本實(shí)用新型涉及硅棒制造技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種硅棒真空吸盤機(jī)械手。

背景技術(shù)：

金剛線切片主生產(chǎn)流程由錠檢、粘膠、切片、脫膠、清洗、分選6個工序組成，其中前2個工序錠檢和粘膠需要完成大量的搬運(yùn)動作；目前單晶棒長度主要為300mm以上，最長部分可達(dá)620mm左右，重量近40kg，人員搬運(yùn)非常困難且存在較大的安全隱患。

目前業(yè)內(nèi)存在的真空吸盤主要為300mm以下晶棒設(shè)計(jì)，無法適用單晶長棒；且操作復(fù)雜，空載狀態(tài)和負(fù)載狀態(tài)都無法任意懸停，需要人員一直握持，存在很大的作業(yè)難度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種硅棒真空吸盤機(jī)械手，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種硅棒真空吸盤機(jī)械手，包括底座，所述底座頂部設(shè)有立柱，所述立柱頂部設(shè)有主關(guān)節(jié)，所述主關(guān)節(jié)頂部設(shè)有第一懸吊臂，所述主關(guān)節(jié)左側(cè)設(shè)有壓力罐，所述第一懸吊臂一端設(shè)有副關(guān)節(jié)，所述副關(guān)節(jié)底端設(shè)有第二懸吊臂，所述第二懸吊臂一端通過旋轉(zhuǎn)節(jié)連接有支桿，所述支桿底端設(shè)有氣缸，所述氣缸底端的活塞桿上設(shè)有第一真空吸盤和第二真空吸盤。

優(yōu)選的，所述壓力罐通過管道連通于氣缸。

優(yōu)選的，所述第一真空吸盤和第二真空吸盤的吸盤中心間距150mm。

優(yōu)選的，所述立柱上設(shè)有急停開關(guān)。

優(yōu)選的，所述主關(guān)節(jié)上設(shè)有主關(guān)節(jié)鎖死裝置，所述副關(guān)節(jié)上設(shè)有副關(guān)節(jié)鎖死裝置。

優(yōu)選的，所述主關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)角度為360°，所述副關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)角度為300°。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型該設(shè)備將復(fù)雜繁重的搬運(yùn)操作大大簡化，搬運(yùn)負(fù)荷從30kg左右降低至1kg，具有較大的推廣價(jià)值。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型A處放大結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1底座、2立柱、3壓力罐、4主關(guān)節(jié)、5主關(guān)節(jié)鎖死裝置、6第一懸吊臂、7副關(guān)節(jié)鎖死裝置、8副關(guān)節(jié)、9第二懸吊臂、10旋轉(zhuǎn)節(jié)、11支桿、12氣缸、13第一真空吸盤、14第二真空吸盤。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請參閱圖1-2，本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案：一種硅棒真空吸盤機(jī)械手，包括底座1，所述底座1頂部設(shè)有立柱2，所述立柱2頂部設(shè)有主關(guān)節(jié)4，所述主關(guān)節(jié)4頂部設(shè)有第一懸吊臂6，所述主關(guān)節(jié)4左側(cè)設(shè)有壓力罐3，所述第一懸吊臂6一端設(shè)有副關(guān)節(jié)8，所述副關(guān)節(jié)8底端設(shè)有第二懸吊臂9，所述第二懸吊臂9一端通過旋轉(zhuǎn)節(jié)10連接有支桿11，所述支桿11底端設(shè)有氣缸12，所述氣缸12底端的活塞桿上設(shè)有第一真空吸盤13和第二真空吸盤14。

所述壓力罐3通過管道連通于氣缸12。

所述第一真空吸盤13和第二真空吸盤14的吸盤中心間距150mm。

所述立柱2上設(shè)有急停開關(guān)。

所述主關(guān)節(jié)4上設(shè)有主關(guān)節(jié)鎖死裝置5，所述副關(guān)節(jié)8上設(shè)有副關(guān)節(jié)鎖死裝置7。

所述主關(guān)節(jié)4的旋轉(zhuǎn)角度為360°，所述副關(guān)節(jié)8的旋轉(zhuǎn)角度為300°。

本實(shí)用新型該設(shè)備將復(fù)雜繁重的搬運(yùn)操作大大簡化，搬運(yùn)負(fù)荷從30kg左右降低至1kg，具有較大的推廣價(jià)值。

盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。