī)器人1，能夠擴(kuò)大機(jī)器人臂10的末端及手91能夠動作的范圍。另外，如圖15所示，機(jī)器人1在狀態(tài)d下，第六轉(zhuǎn)動軸o6與第一轉(zhuǎn)動軸o1能夠正交。因此，能夠進(jìn)一步擴(kuò)大的機(jī)器人臂10的末端以及手91在末端區(qū)域107處能夠動作的范圍。另外，優(yōu)選在將第一轉(zhuǎn)動軸o1與第六轉(zhuǎn)動軸o6正交時(shí)的、手91與第二臂13之間的距離(最短距離)設(shè)為y時(shí)，滿足下述式(1)，更優(yōu)選滿足下述式(2)。3[mm]≤y···(1)5[mm]≤y···(2)通過滿足上述式(1)，能夠較大地確保機(jī)器人臂10的末端以及手91在末端區(qū)域107中，能夠不干擾第一臂12及第二臂13地進(jìn)行動作的范圍。另外，通過滿足上述式(2)，即使手91、由手91把持的工件(未圖示)是比較大的構(gòu)成，也能夠較大地確保機(jī)器人臂10的末端及手91能夠不干擾第一臂12及第二臂13地進(jìn)行動作的范圍。另外，例如，即使在第五臂16及第六臂17的外部設(shè)置與手91連接的布線及配管等(未圖示)的情況下，由于距離y滿足上述關(guān)系，所以也能夠避免上述布線及配管等干擾第一臂12及第二臂13，減少末端區(qū)域107的手91的動作范圍顯著地受限這種情況。并且，更優(yōu)選在狀態(tài)d下，距離y滿足下述式(3)。y≤(r3/2)···(3)由此，能夠防止第三臂14及第四臂15的總共長度r3過長引起的機(jī)器人臂10的大型化，并擴(kuò)大機(jī)器人臂10的末端在末端區(qū)域107處的動作范圍。另外，如上述那樣，在機(jī)器人1中，長度l3設(shè)定為比第二臂13的長度l2長，但特別是，優(yōu)選長度l3在長度l2的兩倍以上。由此，在狀態(tài)c下，能夠使機(jī)器人臂10的末端比第二臂13充分地向末端區(qū)域107側(cè)突出。因此，即使手91、工件為比較大的構(gòu)成，也能夠較大地確保機(jī)器人臂10的末端及手91能夠不干擾第一臂12及第二臂13地進(jìn)行動作的范圍。滿足上述那樣的關(guān)系的機(jī)器人1的各部的尺寸的一個(gè)例子如以下的表1、表2所示。表1例如表示與手91連接的布線及配管等設(shè)置于機(jī)器人臂10的內(nèi)部的情況下的、機(jī)器人1的各部的尺寸的一個(gè)例子。另外，表2例如表示與手91連接的布線以及配管等設(shè)置于機(jī)器人臂10外部的情況下的、機(jī)器人1的各部的尺寸的一個(gè)例子?！颈?】臂長l(l2+l3)[mm]3003504004505006007009001000長度l2[mm]100120135160185228278378428長度l3[mm]200230260290315372422522572寬度rj2[mm]100100110110110140140140140手直徑h[mm]8098126140140140140140140最大長度r1230230230230255323373473523距離p15678911141921距離y555554445【表2】臂長l(l2+l3)[mm]3003504004505006007009001000長度l2[mm]90120140160185228278378428長度l3[mm]210230260290315372422522572寬度rj2[mm]303050505070707070手直徑h[mm]190189166184182186180170166最大長度r1230230230252255323373473523距離p15678911141921距離y555555555表1及表2中的“臂長l”表示長度l2與長度l3的合計(jì)。另外，表1及表2中的“寬度rj2”如圖15所示地表示第二連接部1221的寬度，“rj2/2”表示寬度rj2的一半的長度。另外，表1及表2中的“手直徑h”如圖15所示地表示手91的最大寬度。另外，表1及表2中的“最大長度r1”表示，從第一轉(zhuǎn)動軸o1的軸向觀察時(shí)，第一臂12距離第一轉(zhuǎn)動軸o1的最大長度。另外，表1及表2中的“距離p1”表示第一臂12與第二臂13的與第二轉(zhuǎn)動軸o2相反的一側(cè)的端(末端)之間的距離p1(最短距離)，在本實(shí)施方式中，距離p1是第三部分123與第二臂13之間的最短距離。第二實(shí)施方式接下來，對本發(fā)明的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖16是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人的立體圖。圖17是表示在圖16所示的機(jī)器人安裝了板部件的狀態(tài)的立體圖。圖18、圖19及圖20分別是用于說明圖16所示的機(jī)器人的機(jī)械校準(zhǔn)的示意側(cè)視圖。本實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人除了在具備設(shè)于機(jī)器人臂的安裝部上形成差異之外，都與上述的第一實(shí)施方式相同。此外，在以下的說明中，關(guān)于第二實(shí)施方式，圍繞與上述的實(shí)施方式的區(qū)別進(jìn)行說明，關(guān)于相同的事項(xiàng)省略其說明。另外，在圖16～圖20中，對于與上述的第一實(shí)施方式相同的構(gòu)成，標(biāo)注相同附圖標(biāo)記。在圖16所示的機(jī)器人1a所具有的機(jī)器人臂10a具有為了在機(jī)器人臂10a安裝板部件40所使用的安裝機(jī)構(gòu)3。該安裝機(jī)構(gòu)3與圖17所示的板部件40一起，例如，在各轉(zhuǎn)動軸(第一轉(zhuǎn)動軸o1、第二轉(zhuǎn)動軸o2、第三轉(zhuǎn)動軸o3、第四轉(zhuǎn)動軸o4、第五轉(zhuǎn)動軸o5以及第六轉(zhuǎn)動軸o6)的原點(diǎn)(各編碼器的原點(diǎn))的設(shè)定，所謂的機(jī)械校準(zhǔn)時(shí)使用。如圖16所示，安裝機(jī)構(gòu)3具有設(shè)于基座11的法蘭盤111的安裝部30、設(shè)于機(jī)器人臂10a的安裝部31、32、33、34、以及以能夠拆裝的方式安裝于機(jī)器人臂10a的安裝部35、36。安裝部30是貫通法蘭盤111的下表面和上表面的貫通孔。此外，在本實(shí)施方式中，雖然安裝部30是貫通孔，但例如，也可以是在法蘭盤111的側(cè)面和下表面敞口的凹部。安裝部31是形成在第一臂12的上表面的孔(凹部)，設(shè)在馬達(dá)401m的附近。在這些安裝部30、31能夠插入圖17所示的棒狀部件41。安裝部32設(shè)在第一臂12的第一部分121的側(cè)面(從圖16的箭頭x方向觀察的正面)，位于馬達(dá)401m的附近。在本實(shí)施方式中，安裝部32形成為兩個(gè)。另外，安裝部33設(shè)于第一臂12的第二部分122的側(cè)面(從圖16的箭頭x方向觀察的正面)，位于馬達(dá)402m的附近。這兩個(gè)安裝部32及安裝部33分別由從第一臂12的側(cè)面突出的凸部、和形成在凸部的孔(內(nèi)螺紋)構(gòu)成。另外，安裝部34設(shè)于第二臂13的末端部的側(cè)面，位于馬達(dá)403m的附近。該安裝部34由從第二臂13的側(cè)面突出的凸部、和形成在凸部的孔(內(nèi)螺紋)構(gòu)成。安裝部35是具有兩個(gè)凸部351的板狀的部件。安裝部35以兩個(gè)凸部351從第四臂15的側(cè)面(從圖16的箭頭x方向觀察的正面)突出的方式安裝于第四臂15，設(shè)在馬達(dá)404m及馬達(dá)405m的附近。另外，在凸部351形成有孔(內(nèi)螺紋)。安裝部36也與安裝部35相同，是具有兩個(gè)凸部361的板狀的部件。安裝部36以兩個(gè)凸部361從第五臂16的側(cè)面(從圖16的箭頭x方向觀察的正面)突出的方式安裝于第六臂17，并設(shè)在馬達(dá)406m的附近。另外，在凸部361形成有孔(內(nèi)螺紋)。若在具有這樣的構(gòu)成的安裝機(jī)構(gòu)3的機(jī)器人1a安裝板部件40，則成為圖17所示那樣的狀態(tài)。板部件40例如是機(jī)械校準(zhǔn)時(shí)使用的基準(zhǔn)板，是能夠以能夠拆裝的方式安裝于機(jī)器人臂10a的部件。在板部件40具有在其厚度方向貫通的多個(gè)孔42、43、44、45、46。孔42在本實(shí)施方式中形成兩個(gè)，兩個(gè)孔42的形狀及配置分別與安裝部32對應(yīng)。同樣地，孔43與安裝部33對應(yīng)，孔44與安裝部34對應(yīng)。另外，同樣地，孔45在本實(shí)施方式中形成兩個(gè)，兩個(gè)孔45與凸部351對應(yīng)。另外，同樣地，孔46在本實(shí)施方式中形成兩個(gè)，兩個(gè)孔46與凸部361對應(yīng)。另外，雖然板部件40例如也可以不透明，但優(yōu)選透明，即、具有透光性。由此，能夠經(jīng)由板部件40視覺確認(rèn)機(jī)器人1a。以下，對機(jī)械校準(zhǔn)的一個(gè)例子進(jìn)行說明。此外，該機(jī)械校準(zhǔn)在停止各臂12～17的制動器的驅(qū)動的狀態(tài)下進(jìn)行。首先，將棒狀部件41的一端插入安裝部30，將另一端插入安裝部31。由此，第一臂12被相對于基座11定位。接下來，如圖18所示，在設(shè)于第一臂12的安裝部32、33安裝板部件40。此時(shí)，使孔42與安裝部32對應(yīng)，并使孔43與安裝部33對應(yīng)來配置板部件40。另外，板部件40的安裝通過使外螺紋件421插入孔42和安裝部32的孔并螺紋配合，使外螺紋件431插入孔43和安裝部33的孔并螺紋配合(螺紋固定)來進(jìn)行。此外，在該安裝部32、33安裝板部件40時(shí)，如圖18所示，將第二臂13的末端部配置在不與板部件40抵接的位置。接下來，如圖19所示，使第二臂13繞第二轉(zhuǎn)動軸o2轉(zhuǎn)動，使設(shè)于第二臂13的末端部的安裝部34與板部件40抵接。接下來，在安裝部34安裝板部件40。此時(shí)，使孔44與安裝部34對應(yīng)來配置板部件40。另外，板部件40的安裝通過使用了外螺紋件441的螺紋固定來進(jìn)行。此外，在該安裝部34安裝板部件40時(shí)，如圖19所示，將第三臂14的基端部、第四臂15、第五臂16以及第六臂17配置在不與板部件40抵接的位置。接下來，如圖20所示，使第三臂14繞第三轉(zhuǎn)動軸o3轉(zhuǎn)動，并且，使第四臂15繞第四轉(zhuǎn)動軸o4轉(zhuǎn)動，使安裝于第四臂15的安裝部35與板部件40抵接。接下來，在安裝部35安裝板部件40。此時(shí)，使孔45與安裝部35具有的凸部351對應(yīng)來配置板部件40。另外，板部件40的安裝通過使用了外螺紋件451的螺紋固定來進(jìn)行。此外，在該安裝部35安裝板部件40時(shí)，如圖20所示，將第六臂17配置在不與板部件40抵接的位置。接下來，使第五臂16繞第五轉(zhuǎn)動軸o5轉(zhuǎn)動，并且，使第六臂17繞第六轉(zhuǎn)動軸o6轉(zhuǎn)動，使安裝于第六臂17的安裝部36與板部件40抵接。接下來，在安裝部36安裝板部件40。此時(shí)，使孔46與安裝部36具有的凸部361對應(yīng)來配置板部件40。另外，板部件40的安裝通過使用了外螺紋件461的螺紋固定來進(jìn)行。這樣，使各臂12～16依次與板部件40抵接。由此，如圖17所示，在機(jī)器人臂10a安裝板部件40。接下來，設(shè)定馬達(dá)401m、402m、403m、404m、405m以及406m的各編碼器的原點(diǎn)(0點(diǎn))。由此，設(shè)定各轉(zhuǎn)動軸的原點(diǎn)。此外，若結(jié)束了設(shè)定各編碼器的原點(diǎn)(0點(diǎn))，則從機(jī)器人1a拆下板部件40以及安裝部35、36。如以上那樣進(jìn)行了操作，則機(jī)器人1a的機(jī)械校準(zhǔn)結(jié)束。如上述，機(jī)器人臂10a具有能夠安裝板部件的安裝部32～36，從而能夠?qū)⒏鬓D(zhuǎn)動軸的原點(diǎn)(各編碼器的原點(diǎn))的設(shè)定所使用的板部件40安裝于機(jī)器人臂10a。特別是，由于安裝部32～36是具備孔(內(nèi)螺紋)的構(gòu)成，所以能夠利用螺紋固定這樣的比較簡單的方法安裝板部件40。另外，通過使一個(gè)板部件40與機(jī)器人臂10a抵接，能夠進(jìn)行機(jī)械校準(zhǔn)，所以能夠提高校準(zhǔn)的精度。另外，如上述，若板部件40是具有透光性的部件，則在機(jī)械校準(zhǔn)時(shí)，容易把握多個(gè)孔42、43、44、45、46和分別與它們對應(yīng)的安裝部32、33、34、35、36的位置關(guān)系。因此，能夠容易地進(jìn)行板部件40向機(jī)器人臂10a的安裝，因此，能夠迅速地進(jìn)行機(jī)械校準(zhǔn)。根據(jù)這樣的機(jī)器人1a，也能夠縮小用于使機(jī)器人1a不形成干擾的空間。第三實(shí)施方式機(jī)器人系統(tǒng)圖21是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)的立體圖。圖22是圖21所示的機(jī)器人的示意主視圖。圖23是圖21所示的機(jī)器人的示意圖。此外，以下，為了方便說明，將圖21及圖22中的上側(cè)稱為“上”或者“上方”，將下側(cè)稱為“下”或者“下方”。另外，將圖21及圖22中的基座側(cè)稱為“基端”或者“上游”，將其相反的一側(cè)(手側(cè))稱為“末端”或者“下游”。另外，在圖21中，為了方便說明，以箭頭圖示作為相互正交的三個(gè)軸的x軸、y軸以及z軸，將該箭頭的末端側(cè)作為“+(正)”，將基端側(cè)作為“－(負(fù))”。另外，以下，將與x軸平行的方向稱為“x軸方向”，將與y軸平行的方向稱為“y軸方向”，并將與z軸平行的方向稱為“z軸方向”。另外，包含x軸和y軸的xy平面水平，z軸鉛垂。這里，在本申請說明書所說的“水平”并不限定于完全的水平，也包括相對于水平在5°以下的范圍內(nèi)傾斜的情況。另外，在本申請說明書所說的“鉛垂”并不限定于完全地鉛垂，也包括相對于鉛垂在5°以下的范圍內(nèi)傾斜的情況。圖21所示的機(jī)器人系統(tǒng)100例如是能夠在檢查電子部件及電子設(shè)備等對象物的檢查工序等使用，進(jìn)行對象物的檢查的裝置。電子部件是各種電子設(shè)備所使用的部件，例如，能夠列舉二極管、晶體管等有源部件、電容器等無源部件、封裝件、基板等功能部件、以及由它們組合而成的部件(例如，gps(globalpositioningsystem：全球定位系統(tǒng))模塊基板、sip(systeminpackage：系統(tǒng)級封裝)設(shè)備)等。另外，作為電子設(shè)備，例如，能夠列舉個(gè)人計(jì)算機(jī)、移動電話(包括多功能型移動電話(智能手機(jī)))、鐘表(例如，帶gps功能的鐘表等)、照相機(jī)、游戲機(jī)等。另外，作為對象物的檢查，例如，能夠列舉聲音檢查、圖像檢查、導(dǎo)通檢查(電檢查)、通信檢查、外觀檢查、確認(rèn)振動器、傳感器等的各部的驅(qū)動狀態(tài)的功能檢查等。如圖21所示，機(jī)器人系統(tǒng)100具有基座部件21、罩部件22(安全罩)、供給裝置1003(作業(yè)裝置)、檢查裝置4、機(jī)器人1001、以及移動機(jī)構(gòu)5。在本實(shí)施方式的機(jī)器人系統(tǒng)100中，供給裝置1003、機(jī)器人1001以及檢查裝置4依次從+x軸方向側(cè)朝向－x軸方向側(cè)排列。另外，移動機(jī)構(gòu)5設(shè)在機(jī)器人1001與基座部件21之間，并從下方支承機(jī)器人1001。以下，依次對機(jī)器人系統(tǒng)100具有的各部進(jìn)行說明?；罢植考考?1支承供給裝置1003、檢查裝置4、機(jī)器人1001以及移動機(jī)構(gòu)5，罩部件22具有保護(hù)供給裝置1003、檢查裝置4、機(jī)器人1001以及移動機(jī)構(gòu)5的功能。如圖21所示，在基座部件21的上表面設(shè)置有供給裝置1003、檢查裝置4、以及支承機(jī)器人1001的移動機(jī)構(gòu)5。而且，在基座部件21的上方，以覆蓋供給裝置1003、檢查裝置4、機(jī)器人1001以及移動機(jī)構(gòu)5的方式設(shè)置罩部件22。由此，在被基座部件21和罩部件22包圍而成的空間s1內(nèi)，收納供給裝置1003、檢查裝置4、機(jī)器人1001以及移動機(jī)構(gòu)5。此外，在圖21中，省略罩部件22的－y軸方向側(cè)的部分(面)進(jìn)行圖示。另外，雖然未圖示，但在罩部件22設(shè)有能夠接近供給裝置1003、檢查裝置4、機(jī)器人1001以及移動機(jī)構(gòu)5的門等。例如，在罩部件22的+x軸方向側(cè)設(shè)有能夠接近供給裝置1003的門等。供給裝置供給裝置1003例如是由作業(yè)者供給對象物的設(shè)備。另外，供給裝置1003也是預(yù)載置所供給的對象物的載置裝置，另外，供給部1031也作為收納對象物的收納設(shè)備發(fā)揮作用。如圖21所示，供給裝置1003具有沿y軸方向排列的多個(gè)(在本實(shí)施方式中為三個(gè))供給部1031(作業(yè)部)。多個(gè)供給部1031分別具有沿z軸方向?qū)盈B的多個(gè)供給板1032。能夠在該供給板1032上載置多個(gè)對象物，供給板1032的上表面作為載置多個(gè)對象物的載置面1321發(fā)揮作用。多個(gè)供給板1032能夠拆裝，作業(yè)者例如能夠從設(shè)于罩部件22的+x軸方向側(cè)的門(未圖示)將供給板1032設(shè)置在供給部1031內(nèi)、從供給部1031取出供給板1032。另外，在本實(shí)施方式中，在+y軸方向側(cè)的供給部1031設(shè)有工具交換裝置1033。工具交換裝置1033準(zhǔn)備后述的安裝于機(jī)器人1001的各種末端執(zhí)行器。以上，對供給裝置1003進(jìn)行了說明。此外，在本實(shí)施方式中，供給裝置1003設(shè)置和固定于基座部件21，但供給裝置1003例如也可以是具備能夠沿y軸方向移動的輸送機(jī)(未圖示)的構(gòu)成，供給裝置1003也可以構(gòu)成為能夠在空間s1內(nèi)外移動。檢查裝置檢查裝置4(載置裝置)是能夠載置對象物，并檢查所載置的對象物的設(shè)備。檢查裝置4具備檢查對象物的多個(gè)檢查部1041、和控制各檢查部1041的未圖示的檢查部控制裝置。檢查部控制裝置例如能夠由內(nèi)置了cpu(centralprocessingunit：中央處理器)的個(gè)人計(jì)算機(jī)(pc)等構(gòu)成。此外，檢查部控制裝置也可以內(nèi)置于檢查裝置4，另外，也可以與檢查裝置4獨(dú)立。如圖21所示，多個(gè)檢查部1041設(shè)置為沿y軸方向(水平方向中與機(jī)器人1001和檢查裝置4的排列方向不同的方向)和z軸方向排列的矩陣狀。即，具有沿z軸方向排列的多個(gè)(在本實(shí)施方式中為六個(gè))檢查部1041的檢查列1040，沿y軸方向排列多個(gè)(在本實(shí)施方式中為三個(gè))。這樣，對于檢查裝置4來說，多個(gè)檢查部1041不僅沿y軸方向(水平方向)排列，還沿z軸方向(鉛垂方向)層疊。因此，能夠使檢查裝置4的在檢查裝置4的xy平面上的設(shè)置面積減小與沿z軸方向?qū)盈B的檢查部1041的數(shù)目相應(yīng)的量。另外，多個(gè)檢查部1041分別具有在+x軸方向側(cè)開口的檢查室(凹部)，在檢查室內(nèi)設(shè)有載置板1042。載置板1042通過檢查部控制裝置的控制，而從檢查室內(nèi)向機(jī)器人1001側(cè)突出或者向檢查室內(nèi)退避。即，載置板1042能夠沿x軸方向移動。載置板1042的上表面是與xy平面平行，且能夠載置對象物的載置面1421。在載置面1421載置的對象物在載置板1042退避到檢查室內(nèi)的狀態(tài)下被檢查部1041檢查。在這樣的多個(gè)檢查部1041中，針對對象物分別進(jìn)行不同的內(nèi)容的檢查。即，在本實(shí)施方式的機(jī)器人系統(tǒng)100中，能夠?qū)ο笪镞M(jìn)行與檢查部1041的數(shù)目對應(yīng)的數(shù)目的多個(gè)檢查。以上，對檢查裝置4進(jìn)行了說明。此外，在本實(shí)施方式中，載置板1042是具有與xy平面平行的載置面1421的板狀的部件，但載置板1042的構(gòu)成只要是能夠支承或者載置對象物的構(gòu)成，則并不特別限定。例如，載置板1042也可以是通過夾持對象物來支承對象物的構(gòu)成。另外，在本實(shí)施方式中，檢查裝置4具有十八個(gè)檢查部1041，但檢查部1041的數(shù)目只要是多個(gè)即可，可以任意。另外，在本實(shí)施方式中，十八個(gè)檢查部1041配置為在z軸方向?yàn)榱?、在y軸方向?yàn)槿械木仃嚑?，但檢查部1041的行和列的各自的數(shù)目是任意的數(shù)目。另外，在本實(shí)施方式中，載置板1042構(gòu)成為通過檢查部控制裝置的控制移動，但例如也可以構(gòu)成為在檢查裝置4設(shè)置使載置板1042移動的手柄(未圖示)，并由作業(yè)者、機(jī)器人1001操作該手柄。機(jī)器人機(jī)器人1001能夠進(jìn)行對象物的供料、除料以及輸送等作業(yè)，例如，能夠從供給裝置1003選定對象物并進(jìn)行供料，將該對象物輸送到檢查裝置4，并將對象物載置到檢查裝置4。如圖22所示，機(jī)器人1001具有基座1011、和機(jī)器人臂1010。機(jī)器人臂1010具備第一臂1012(第n臂)、第二臂1013(第(n+1)臂)、第三臂1014、第四臂1015、第五臂1016以及第六臂1017(六個(gè)臂)。即，機(jī)器人1001是從基端側(cè)朝向末端側(cè)依次連結(jié)了基座1011、第一臂1012、第二臂1013、第三臂1014、第四臂1015、第五臂1016、以及第六臂1017的鉛垂多關(guān)節(jié)(六軸)機(jī)器人。在第六臂1017的末端，如圖21所示，能夠以能夠拆裝的方式安裝把持對象物的手1091等末端執(zhí)行器。另外，如圖22所示，機(jī)器人1001具備第一驅(qū)動源1401、第二驅(qū)動源1402、第三驅(qū)動源1403、第四驅(qū)動源1404、第五驅(qū)動源1405以及第六驅(qū)動源1406(六個(gè)驅(qū)動源)。另外，機(jī)器人1001具有設(shè)于機(jī)器人臂1010的末端部的拍攝部192及力檢測器193。另外，機(jī)器人1001具備控制機(jī)器人1001的各部分的工作的未圖示的機(jī)器人控制裝置(控制部)。該機(jī)器人控制裝置例如，能夠由內(nèi)置了cpu(centralprocessingunit：中央處理器)的個(gè)人計(jì)算機(jī)(pc)等構(gòu)成。此外，機(jī)器人控制裝置也可以內(nèi)置于機(jī)器人1001，另外，也可以與機(jī)器人1001獨(dú)立。此外，以下，也將第一臂1012、第二臂1013、第三臂1014、第四臂1015、第五臂1016以及第六臂1017分別稱為“臂”。另外，也將第一驅(qū)動源1401、第二驅(qū)動源1402、第三驅(qū)動源1403、第四驅(qū)動源1404、第五驅(qū)動源1405以及第六驅(qū)動源1406分別稱為“驅(qū)動源(驅(qū)動部)”。基座如圖22所示，基座1011是位于本實(shí)施方式那樣的所謂落地式鉛垂多關(guān)節(jié)機(jī)器人亦即機(jī)器人1001的最下方，并固定于移動機(jī)構(gòu)5的部分(被安裝的部件)。另外，在本實(shí)施方式中，基座1011具有設(shè)在其上部的板狀的法蘭盤1111。另外，在基座1011的下方設(shè)有連接各種布線等的連接器191(連接部)。機(jī)器人臂圖22所示的機(jī)器人臂1010以能夠轉(zhuǎn)動的方式支承于基座1011，臂1012～1017分別以能夠相對于基座1011獨(dú)立位移的方式被支承。第一臂1012形成彎曲或者彎折的形狀。第一臂1012具有：設(shè)于基座1011，并向水平方向(第一方向)延伸的第一部分1121；設(shè)于第二臂1013，并向鉛垂方向(與第一方向不同的第二方向)延伸的第二部分1122；以及位于第一部分1121與第二部分1122之間，并向相對于水平方向和鉛垂方向傾斜的方向(與第一方向以及第二方向不同的方向)延伸的第三部分1123。更具體而言，第一臂1012具有：與基座1011連接，并從基座1011向鉛垂方向上方延伸突出后向水平方向延伸突出的第一部分1121；從第一部分1121的與和基座1011連接的連接部相反的一側(cè)的端部向遠(yuǎn)離第一部分1121的方向傾斜并且向鉛垂方向上方延伸突出的第三部分1123；以及從第三部分1123的末端向鉛垂方向上方延伸突出的第二部分1122。此外，這些第一部分1121、第二部分1122以及第三部分1123形成為一體。另外，在從圖22的紙面近前觀察(與后述的第一轉(zhuǎn)動軸o11和第二轉(zhuǎn)動軸o12這兩者正交的主視角度觀察)時(shí)，第一部分1121與第二部分1122幾乎正交(交叉)。第二臂1013形成長條形狀，并與第一臂1012的末端部(第二部分1122的與第三部分1123相反的端部)連接。第三臂1014形成長條形狀，并與第二臂1013的與連接第一臂1012的端部相反的端部連接。第三臂1014具有：與第二臂1013連接，并從第二臂1013向水平方向延伸突出的第一部分1141、和從第一部分1141向鉛垂方向延伸突出的第二部分1142。此外，這些第一部分1141及第二部分1142形成為一體。另外，在從圖22的紙面近前觀察(與后述的第三轉(zhuǎn)動軸o13以及第四轉(zhuǎn)動軸o14這兩者正交的主視角度觀察)時(shí)，第一部分1141與第二部分1142幾乎正交(交叉)。第四臂1015與第三臂1014的與連接有第二臂1013的端部相反的端部連接。第四臂1015具有相互對置的一對支承部1151、1152。支承部1151、1152使用于與第五臂1016的連接。第五臂1016位于支承部1151、1152之間，并通過與支承部1151、1152連接來與第四臂1015連結(jié)。此外，第四臂1015并不限定于該結(jié)構(gòu)，例如，支承部也可以是一個(gè)(懸臂)。第六臂1017形成平板狀，并與第五臂1016的末端部連接。另外，在第六臂1017的末端部(與第五臂1016相反的一側(cè)的端部)以能夠拆裝的方式安裝有手1091(參照圖21)。如圖21所示，在本實(shí)施方式中，作為手1091，使用具有能夠把持對象物的兩根指部的構(gòu)成。此外，在本實(shí)施方式中，作為末端執(zhí)行器使用手1091，但作為末端執(zhí)行器，只要能夠?qū)ο笪锢邕M(jìn)行把持、吸附、支承等，則可以是任意的構(gòu)成。此外，上述的各臂1012～1017的外裝(構(gòu)成外形的部件)分別也可以由一個(gè)部件構(gòu)成，也可以由多個(gè)部件構(gòu)成。接下來，參照圖23，與臂1012～1017的驅(qū)動一起對驅(qū)動源1401～1406進(jìn)行說明。如圖23所示，基座1011與第一臂1012經(jīng)由關(guān)節(jié)(連接部分)1171連結(jié)。此外，關(guān)節(jié)1171也可以包含于基座1011，另外，也可以不包含于基座1011。關(guān)節(jié)1171具有以能夠相對于基座1011轉(zhuǎn)動的方式對與基座1011連結(jié)的第一臂1012進(jìn)行支承的機(jī)構(gòu)。由此，第一臂1012能夠以與鉛垂方向平行的第一轉(zhuǎn)動軸o11(第n轉(zhuǎn)動軸)為中心(繞第一轉(zhuǎn)動軸o11)相對于基座1011轉(zhuǎn)動。另外，第一轉(zhuǎn)動軸o11是機(jī)器人1001的處于最上游側(cè)的轉(zhuǎn)動軸線。繞該第一轉(zhuǎn)動軸o11的轉(zhuǎn)動是通過具有馬達(dá)1401m的第一驅(qū)動源1401的驅(qū)動來進(jìn)行的。另外，馬達(dá)1401m經(jīng)由電纜(未圖示)與馬達(dá)驅(qū)動器1301電連接，并經(jīng)由馬達(dá)驅(qū)動器1301被控制部(未圖示)控制。此外，第一驅(qū)動源1401也可以構(gòu)成為通過與馬達(dá)1401m一起設(shè)置的減速機(jī)(未圖示)傳遞來自馬達(dá)1401m的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機(jī)。另外，第一臂1012與第二臂1013經(jīng)由關(guān)節(jié)(連接部分)1172連結(jié)。關(guān)節(jié)1172具有以能夠使相互連結(jié)的第一臂1012和第二臂1013中的一個(gè)臂相對于另一個(gè)臂轉(zhuǎn)動的方式對它們進(jìn)行支承的機(jī)構(gòu)。由此，第二臂1013能夠以與鉛垂方向平行的第二轉(zhuǎn)動軸o12(第(n+1)轉(zhuǎn)動軸)為中心(繞第二轉(zhuǎn)動軸o12)相對于第一臂1012轉(zhuǎn)動。第二轉(zhuǎn)動軸o12與第一轉(zhuǎn)動軸o11正交。繞該第二轉(zhuǎn)動軸o12的轉(zhuǎn)動是通過具有馬達(dá)1402m的第二驅(qū)動源1402的驅(qū)動來進(jìn)行的。另外，馬達(dá)1402m經(jīng)由電纜(未圖示)與馬達(dá)驅(qū)動器1302電連接，并經(jīng)由馬達(dá)驅(qū)動器1302被控制部(未圖示)控制。此外，第二驅(qū)動源1402也可以構(gòu)成為通過與馬達(dá)1402m一起設(shè)置的減速機(jī)(未圖示)傳遞來自馬達(dá)1402m的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機(jī)。另外，第二轉(zhuǎn)動軸o12也可以與和第一轉(zhuǎn)動軸o11正交的軸線平行，另外，第二轉(zhuǎn)動軸o12也可以不與第一轉(zhuǎn)動軸o11正交，只要軸向互不相同即可。另外，第二臂1013與第三臂1014經(jīng)由關(guān)節(jié)(連接部分)1173連結(jié)。關(guān)節(jié)1173具有以能夠使相互連結(jié)的第二臂1013和第三臂1014中的一個(gè)臂相對于另一個(gè)臂轉(zhuǎn)動的方式對它們進(jìn)行支承的機(jī)構(gòu)。由此，第三臂1014能夠以與水平方向平行的第三轉(zhuǎn)動軸o13為中心(繞第三轉(zhuǎn)動軸o13)相對于第二臂1013轉(zhuǎn)動。第三轉(zhuǎn)動軸o13與第二轉(zhuǎn)動軸o12平行。繞該第三轉(zhuǎn)動軸o13的轉(zhuǎn)動是通過具有馬達(dá)1403m的第三驅(qū)動源1403的驅(qū)動來進(jìn)行的。另外，馬達(dá)1403m經(jīng)由電纜(未圖示)與馬達(dá)驅(qū)動器1303電連接，并經(jīng)由馬達(dá)驅(qū)動器1303被控制部(未圖示)控制。此外，第三驅(qū)動源1403也可以構(gòu)成為通過與馬達(dá)1403m一起設(shè)置的減速機(jī)(未圖示)傳遞來自馬達(dá)1403m的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機(jī)。另外，第三臂1014與第四臂1015經(jīng)由關(guān)節(jié)(連接部分)1174連結(jié)。關(guān)節(jié)1174具有以能夠使相互連結(jié)的第三臂1014和第四臂1015中的一個(gè)臂相對于另一個(gè)臂轉(zhuǎn)動的方式對它們進(jìn)行支承的機(jī)構(gòu)。由此，第四臂1015能夠以與第三臂1014的中心軸向平行的第四轉(zhuǎn)動軸o14為中心(繞第四轉(zhuǎn)動軸o14)相對于第三臂1014轉(zhuǎn)動。第四轉(zhuǎn)動軸o14與第三轉(zhuǎn)動軸o13正交。繞該第四轉(zhuǎn)動軸o14的轉(zhuǎn)動是通過具有馬達(dá)1404m的第四驅(qū)動源1404的驅(qū)動來進(jìn)行的。另外，馬達(dá)1404m經(jīng)由電纜(未圖示)與馬達(dá)驅(qū)動器1304電連接，并經(jīng)由馬達(dá)驅(qū)動器1304被控制部(未圖示)控制。此外，第四驅(qū)動源1404也可以構(gòu)成為通過與馬達(dá)1404m一起設(shè)置的減速機(jī)(未圖示)傳遞來自馬達(dá)1404m的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機(jī)。另外，第四轉(zhuǎn)動軸o14也可以與和第三轉(zhuǎn)動軸o13正交的軸線平行，另外，第四轉(zhuǎn)動軸o14也可以不與第三轉(zhuǎn)動軸o13正交，只要軸向互不相同即可。另外，第四臂1015和第五臂1016經(jīng)由關(guān)節(jié)(連接部分)1175連結(jié)。關(guān)節(jié)1175具有以能夠使相互連結(jié)的第四臂1015和第五臂1016的一個(gè)臂相對于另一個(gè)臂轉(zhuǎn)動的方式對它們進(jìn)行支承的機(jī)構(gòu)。由此，第五臂1016能夠以與第四臂1015的中心軸向正交的第五轉(zhuǎn)動軸o15為中心(繞第五轉(zhuǎn)動軸o15)相對于第四臂1015轉(zhuǎn)動。第五轉(zhuǎn)動軸o15與第四轉(zhuǎn)動軸o14正交。繞該第五轉(zhuǎn)動軸o15的轉(zhuǎn)動是通過具有馬達(dá)1405m的第五驅(qū)動源1405的驅(qū)動來進(jìn)行的。另外，馬達(dá)1405m經(jīng)由電纜(未圖示)與馬達(dá)驅(qū)動器1305電連接，并經(jīng)由馬達(dá)驅(qū)動器1305被控制部(未圖示)控制。此外，第五驅(qū)動源1405也可以構(gòu)成為通過與馬達(dá)1405m一起設(shè)置的減速機(jī)(未圖示)傳遞來自馬達(dá)1405m的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機(jī)。另外，第五轉(zhuǎn)動軸o15也可以與和第四轉(zhuǎn)動軸o14正交的軸線平行，另外，第五轉(zhuǎn)動軸o15也可以不與第四轉(zhuǎn)動軸o14正交，只要軸向互不相同即可。另外，第五臂1016與第六臂1017經(jīng)由關(guān)節(jié)(連接部分)1176連結(jié)。關(guān)節(jié)1176具有以能夠使相互連結(jié)的第五臂1016和第六臂1017的一個(gè)臂相對于另一個(gè)臂轉(zhuǎn)動的方式對它們進(jìn)行支承的機(jī)構(gòu)。由此，第六臂1017能夠相對于第五臂1016以第六轉(zhuǎn)動軸o16為中心(繞第六轉(zhuǎn)動軸o16)轉(zhuǎn)動。第六轉(zhuǎn)動軸o16與第五轉(zhuǎn)動軸o15正交。繞該第六轉(zhuǎn)動軸o16的轉(zhuǎn)動是通過具有馬達(dá)1406m的第六驅(qū)動源1406的驅(qū)動來進(jìn)行的。另外，馬達(dá)1406m經(jīng)由電纜(未圖示)與馬達(dá)驅(qū)動器1306電連接，并經(jīng)由馬達(dá)驅(qū)動器1306被控制部(未圖示)控制。此外，第六驅(qū)動源1406也可以構(gòu)成為通過與馬達(dá)1406m一起設(shè)置的減速機(jī)(未圖示)傳遞來自馬達(dá)1406m的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機(jī)。另外，第六轉(zhuǎn)動軸o16也可以與和第四轉(zhuǎn)動軸o14正交的軸線平行，另外，第六轉(zhuǎn)動軸o16也可以與和第五轉(zhuǎn)動軸o15正交的軸線平行，另外，第六轉(zhuǎn)動軸o16也可以不與第五轉(zhuǎn)動軸o15正交，只要軸向互不相同即可。而且，進(jìn)行這樣的驅(qū)動的機(jī)器人1001能夠通過在利用與第六臂1017的末端部連接的手1091把持著對象物的狀態(tài)下，控制各臂1012～1017等的動作，進(jìn)行對象物的輸送等作業(yè)。此外，手1091的驅(qū)動由機(jī)器人控制裝置控制。拍攝部拍攝部192例如具有拍攝由手1091把持的對象物、檢查部1041以及供給部1031等的功能。拍攝部192例如具備ccd等拍攝元件，如圖22所示，以能夠拍攝第五臂1016的末端方向的方式安裝于第五臂1016。另外，由拍攝部192拍攝的拍攝數(shù)據(jù)輸入到機(jī)器人控制裝置。通過這樣的拍攝部192，例如拍攝對象物、檢查部1041等，機(jī)器人1001能夠基于該拍攝數(shù)據(jù)，通過手1091從供給板1032準(zhǔn)確地選定目的對象物并進(jìn)行供料。另外，能夠通過測量對象物的外形和位置向不干擾周邊部件的正確的位置供料。并且，能夠準(zhǔn)確地進(jìn)行像將該供料的對象物載置在規(guī)定的載置面1421上的作業(yè)。力檢測器力檢測器193具有檢測手1091受到的外力的功能。如圖22所示，力檢測器193設(shè)于第六臂1017的末端。該力檢測器193例如由檢測相互正交的三個(gè)軸(x軸、y軸、z軸)的各軸向的力及繞各軸的力(力矩)的力覺傳感器構(gòu)成，例如，具有根據(jù)所受到的外力來輸出電荷的壓電元件(未圖示)。另外，從力檢測器193輸出的信號輸入到機(jī)器人控制裝置。通過這樣的力檢測器193，例如，檢測手1091對對象物的接觸狀態(tài)，機(jī)器人1001能夠基于該檢測結(jié)果(信號)，通過手1091以準(zhǔn)確的把持力把持對象物等。以上，對機(jī)器人1001的簡單的構(gòu)成進(jìn)行了說明。這樣的構(gòu)成的機(jī)器人1001如上述那樣，是具有六個(gè)(多個(gè))臂1012～1017的鉛垂多關(guān)節(jié)機(jī)器人，所以驅(qū)動范圍較廣，能夠發(fā)揮較高的操作性。例如，機(jī)器人1001具有多個(gè)臂1012～1017，所以，能夠任意地變更機(jī)器人臂1010的末端的姿勢。因此，機(jī)器人1001能夠通過根據(jù)對象物的形狀、配置方式等，任意地變更機(jī)器人臂1010的末端的姿勢，來進(jìn)行通過手1091從供給部1031中選定目的對象物并進(jìn)行供料、將對象物載置于目的檢查部1041的作業(yè)等。另外，機(jī)器人1001具有多個(gè)臂1012～1017，從而能夠使機(jī)器人臂1010的末端沿與xy平面平行的方向(水平方向)和z軸方向(鉛垂方向)各個(gè)方向移動。因此，機(jī)器人1001能夠使機(jī)器人臂1010的末端接近沿與xy平面平行的方向和z軸方向各個(gè)方向排列的多個(gè)的檢查部1041。因此，機(jī)器人1001能夠通過手1091將對象物配置到更多的檢查部1041。另外，如上述，對于機(jī)器人1001來說，第一臂1012的基端側(cè)安裝于基座1011，由此，能夠使各臂1012～1017相對于基座1011轉(zhuǎn)動。而且，在本實(shí)施方式中，機(jī)器人1001是所謂落地式機(jī)器人，所以能夠進(jìn)一步擴(kuò)大機(jī)器人1001的在比機(jī)器人1001靠鉛垂方向上方側(cè)處的作業(yè)范圍。接下來，參照圖24～圖31，對機(jī)器人1001具有的各臂1012～1017的關(guān)系進(jìn)行說明。圖24是圖21所示的機(jī)器人的第一臂、第二臂以及第三臂未重合的狀態(tài)的示意側(cè)視圖。圖25是圖21所示的機(jī)器人的第一臂、第二臂以及第三臂重合的狀態(tài)的示意側(cè)視圖。圖26a～圖26e是用于說明圖21所示的機(jī)器人的動作的圖。圖27是表示圖26a～圖26e所示的機(jī)器人的動作中的手的移動路徑的圖。圖28是圖21所示的機(jī)器人的第一臂和第三臂交叉的狀態(tài)的示意側(cè)視圖。圖29是圖21所示的機(jī)器人的第一臂和第三臂重合的狀態(tài)的示意側(cè)視圖。圖30及圖31分別是用于說明圖21所示的機(jī)器人的末端可動的范圍的圖。此外，在以下的說明中，對于第三臂1014、第四臂1015、第五臂1016以及第六臂1017，考慮使它們筆直地延伸的狀態(tài)，換句話說，如圖24及圖25所示，第四轉(zhuǎn)動軸o14與第六轉(zhuǎn)動軸o16是一致或者平行的狀態(tài)。首先，如圖24所示，第一臂1012的長度l11設(shè)定為比第二臂1013的長度l12長。這里，第一臂1012的長度l11是，從第二轉(zhuǎn)動軸o12的軸向觀察時(shí)，第二轉(zhuǎn)動軸o12與以使第一臂1012能夠轉(zhuǎn)動的方式支承第一臂1012的軸承部1061(關(guān)節(jié)1171具有的部件)的在圖24中的左右方向延伸的中心線1611之間的距離。另外，第二臂1013的長度l12是，從第二轉(zhuǎn)動軸o12的軸向觀察時(shí)，第二轉(zhuǎn)動軸o12與第三轉(zhuǎn)動軸o13之間的距離。另外，如圖24及圖25所示，機(jī)器人1001構(gòu)成為，在從第二轉(zhuǎn)動軸o12的軸向觀察時(shí)，能夠使第一臂1012與第二臂1013所成的角度θ為0°。即，機(jī)器人1001構(gòu)成為，在從第二轉(zhuǎn)動軸o12的軸向觀察時(shí)，第一臂1012與第二臂1013能夠重合。特別是，如上述那樣，第一臂1012的長度l11設(shè)定為比第二臂1013的長度l12長，所以構(gòu)成為，在從第二轉(zhuǎn)動軸o12的軸向觀察時(shí)，第一臂1012與第二臂1013重合的情況下，第二臂1013不干擾第一臂1012。這里，上述第一臂1012與第二臂1013所成的角度θ，是在從第二轉(zhuǎn)動軸o12的軸向觀察時(shí)，穿過第二轉(zhuǎn)動軸o12與第三轉(zhuǎn)動軸o13的直線1621(從第二轉(zhuǎn)動軸o12的軸向觀察的情況下的第二臂1013的中心軸)與第一轉(zhuǎn)動軸o11所成的角度(參照圖24)。另外，如圖25所示，機(jī)器人1001構(gòu)成為，在從第二轉(zhuǎn)動軸o12的軸向觀察時(shí)，第二臂1013與第三臂1014能夠重合。因此，機(jī)器人1001構(gòu)成為，在第二轉(zhuǎn)動軸o12的軸向觀察時(shí)，第一臂1012、第二臂1013以及第三臂1014能夠同時(shí)重合。另外，如圖24所示，第三臂1014、第四臂1015以及第五臂1016的總共的長度l13設(shè)定為比第二臂1013的長度l12長。由此，如圖25所示，在從第二轉(zhuǎn)動軸o12的軸向觀察時(shí)，第二臂1013與第三臂1014重合時(shí)，能夠使機(jī)器人臂1010的末端，即、第六臂1017的末端從第二臂1013突出。由此，能夠防止手1091干擾第一臂1012及第二臂1013。這里，第三臂1014、第四臂1015以及第五臂1016的總共的長度l13，是在從第二轉(zhuǎn)動軸o12的軸向觀察時(shí)，第三轉(zhuǎn)動軸o13與第五轉(zhuǎn)動軸o15之間的距離(參照圖24)。該情況下，第三臂1014、第四臂1015以及第五臂1016，是圖24所示那樣的第四轉(zhuǎn)動軸o14與第六轉(zhuǎn)動軸o16一致或者平行的狀態(tài)。在具有這樣的機(jī)器人臂1010的機(jī)器人1001中，由于滿足上述那樣的關(guān)系，如圖26a～圖26e所示，能夠通過不使第一臂1012轉(zhuǎn)動，而使第二臂1013、第三臂1014轉(zhuǎn)動，經(jīng)由從第二轉(zhuǎn)動軸o12的軸向觀察時(shí)第一臂1012與第二臂1013所成的角度θ為0°的狀態(tài)(第一臂1012與第二臂1013重合的狀態(tài))，使機(jī)器人臂1010的末端繞第一轉(zhuǎn)動軸o11移動到錯開180°的位置。通過這樣的機(jī)器人臂1010的驅(qū)動，如圖27所示，機(jī)器人1001能夠不進(jìn)行使手1091如箭頭1064、1065所示那樣移動的動作，而進(jìn)行使機(jī)器人臂1010的末端及手1091如箭頭1063所示那樣移動的動作。即，在從第一轉(zhuǎn)動軸o11的軸向觀察時(shí)，機(jī)器人1001能夠進(jìn)行使機(jī)器人臂1010的末端和手1091在直線上移動的動作。由此，能夠減小用于使機(jī)器人1001不形成干擾的空間。因此，能夠使機(jī)器人系統(tǒng)100的設(shè)置面積s比較小。具體而言，優(yōu)選機(jī)器人系統(tǒng)100的設(shè)置面積s在0.5m2以上，4m2以下，進(jìn)一步優(yōu)選在1.0m2以上，3.5m2以下，更優(yōu)選在1.5m2以上，3.0m2以下。即使是這樣的比較小的設(shè)置面積s，機(jī)器人系統(tǒng)100也能夠充分地確保機(jī)器人1001能夠載置對象物的載置面1421的數(shù)目。即，能夠充分地確保檢查部1041的數(shù)目(檢查項(xiàng)目的數(shù)目)。另一方面，若不足上述下限值，則例如因手1091的形狀、機(jī)器人1001的動作模式等而異，有在機(jī)器人1001的動作時(shí)，機(jī)器人1001干擾供給裝置1003、檢查裝置4的潛在可能。另外，若超過上述上限值，則存在機(jī)器人系統(tǒng)100過于大型，而使能夠設(shè)置機(jī)器人系統(tǒng)100的部位受限的可能性。另外，如上述那樣，在從第一轉(zhuǎn)動軸o11的軸向觀察時(shí)，機(jī)器人1001能夠進(jìn)行使機(jī)器人臂1010的末端和手1091在直線上移動的動作，所以能夠使機(jī)器人系統(tǒng)100的高度(沿鉛垂方向的高度)比較小。另外，在從第一轉(zhuǎn)動軸o11的軸向觀察時(shí)，機(jī)器人1001能夠進(jìn)行使手1091在直線上移動的動作，所以在使手1091繞第一轉(zhuǎn)動軸o11移動到錯開180°的位置時(shí)，例如，如上述那樣能夠不使第一臂1012轉(zhuǎn)動，或者，減小第一臂1012的轉(zhuǎn)動角(轉(zhuǎn)動量)。這樣，通過減小第一臂1012的繞第一轉(zhuǎn)動軸o11的轉(zhuǎn)動角，在從第一轉(zhuǎn)動軸o11的軸向觀察時(shí)，能夠減小具有比基座1011向外側(cè)突出的部分(第二部分1122以及第三部分1123)的第一臂1012的轉(zhuǎn)動，所以機(jī)器人1001能夠防止或者減少例如對供給裝置1003、檢查裝置4以及罩部件22等形成干擾這種情況。另外，由于在從第一轉(zhuǎn)動軸o11的軸向觀察時(shí)，機(jī)器人1001能夠進(jìn)行使手1091在直線上移動的動作，所以能夠減少機(jī)器人1001的移動，例如能夠使手1091從供給裝置1003高效地移動到檢查裝置4。因此，能夠縮短生產(chǎn)間隔時(shí)間，能夠使作業(yè)效率提高。另外，由于在從第一轉(zhuǎn)動軸o11的軸向觀察時(shí)，機(jī)器人1001能夠進(jìn)行使手1091在直線上移動的動作，所以容易把握機(jī)器人1001的移動。這里，若機(jī)器人1001在使手1091繞第一轉(zhuǎn)動軸o11移動到錯開180°的位置時(shí)，如以往的機(jī)器人那樣單純地使第一臂1012繞第一轉(zhuǎn)動軸o11轉(zhuǎn)動，則存在機(jī)器人1001與例如供給裝置1003、檢查裝置4以及罩部件22等形成干擾的潛在可能。因此，需要對機(jī)器人1001示教用于避免機(jī)器人1001與供給裝置1003、檢查裝置4以及罩部件22等的干擾的退避點(diǎn)。例如，如圖21所示，在從手1091位于檢查裝置4側(cè)的狀態(tài)，僅使第一臂1012繞第一轉(zhuǎn)動軸o11旋轉(zhuǎn)90°時(shí)，機(jī)器人1001與y軸側(cè)的罩部件22形成干擾的情況下，為了機(jī)器人1001不對罩部件22形成干擾，需要對機(jī)器人1001示教許多的退避點(diǎn)。這樣若如以往的機(jī)器人那樣使第一臂1012繞第一轉(zhuǎn)動軸o11轉(zhuǎn)動，則需要對許多的退避點(diǎn)進(jìn)行示教，需要龐大的數(shù)目的退避點(diǎn)，示教需要較多的功夫及較長的時(shí)間。與此相對，在機(jī)器人1001中，在使手1091繞第一轉(zhuǎn)動軸o11移動到錯開180°的位置時(shí)，在從第一轉(zhuǎn)動軸o11的軸向觀察時(shí)，通過能夠進(jìn)行使手1091在直線上移動的動作，從而能夠使存在形成干擾的潛在可能的區(qū)域非常少。因此，能夠減少進(jìn)行示教的退避點(diǎn)的數(shù)目，能夠減少示教需要的功夫及時(shí)間。即，在機(jī)器人1001中，進(jìn)行示教的退避點(diǎn)的數(shù)目例如成為以往的機(jī)器人的1/3左右，示教顯著地變得容易。另外，在機(jī)器人1001中，第三臂1014以及第四臂1015的在圖22中的左側(cè)的被雙點(diǎn)劃線包圍的區(qū)域(部分)1105是機(jī)器人1001不干擾機(jī)器人1001自身及其它的部件、或者不容易形成干擾的區(qū)域(部分)。因此，在區(qū)域1105安裝了規(guī)定的部件的情況下，該部件不容易干擾機(jī)器人1001及周邊裝置等。因此，在機(jī)器人1001中，能夠在區(qū)域1105安裝規(guī)定的部件。特別是，在區(qū)域1105中第三臂1014的圖22中的左側(cè)的區(qū)域安裝上述規(guī)定的部件的情況下，該部件與供給裝置1003及檢查裝置4等形成干擾的概率進(jìn)一步降低，所以更有效。作為能夠安裝于區(qū)域1105的部件，例如，能夠列舉控制上述的拍攝部192的驅(qū)動的控制裝置、吸附機(jī)構(gòu)的電磁閥等。例如，在代替手1091而例如設(shè)置具有吸附機(jī)構(gòu)的末端執(zhí)行器的情況下，若將該吸附機(jī)構(gòu)的電磁閥等設(shè)置在區(qū)域1105，則在機(jī)器人1001驅(qū)動時(shí)上述電磁閥不會成為妨礙。這樣，區(qū)域1105的便利性較高。另外，在機(jī)器人1001中，在基座1011與第一臂1012之間，在圖22中的右側(cè)的被雙點(diǎn)劃線包圍的區(qū)域(部分)1106也與上述的區(qū)域1105相同，是機(jī)器人1001不干擾機(jī)器人1001自身以及其它的部件、或者不容易干擾的區(qū)域(部分)。該區(qū)域1106的形成是因?yàn)榈谝槐?012是具有第三部分1123的構(gòu)成。另外，如圖28所示，機(jī)器人1001構(gòu)成為，在從第三轉(zhuǎn)動軸o13的軸向觀察時(shí)，第一臂1012能夠與第三臂1014、第四臂1015以及第五臂1016中的至少一個(gè)臂交叉。另外，如圖29所示，機(jī)器人1001構(gòu)成為，在從第三轉(zhuǎn)動軸o13的軸向觀察時(shí)，第一臂1012能夠與第三臂1014、第四臂1015以及第五臂1016中的至少一個(gè)臂重合。這樣，在從第二轉(zhuǎn)動軸o12的軸向觀察時(shí)，機(jī)器人1001能夠使第三臂1014、第四臂1015以及第五臂1016中的至少一個(gè)臂與第一臂1012交叉、重合。由此，能夠使機(jī)器人臂1010的末端接近第二轉(zhuǎn)動軸o12。因此，能夠擴(kuò)大機(jī)器人1001的在基座1011與第二轉(zhuǎn)動軸o12之間的區(qū)域中的作業(yè)范圍。另外，如圖30及圖31所示，機(jī)器人1001能夠使機(jī)器人臂1010的末端部沿形成球面狀的虛擬面c1上移動。此外，圖30示出機(jī)器人1001的側(cè)視圖，圖31示出機(jī)器人1001的仰視圖。虛擬面c1是以第一轉(zhuǎn)動軸o11與第二轉(zhuǎn)動軸o12的交點(diǎn)p為中心的球面，是由在使交點(diǎn)p與第五轉(zhuǎn)動軸o15之間的距離最遠(yuǎn)的狀態(tài)(圖30及圖31的由雙點(diǎn)劃線示出的機(jī)器人1001的狀態(tài))下，驅(qū)動機(jī)器人臂1010時(shí)的第五轉(zhuǎn)動軸o15的描繪軌跡的集合體形成的面。因此，該虛擬面c1表示機(jī)器人臂1010的末端部(具體而言，第五轉(zhuǎn)動軸o15)的最大可動域。另外，如圖30及圖31所示，機(jī)器人1001能夠使機(jī)器人臂1010的末端部沿形成球面狀的虛擬面c2上移動。虛擬面c2是以交點(diǎn)p為中心的球面，是由在使交點(diǎn)p與第五轉(zhuǎn)動軸o15之間的距離最近的狀態(tài)(圖30及圖31的由實(shí)線示出的機(jī)器人1001的狀態(tài))下，驅(qū)動機(jī)器人臂1010時(shí)的第五轉(zhuǎn)動軸o15的描繪軌跡的集合體形成的面。因此，該虛擬面c2表示機(jī)器人臂1010的末端部(具體而言，第五轉(zhuǎn)動軸o15)的最小可動域。而且，如上述那樣，機(jī)器人1001能夠?yàn)閳D24、圖25、圖28以及圖29所示那樣的各種姿勢。因此，能夠使機(jī)器人臂1010的末端部在上述的最大可動域與最小可動域之間的范圍內(nèi)移動。因此，機(jī)器人臂1010的末端部的可動范圍是虛擬面c1與虛擬面c2之間的空間s2。此外，嚴(yán)格來說，為了機(jī)器人臂1010不干擾基座1011，而機(jī)器人臂1010的末端部的可動范圍是空間s2中的除了基座1011之外的范圍。這樣，機(jī)器人1001能夠使機(jī)器人臂1010的末端部在以交點(diǎn)p為中心大致球狀中移動。移動機(jī)構(gòu)5圖21所示的移動機(jī)構(gòu)5具有以使機(jī)器人1001能夠沿y軸方向往復(fù)移動的方式支承機(jī)器人1001的功能。移動機(jī)構(gòu)5例如，具有用于安裝基座1011的板狀的安裝部50、使安裝部50沿y軸方向往復(fù)移動的運(yùn)動軸55、驅(qū)動運(yùn)動軸55的驅(qū)動源(未圖示)、以及控制移動機(jī)構(gòu)5的各部的移動機(jī)構(gòu)控制裝置(未圖示)。作為驅(qū)動源，例如，能夠列舉伺服馬達(dá)、步進(jìn)電機(jī)、線性馬達(dá)等馬達(dá)、具備液壓缸、氣壓缸等的驅(qū)動源。通過這樣的移動機(jī)構(gòu)5，機(jī)器人1001能夠沿y軸方向移動，所以機(jī)器人1001能夠在沿水平方向遍及較大范圍設(shè)置的多個(gè)檢查部1041及多個(gè)供給部1031處進(jìn)行作業(yè)。另外，如上述那樣，機(jī)器人1001構(gòu)成為，在從第二轉(zhuǎn)動軸o12的軸向觀察時(shí)，第一臂1012與第二臂1013能夠重合，所以機(jī)器人1001能夠減小機(jī)器人臂1010的的重心位置相對于基座1011的偏心量。其結(jié)果，能夠減小施加到機(jī)器人臂1010的偏擺、縱搖以及搖晃方向的載荷。因此，能夠減小施加到安裝部50的載荷，所以能夠減小支承安裝部50的運(yùn)動軸55。以上，對機(jī)器人系統(tǒng)100的構(gòu)成進(jìn)行了說明。接下來，參照圖32～圖34對機(jī)器人系統(tǒng)100中的機(jī)器人1001的作業(yè)的一個(gè)例子進(jìn)行說明。圖32～圖34分別是用于說明圖21所示的機(jī)器人的作業(yè)的一個(gè)例子的圖。此外，在以下的機(jī)器人1001的作業(yè)時(shí)，作業(yè)者預(yù)先對機(jī)器人1001示教機(jī)器人1001進(jìn)行的作業(yè)內(nèi)容、各檢查部1041、各供給部1031相對于機(jī)器人1001的位置。首先，如圖32所示，機(jī)器人1001通過手1091從供給部1031的上方把持載置在供給板1032上的對象物1060，從供給部1031選定目的對象物1060，并進(jìn)行供料。此時(shí)，機(jī)器人1001基于來自拍攝部192的拍攝數(shù)據(jù)、來自力檢測器193的信號，驅(qū)動機(jī)器人臂1010及手1091。由此，機(jī)器人1001能夠準(zhǔn)確地選定目的對象物、以準(zhǔn)確的把持力把持目的對象物。以下，在機(jī)器人1001的各項(xiàng)作業(yè)中，也可以說是同樣的情況。接下來，機(jī)器人1001通過分別使第二臂1013和第三臂1014轉(zhuǎn)動，經(jīng)過從第二轉(zhuǎn)動軸o12的軸向觀察時(shí)第一臂1012與第二臂1013重合的狀態(tài)，使手1091繞第一轉(zhuǎn)動軸o11移動到錯開180°的位置。由此，機(jī)器人1001從供給部1031將對象物1060輸送到檢查部1041。接下來，如圖33所示，檢查裝置4使載置板1042從檢查室內(nèi)突出，機(jī)器人1001將對象物1060載置到載置板1042的載置面1421上。其后，檢查裝置4使載置板1042退避到檢查室內(nèi)，并在檢查部1041進(jìn)行對象物1060的檢查。若對象物1060的檢查結(jié)束，則檢查裝置4使載置板1042再次從檢查室內(nèi)突出。其后，機(jī)器人1001通過手1091在載置面1421上把持對象物1060。接下來，如圖34所示，機(jī)器人1001從檢查部1041將對象物1060輸送到與該檢查部1041不同的檢查部1041。接下來，與上述相同，機(jī)器人1001將對象物1060載置到載置板1042的載置面1421上，其后，檢查部1041進(jìn)行對象物1060的檢查。這樣一來，通過機(jī)器人1001將對象物1060輸送到各檢查部1041，并通過各檢查部1041檢查對象物。而且，若各項(xiàng)檢查結(jié)束，則機(jī)器人1001再次將對象物1060輸送到供給部1031。如以上那樣，通過由機(jī)器人1001進(jìn)行輸送等作業(yè)，能夠在機(jī)器人系統(tǒng)100中進(jìn)行對象物1060的多個(gè)檢查。如上述那樣，本實(shí)施方式的機(jī)器人1001在從第二轉(zhuǎn)動軸o12觀察時(shí)第一臂1012與第二臂1013能夠重合，所以在從第一轉(zhuǎn)動軸o11的軸向觀察時(shí)，能夠進(jìn)行使手1091在直線上移動的動作。因此，即使在機(jī)器人1001距檢查裝置4的距離比較近的情況下，機(jī)器人1001也能夠避免機(jī)器人臂1010干擾檢查裝置4，并能通過手1091進(jìn)行將對象物1060載置到在z軸方向排列的比較多的檢查部1041的作業(yè)等。另外，同樣地，即使在機(jī)器人1001距供給裝置1003的距離比較近的情況下，機(jī)器人1001也能夠避免機(jī)器人臂1010干擾供給裝置1003，并能通過手1091進(jìn)行在供給部1031處選定對象物1060并進(jìn)行供料的作業(yè)等。另外，即使在機(jī)器人1001距供給裝置1003和檢查裝置4各自的距離比較近的情況下，也能夠避免干擾罩部件22等，并能使機(jī)器人臂1010的末端在供給裝置1003和檢查裝置4之間移動。第四實(shí)施方式接下來，對本發(fā)明的第四實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖35是表示本發(fā)明的第四實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)具有的機(jī)器人及檢查裝置的示意圖。本實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)除了在檢查裝置所具有的檢查部的配置上存在差異以外，都與上述的第三實(shí)施方式相同。此外，在以下的說明中，關(guān)于第四實(shí)施方式，圍繞與上述的實(shí)施方式的區(qū)別進(jìn)行說明，關(guān)于相同的事項(xiàng)省略其說明。另外，在圖35中，對于與上述的實(shí)施方式相同的構(gòu)成，標(biāo)注相同附圖標(biāo)記。檢查裝置圖35所示的機(jī)器人系統(tǒng)100a具有的檢查裝置4a具有五個(gè)載置列40a。此外，以下，有時(shí)從－y軸方向側(cè)朝向+y軸方向側(cè)依次將五個(gè)載置列40a稱為“載置列40a”、“載置列40b”、“載置列40c”、“載置列40d”、“載置列40e”。載置列40b、載置列40c和載置列40d分別具有沿z軸方向排列的五個(gè)檢查部1041。另一方面，載置列40a和載置列40e分別具有沿z軸方向排列的三個(gè)檢查部1041。這樣，在檢查裝置4a中，設(shè)在機(jī)器人1001的距第一轉(zhuǎn)動軸o11最遠(yuǎn)的位置的載置列40a、40e所具有的各檢查部1041的數(shù)目比設(shè)在機(jī)器人1001的最接近第一轉(zhuǎn)動軸o11的位置的載置列40c所具有的各檢查部1041的數(shù)目少。另外，載置列40a和載置列40e各自具有的三個(gè)檢查部1041，以沿y軸方向，與載置列40b、載置列40c以及載置列40d的下數(shù)第二個(gè)檢查部1041～第四個(gè)檢查部1041這三個(gè)檢查部1041并排的方式配置。這里，如上述那樣，機(jī)器人1001能夠使機(jī)器人臂1010的末端部在以交點(diǎn)p為中心的球狀的空間s2內(nèi)移動。此外，圖35的以雙點(diǎn)劃線示出的圓c11，表示沿檢查裝置4的靠機(jī)器人1001側(cè)的面對作為機(jī)器人1001的可動范圍的成球狀的空間s2進(jìn)行剖切的情況下的切剖面的外周緣。因此，在從x軸方向觀察時(shí)，機(jī)器人1001能夠相對于檢查裝置4，使機(jī)器人臂1010的末端在圓c11內(nèi)的區(qū)域移動。這樣，如上述那樣通過在與機(jī)器人1001的可動范圍對應(yīng)的形狀中配置多個(gè)檢查部1041，能夠在機(jī)器人臂1010的末端的能夠移動的范圍內(nèi)，高效地設(shè)置多個(gè)檢查部1041。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)小型，并且，檢查部1041的數(shù)目較多的機(jī)器人系統(tǒng)100a。根據(jù)這樣的機(jī)器人系統(tǒng)100a，也能夠減小用于使機(jī)器人1001不形成干擾的空間。第五實(shí)施方式接下來，對本發(fā)明的第五實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖36是表示本發(fā)明的第五實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)具有的機(jī)器人及檢查裝置的立體圖。圖37是用于說明對圖36所示的機(jī)器人進(jìn)行支承的支承部的圖。圖38是用于說明對圖36所示的機(jī)器人進(jìn)行支承的支承部的變形例的圖。本實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)除了在檢查裝置具有的檢查部的配置上存在差異、以及具有支承部件以外，都與上述的第三實(shí)施方式相同。此外，在以下的說明中，關(guān)于第五實(shí)施方式，圍繞與上述的實(shí)施方式的區(qū)別進(jìn)行說明，關(guān)于相同的事項(xiàng)省略其說明。另外，在圖36～圖38中，對于與上述的實(shí)施方式相同的構(gòu)成，標(biāo)注相同附圖標(biāo)記。檢查裝置在圖36所示的機(jī)器人系統(tǒng)100b具有的檢查裝置4b中，在從z軸方向觀察時(shí)，多個(gè)檢查部1041配置為圓弧狀。更具體而言，檢查裝置4b具有多個(gè)具有兩個(gè)檢查部1041的載置列40b，在從z軸方向觀察時(shí)，多個(gè)載置列40b配置為以機(jī)器人1001的第一轉(zhuǎn)動軸o11為中心的圓弧狀。另外，對于多個(gè)載置列40b的各個(gè)載置列40b來說，下側(cè)的檢查部1041比上側(cè)的檢查部1041靠+x軸方向側(cè)。這里，如上述那樣，機(jī)器人1001能夠使機(jī)器人臂1010的末端部在以交點(diǎn)p為中心的球狀的空間s2內(nèi)移動。因此，通過如上述那樣將多個(gè)檢查部1041配置為與機(jī)器人1001的可動范圍對應(yīng)的圓弧狀，能夠在機(jī)器人臂1010的末端的能夠移動的范圍高效地設(shè)置多個(gè)檢查部1041。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)小型、并且檢查部1041的數(shù)目較多的機(jī)器人系統(tǒng)100b。支承部件如圖36所示，機(jī)器人系統(tǒng)100b具有將基座1011支承在移動機(jī)構(gòu)5具有的安裝部50的四個(gè)支承部件51。四個(gè)支承部件51分別為橫截面大致呈六邊形狀的棒狀的部件。支承部件51的一端與法蘭盤1111的下表面的角部連接，另一端與安裝部50連接。另外，如圖37所示，各支承部件51的長度比基座1011的沿第一轉(zhuǎn)動軸o11的長度長，在使基座1011與安裝部50分離的狀態(tài)下，將基座1011支承在安裝部50。而且，在基座1011與安裝部50之間形成有空間s3。由此，能夠在空間s3配置與設(shè)于基座1011的連接器191連接的布線1018等，能夠減少布線1018過度地彎曲。另外，在上述的說明中，支承部件51以使基座1011與安裝部50分離的狀態(tài)支承基座1011，但如圖38所示，支承部件51也可以以基座1011貫通在形成于安裝部50的貫通孔501內(nèi)的狀態(tài)，將基座1011支承在安裝部50。即，這樣通過將基座1011安裝于安裝部50，能夠?qū)崿F(xiàn)機(jī)器人1001與移動機(jī)構(gòu)5構(gòu)成的結(jié)構(gòu)體的低矮化。此外，支承部件51的形狀、配置方式以及數(shù)目，只要能夠?qū)⒒?011支承在安裝部50，則并不特別限定。例如，各支承部件51的橫截面形狀也可以是圓形狀、四邊形等六邊形以外的多邊形形狀。根據(jù)這樣的機(jī)器人系統(tǒng)100b，也能夠減小用于使機(jī)器人1001不形成干擾的空間。第六實(shí)施方式接下來，對本發(fā)明的第六實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖39是表示本發(fā)明的第六實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)具有的支承部的立體圖。本實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)除了具有支承部件以外，都與上述的第三實(shí)施方式相同。此外，在以下的說明中，關(guān)于第六實(shí)施方式，圍繞與上述的實(shí)施方式的區(qū)別進(jìn)行說明，對于相同的事項(xiàng)省略其說明。另外，在圖39中，對于與上述的實(shí)施方式相同的構(gòu)成，標(biāo)注相同附圖標(biāo)記。圖39所示的機(jī)器人系統(tǒng)100c具有將基座1011支承在移動機(jī)構(gòu)5具有的安裝部50上的兩個(gè)支承部件52。兩個(gè)支承部件52分別是從y軸方向觀察時(shí)彎曲為大致l字狀的板狀的部件。支承部件52具有安裝于安裝部50的部分522、和從安裝部50沿z軸方向延伸突出的部分523。而且，部分522的+z軸方向側(cè)的端部安裝于法蘭盤1111。另外，各支承部件52的部分523的長度比基座1011的沿第一轉(zhuǎn)動軸o11的長度長，支承部件52以使基座1011與安裝部50分離的狀態(tài)將基座1011支承在安裝部50。根據(jù)這樣的支承部件52，與上述的第四實(shí)施方式相同，也能夠在基座1011與安裝部50之間形成空間。另外，在支承部件52的部分523設(shè)有在其厚度方向(x軸方向)貫通的孔521。通過具有孔521，在基座1011的維護(hù)等時(shí)，能夠容易地接近基座1011。例如，在基座1011的側(cè)方設(shè)置了電池箱(未圖示)等的情況下，優(yōu)選在該電池箱的附近設(shè)置孔521。此外，在上述的說明中，在部分523設(shè)置了貫通部分523的孔521，但也可以代替孔521，而例如，設(shè)置切口、能夠開閉的門等。根據(jù)這樣的機(jī)器人系統(tǒng)100c，也能夠減小用于使機(jī)器人1001不形成干擾的空間。第七實(shí)施方式接下來，對本發(fā)明的第七實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖40是表示本發(fā)明的第七實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)具有的支承部的立體圖。本實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)除了在支承部件的構(gòu)成上存在差異以外，都與上述的第六實(shí)施方式相同。此外，在以下的說明中，關(guān)于第七實(shí)施方式，圍繞與上述的實(shí)施方式的區(qū)別進(jìn)行說明，關(guān)于相同的事項(xiàng)省略其說明。另外，在圖40中，對于與上述的實(shí)施方式相同的構(gòu)成，標(biāo)注相同附圖標(biāo)記。圖40所示的機(jī)器人系統(tǒng)100d具有將基座1011支承在移動機(jī)構(gòu)5具有的安裝部50的兩個(gè)支承部件53。兩個(gè)支承部件53分別是從y軸方向觀察時(shí)彎曲為大致l字狀的板狀的部件。支承部件53具有安裝于安裝部50的部分532、和從部分532沿z軸方向延伸突出的部分533。而且，部分533的靠+z軸方向側(cè)的端部的面531安裝于法蘭盤1111。面531是通過沿相對于水平面傾斜的方向進(jìn)行切掉處理來形成的。因此，機(jī)器人1001通過支承部件53，以相對于第一轉(zhuǎn)動軸o11水平面傾斜的狀態(tài)，安裝于安裝部50。這樣，機(jī)器人1001以與支承部件53的構(gòu)成對應(yīng)的狀態(tài)安裝于安裝部50。因此，通過使用考慮了機(jī)器人1001相對于安裝部50的配置方式(角度等)的構(gòu)成的支承部件53，能夠容易地設(shè)定機(jī)器人1001相對于安裝部50的配置。根據(jù)這樣的機(jī)器人系統(tǒng)100d，也能夠減小用于使機(jī)器人1001不形成干擾的空間。第八實(shí)施方式接下來，對本發(fā)明的第八實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖41是表示本發(fā)明的第八實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)的立體圖。本實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)除了具有多個(gè)機(jī)器人以外，都與上述的第三實(shí)施方式相同。此外，在以下的說明中，關(guān)于第八實(shí)施方式，圍繞與上述的實(shí)施方式的區(qū)別進(jìn)行說明，關(guān)于相同的事項(xiàng)省略其說明。另外，在圖41中，對于與上述的實(shí)施方式相同的構(gòu)成，標(biāo)注相同附圖標(biāo)記。圖41所示的機(jī)器人系統(tǒng)100e具有兩個(gè)機(jī)器人1001。兩個(gè)機(jī)器人1001沿y軸方向并排設(shè)置，并分別與移動機(jī)構(gòu)5連接。這兩個(gè)機(jī)器人1001能夠分別進(jìn)行獨(dú)立的動作。并且，兩個(gè)機(jī)器人1001能夠合作作業(yè)。例如，兩個(gè)機(jī)器人1001能夠基于預(yù)先設(shè)定的程序，在不彼此干擾的時(shí)刻，進(jìn)行互不相同的對象物的輸送等。另外，例如，兩個(gè)機(jī)器人1001也可以進(jìn)行一個(gè)機(jī)器人1001把持對象物而另一個(gè)機(jī)器人1001將部件設(shè)置在該對象物的作業(yè)。這樣，由于具有兩個(gè)機(jī)器人1001，能夠通過各機(jī)器人1001進(jìn)行針對對象物的各種作業(yè)，所以能夠?qū)崿F(xiàn)每個(gè)單位時(shí)間的作業(yè)數(shù)較多(作業(yè)效率較高)的機(jī)器人系統(tǒng)100e。另外，如上述那樣，機(jī)器人1001構(gòu)成為，在從第二轉(zhuǎn)動軸o12的軸向觀察時(shí)，第一臂1012與第二臂1013能夠重合，所以即使使兩個(gè)機(jī)器人1001彼此接近地配置，也能夠避免彼此干擾。因此，能夠減小兩個(gè)機(jī)器人1001的設(shè)置空間，因此，能夠減小機(jī)器人系統(tǒng)100e的設(shè)置面積。根據(jù)這樣的機(jī)器人系統(tǒng)100e，也能夠減小用于使機(jī)器人1001不形成干擾的空間。第九實(shí)施方式接下來，對本發(fā)明的第九實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖42是表示本發(fā)明的第九實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)的示意圖。本實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)除了在機(jī)器人的配置方式、具有多個(gè)機(jī)器人、以及檢查裝置和供給裝置各自的配置方式、數(shù)目等上存在差異以外，都與上述的第三實(shí)施方式相同。此外，在以下的說明中，關(guān)于第九實(shí)施方式，圍繞與上述的實(shí)施方式的區(qū)別進(jìn)行說明，關(guān)于相同的事項(xiàng)省略其說明。另外，在圖42中，對于與上述的實(shí)施方式相同的構(gòu)成，標(biāo)注相同附圖標(biāo)記。在圖42所示的機(jī)器人系統(tǒng)100f中，具有兩個(gè)檢查裝置4a、4b、供給裝置1003f、以及兩個(gè)機(jī)器人1001a、1001b。檢查裝置4a、機(jī)器人1001a、機(jī)器人1001b、以及檢查裝置4b依次從－x軸側(cè)朝向+x軸側(cè)排列。另外，供給裝置1003f設(shè)在機(jī)器人1001a和機(jī)器人1001b的下方。檢查裝置4a、4b各自除了在機(jī)器人系統(tǒng)100e中的配置上與第三實(shí)施方式中的檢查裝置4存在差異以外，都是與第三實(shí)施方式中的檢查裝置4相同的構(gòu)成。供給裝置1003f具有三個(gè)供給部1031，這些供給部1031在x軸方向并排設(shè)置。機(jī)器人1001a、1001b分別是基座1011的法蘭盤1111安裝于天花板(天花板部)101的安裝面(天花板面)102，且第一臂1012比基座1011靠鉛垂下方的所謂的吊頂型的機(jī)器人。另外，機(jī)器人1001a、1001b除了所謂的吊頂型以外，都是與第三實(shí)施方式中的機(jī)器人1001相同的構(gòu)成。由于機(jī)器人1001a、1001b是所謂的吊頂型，所以，機(jī)器人1001a、1001b分別能夠進(jìn)一步擴(kuò)大在鉛垂下方處的作業(yè)范圍。另外，兩個(gè)機(jī)器人1001a、1001b與上述的第八實(shí)施方式的兩個(gè)機(jī)器人1001相同，能夠彼此合作作業(yè)，例如，能夠由機(jī)器人1001a進(jìn)行對象物的在檢查裝置4a與供給裝置1003f之間的輸送，并由機(jī)器人1001b進(jìn)行對象物的在檢查裝置4b與供給裝置1003f之間的輸送。這樣的機(jī)器人系統(tǒng)100f特別是在設(shè)置了進(jìn)行檢查時(shí)間比較長的檢查(例如，需要數(shù)十分鐘左右的時(shí)間的檢查)的檢查部1041的情況有效。此外，例如，也可以是，在圖42所示的機(jī)器人系統(tǒng)100f中，代替檢查裝置4a、4b，而在設(shè)置檢查裝置4a、4b的位置設(shè)置供給裝置(由作業(yè)者供給對象物的備品供給裝置)，并代替供給裝置1003f，而在供給裝置1003f的位置設(shè)置機(jī)器人1001a、1001b進(jìn)行部件等的組裝的組裝裝置。即，也可以將機(jī)器人系統(tǒng)100f作為進(jìn)行部件的組裝的組裝系統(tǒng)使用。根據(jù)這樣的機(jī)器人系統(tǒng)100f，也能夠減小用于使機(jī)器人1001a、1001b不形成干擾的空間。第十實(shí)施方式接下來，對本發(fā)明的第十實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖43是表示本發(fā)明的第十實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)的示意圖。本實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人系統(tǒng)除了在檢查裝置及供給裝置的數(shù)目、配置方式等存在差異以外，都與上述的第九實(shí)施方式相同。此外，在以下的說明中，關(guān)于第十實(shí)施方式，圍繞與上述的實(shí)施方式的區(qū)別進(jìn)行說明，關(guān)于相同的事項(xiàng)省略其說明。另外，在圖43中，對于與上述的實(shí)施方式相同的構(gòu)成，標(biāo)注相同附圖標(biāo)記。在圖43所示的機(jī)器人系統(tǒng)100g中，具有檢查裝置4g、兩個(gè)供給裝置1003a、1003b、以及兩個(gè)機(jī)器人1001a、1001b。供給裝置1003a、機(jī)器人1001a、機(jī)器人1001b、以及供給裝置1003b依次從－x軸側(cè)朝向+x軸側(cè)排列。另外，檢查裝置4g設(shè)在機(jī)器人1001a、1001b的下方。檢查裝置4g具有五個(gè)檢查部1041，這些檢查部1041在x軸方向并排設(shè)置。供給裝置1003a、1003b分別是除了在第三實(shí)施方式中的供給裝置1003與機(jī)器人系統(tǒng)100中的配置上存在差異以外，都與第三實(shí)施方式中的供給裝置1003相同的構(gòu)成。機(jī)器人1001a、1001b與上述的第八實(shí)施方式的兩個(gè)機(jī)器人1001相同，能夠彼此合作作業(yè)，例如，能夠由機(jī)器人1001a進(jìn)行對象物的在檢查裝置4g與供給裝置1003a之間的輸送，并由機(jī)器人1001b進(jìn)行對象物的在檢查裝置4g與供給裝置1003b之間的輸送。這樣的機(jī)器人系統(tǒng)100g特別是在設(shè)置了進(jìn)行檢查時(shí)間比較短的檢查(例如，需要數(shù)分鐘左右的時(shí)間的檢查)的檢查部1041的情況下是有效的。另外，根據(jù)這樣的機(jī)器人系統(tǒng)100g，也能夠減小用于使機(jī)器人1001不形成干擾的空間。以上，基于圖示的實(shí)施方式對本發(fā)明的機(jī)器人及機(jī)器人系統(tǒng)進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于此，各部的構(gòu)成能夠置換為具有相同的功能的任意的構(gòu)成。另外，也可以附加其它的任意的構(gòu)成物。另外，本發(fā)明也可以組合上述各實(shí)施方式中的任意的兩個(gè)以上的構(gòu)成(特征)。另外，在上述實(shí)施方式中，機(jī)器人所具有的機(jī)器人臂的轉(zhuǎn)動軸的數(shù)目為六個(gè)，但在本發(fā)明中，并不限定于此，機(jī)器人臂的轉(zhuǎn)動軸的數(shù)目也可以是例如兩個(gè)、三個(gè)、四個(gè)、五個(gè)或者七個(gè)以上。另外，在上述實(shí)施方式中，機(jī)器人所具有的臂的數(shù)目為六個(gè)，但在本發(fā)明中，并不限定于此，機(jī)器人所具有的臂的數(shù)目也可以是例如兩個(gè)、三個(gè)、四個(gè)、五個(gè)或者七個(gè)以上。另外，在上述實(shí)施方式中，機(jī)器人所具有的機(jī)器人臂的數(shù)目為一個(gè)，但在本發(fā)明中，并不限定于此，機(jī)器人所具有的機(jī)器人臂的數(shù)目也可以是例如兩個(gè)以上。即，機(jī)器人也可以是例如雙臂機(jī)器人等多臂機(jī)器人。以上，基于圖示的實(shí)施方式對本發(fā)明的機(jī)器人進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于此，各部的構(gòu)成能夠置換為具有相同的功能的任意的構(gòu)成。另外，也可以附加其它的任意的構(gòu)成物。另外，本發(fā)明也可以組合上述各實(shí)施方式中的任意的兩個(gè)以上的構(gòu)成(特征)。另外，在上述實(shí)施方式中，機(jī)器人所具有的機(jī)器人臂的轉(zhuǎn)動軸的數(shù)目為六個(gè)，但在本發(fā)明中，并不限定于此，機(jī)器人臂的轉(zhuǎn)動軸的數(shù)目也可以是例如兩個(gè)、三個(gè)、四個(gè)、五個(gè)或者七個(gè)以上。另外，在上述實(shí)施方式中，機(jī)器人所具有的臂的數(shù)目為六個(gè)，但在本發(fā)明中，并不限定于此，機(jī)器人所具有的臂的數(shù)目也可以是例如兩個(gè)、三個(gè)、四個(gè)、五個(gè)或者七個(gè)以上。另外，在上述實(shí)施方式中，機(jī)器人所具有的機(jī)器人臂的數(shù)目為一個(gè)，但在本發(fā)明中，并不限定于此，機(jī)器人所具有的機(jī)器人臂的數(shù)目也可以是例如兩個(gè)以上。即，機(jī)器人也可以是例如雙臂機(jī)器人等多臂機(jī)器人。另外，在上述的第一、第二實(shí)施方式中，第一部件由一個(gè)臂(第一臂)構(gòu)成，第二部件由一個(gè)臂(第二臂)構(gòu)成，但也可以是例如因機(jī)器人所具有的臂的數(shù)目而異，使第一部件由兩個(gè)以上的臂構(gòu)成，另外，也可以是第二部件由兩個(gè)以上的臂構(gòu)成。另外，在上述的第一、第二實(shí)施方式中，第三部件由兩個(gè)臂(第三臂及第四臂)構(gòu)成，第四部件由兩個(gè)臂(第五臂及第六臂)構(gòu)成，但例如也可以是因機(jī)器人所具有的臂的數(shù)目而異，使第三部件由一個(gè)或者三個(gè)以上的臂構(gòu)成，另外，也可以是第四部件由一個(gè)或者三個(gè)以上的臂構(gòu)成。另外，在上述的第一、第二實(shí)施方式中，以設(shè)于機(jī)器人臂的末端的末端執(zhí)行器在第一狀態(tài)下，在從第一部件的轉(zhuǎn)動軸的軸向觀察時(shí)，成為與第二部件重合的第二狀態(tài)的構(gòu)成的機(jī)器人為例進(jìn)行了說明，但也可以是機(jī)器人臂的末端在第一狀態(tài)下，在從第一部件的轉(zhuǎn)動軸的軸向觀察時(shí)，成為與第二部件重合的第二狀態(tài)的構(gòu)成的機(jī)器人。即使是成為該機(jī)器人臂的末端與第二部件重合的第二狀態(tài)的構(gòu)成的機(jī)器人，也能夠發(fā)揮與上述實(shí)施方式相同的效果。另外，在上述的第一、第二實(shí)施方式中，以第一部件相對于基座轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動軸(第一臂的第一轉(zhuǎn)動軸)與第二部件相對于第一部件轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動軸(第二臂的第二轉(zhuǎn)動軸)交叉的構(gòu)成的機(jī)器人為例進(jìn)行了說明，但本發(fā)明的機(jī)器人也可以是例如第一部件相對于基座轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動軸與第二部件相對于第一部件轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動軸平行的構(gòu)成的機(jī)器人。另外，在上述的第三～第十實(shí)施方式中，對于第n轉(zhuǎn)動軸、第n臂、第(n+1)轉(zhuǎn)動軸、第(n+1)臂的條件(關(guān)系)，對在n為1的情況下，即、在第一轉(zhuǎn)動軸、第一臂、第二轉(zhuǎn)動軸、第二臂時(shí)，滿足該條件的情況進(jìn)行了說明，但在本發(fā)明中，并不限定于此，n是1以上的整數(shù)，在n是1以上的任意的整數(shù)時(shí)，只要上述n滿足與1的情況相同的條件即可。因此，例如，在n為2的情況下，即、也可以在第二轉(zhuǎn)動軸、第二臂、第三轉(zhuǎn)動軸、第三臂時(shí)，滿足與上述n為1的情況相同的條件，另外，也可以在n為3的情況下，即、在第三轉(zhuǎn)動軸、第三臂、第四轉(zhuǎn)動軸、第四臂時(shí)滿足與上述n為1的情況相同的條件，另外，也可以在n為4的情況下，即、在第四轉(zhuǎn)動軸、第四臂、第五轉(zhuǎn)動軸、第五臂時(shí)滿足與上述n為1的情況相同的條件，另外，也可以在n為5的情況下，即、在第五轉(zhuǎn)動軸、第五臂、第六轉(zhuǎn)動軸、第六臂時(shí)滿足與上述n為1的情況相同的條件。另外，在上述的第三～第十實(shí)施方式中，以本發(fā)明的機(jī)器人系統(tǒng)是能夠進(jìn)行對象物的檢查的裝置亦即檢查裝置的情況為例進(jìn)行了說明，但本發(fā)明的機(jī)器人系統(tǒng)也可以是例如作為機(jī)器人進(jìn)行部件的組裝的組裝系統(tǒng)使用。當(dāng)前第1頁12